スパッタリング装置の製品一覧

  • 分類:スパッタリング装置

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電池の基本概念から、利用目的・実現方法による分類までを体系化。複雑な電池選定の第一歩を、初心者目線で分かりやすくまとめました

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静電式により高い捕集率を実現。大型から小型まで豊富なラインアップを展開。水溶性オイルミストにも対応

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最新プラズマ技術で桜島溶岩をコーティング。天然由来の機能性表面処理。あらゆる機材に諸植生・親水性など新たな機能を実現。

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電波透過膜を高品質に実現する枚葉式スパッタリング装置です。

  • スパッタリング装置

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多層の光学薄膜に最適な後酸化式スパッタリング装置です。

  • スパッタリング装置

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高水準な仕様と豊富なオプションで様々な成膜用途に適した研究開発用スパッタリング装置です。

  • スパッタリング装置

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各コーティング方法の違いや特徴、コーティング事例、お問い合わせの多い質問をまとめた『薄膜Q&A』を無料でプレゼントします! 

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分析のご依頼もお任せください!『分析機器一覧表』無料ダウンロード!

薄膜の評価は、その薄膜をどういう目的で利用するかにより決まってきます。 例えば、その薄膜を機械的強度を高めるための成膜に用いるのであれば、評価対象として、硬度や付着性などが重要なファクターであり、 光学的特性を付与するのであれば、反射率や透過率と言った数値が重要となります。 東邦化研では「イオンプレーティング部」「材料解析部」「環境分析センター」といった三事業を柱としていることから、幅広い分析機器を保有しております。 薄膜コーティングの依頼と併せて、分析・評価まで対応可能です。 薄膜コーティング以外の”検査・分析のみ”のご案件も承っておりますので、まずはお気軽にお声掛け下さい!

【技術資料を無料進呈】緻密で硬質な成膜が可能!自動車のミラーなどの生産にも応用

  • スパッタリング装置

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多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介!

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主に半導体製造装置関連の据付、組立、改造、保守などの組立サービスをお請けします。

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<Q&A集付> 手元に欲しい一冊!

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1インチUHV対応スパッタカソード2源!ロードロック室は増設することが可能です!

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酸素や水分を排除したい研究製膜環境!多層膜、化合物製膜、反応製膜に対応します!

  • スパッタリング装置

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基板寸法は最大3インチで3枚収納可能!加熱機構・逆スパッタ機構を備えています!

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トランスファーロッドにより、各室間を搬送!大気解放することなく連続成膜可能!

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単品試作から用途に合わせて製作可能!「EBガン」や「Kセル」などをラインアップ!

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φ4インチ基盤対応のエネルギー半導体デバイス研究開発システムなどをご紹介します!

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