スパッタリング装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

樹脂基板への金属膜、保護膜が全自動で成膜可能！

• 真空機器
• スパッタリング装置

信頼性の高いシステムを構築！メンテナンスや改造も当社にお任せください

• 蒸着装置
• スパッタリング装置
• 真空機器

2000℃以上のSiCプロセスに対応可能な単結晶成長およびCVD用部品。高温でのスパッタやイオン注入に対応する静電チャック。

• スパッタリング装置

　独自技術で従来に無い水素フリーDLC膜を形成（水素含有量１％以下）優れた油中トライボロジー特性、導電性カーボン薄膜にも対応

• スパッタリング装置
• その他工作機械
• プラズマ表面処理装置

スパッタリングターゲット材について

• スパッタリング装置

低温環境で使用される、C1020製の低温装置用銅板プレートです。

• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

ヒートシンクに金メッキした事例でございます。

• スパッタリング装置

成膜装置で使用されるバッキングプレートです。

• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

酸化被膜防止を目的としたプレスパッタリングが必要なく工数削減が可能！熱膨張による割れも抑えたスパッタリングターゲットです。

• スパッタリング装置

高機能織物を使用してスパッタ、火、熱を防ぎ、飛散防止用途にも！

• スパッタリング装置
• 溶接ロボット
• 溶接機械

スパッタ装置

• スパッタリング装置

硫化物対応も可　薄膜固体二次電池研究用専用成膜装置 ターゲット～成膜テスト、専用装置まで一括対応。グローブボックス標準装備。

• プラズマ表面処理装置
• スパッタリング装置

各種材料、基材の加工実績が豊富！基材×薄膜＝光学調整・導電・抗菌/ウイルス

• スパッタリング装置
• 加工受託
• 表面処理受託サービス

R&Dやニッチプロセスへの対応に特化　量産用装置では困難な少量生産や試作・研究開発のための新型マルチチャンバスパッタリング装置

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

スパッタ装置用、PLD装置用の2つの接続ポートを装備！各試料ホルダーへの試料の移載が可能

• スパッタリング装置