スパッタリング装置の製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

• その他半導体
• 加工受託
• ウエハー

小径基板専用のコンパクトタイプスパッタリング装置　全手動操作で低コスト化を実現。研究実験専用の標準タイプ

• その他理化学機器
• スパッタリング装置

φ４１０基板×４枚の自公転基板台を４枚備えたバッチ型のスパッタリング装置で、同基板台内±５％以内の優れた膜厚均一性を実現

• スパッタリング装置

対応基板は最大φ1インチまで処理が可能！デュアルガスノズルを備えた装置

• スパッタリング装置

イオンソースを搭載した実験用装置　精密光学の超薄膜多層成膜に活用可能

• スパッタリング装置

RFイオンソースを使用し、シングルステージまたはプラネタリーステージを搭載したイオンビームスパッタリング（IBS）装置です。

• スパッタリング装置
• その他半導体
• 磁石

【 4000台販売突破キャンペーン実施中 】 弊社トランスファーロッドは、マグネット方式であり、超高真空領域まで使用可能です。

• 蒸着装置
• スパッタリング装置
• CVD装置

表面改質から触媒利用まで！成膜事例付きで密着性が高い粉体スパッタ技術をご紹介！

• スパッタリング装置

お客様ご依頼サンプルによる受託成膜、立会実験にも対応いたします！

• スパッタリング装置

ガス導入と圧力コントロールバルブによるスパッタ圧の制御が可能！

• 真空機器
• スパッタリング装置

940gのシリーズ最軽量！ニードル交換も簡単な新型ジェットタガネ誕生！

• 塗装機械
• スパッタリング装置
• その他

不活性ガス雰囲気中で基板・ターゲットの交換ができる、研究開発用小型スパッタ装置

• スパッタリング装置

小型設計ながら性能はキープ！高温での基板加熱が可能なスパッタ装置

• スパッタリング装置

省スペース化を実現！同時放電による合金膜や積層膜の形成に最適なスパタ装置

• スパッタリング装置

真空蒸着装置とこれらに関連する機器メンテナンスサービスを行っております。

• 蒸着装置
• CVD装置
• スパッタリング装置

クリーンルーム内や真空チャンバー内で使用できる完全オイルフリー・コンタミフリーなアルミホイルです。

• スパッタリング装置
• アルミニウム
• その他半導体製造装置