スパッタリング装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

主に半導体製造装置関連の据付、組立、改造、保守などの組立サービスをお請けします。

• その他半導体製造装置
• 製造受託
• スパッタリング装置

＜Ｑ＆Ａ集付＞ 手元に欲しい一冊！

• 技術書・参考書
• 技術セミナー
• スパッタリング装置

簡易でありながらφ3インチターゲットのマグネトロンカソードと200L/sの広域型ターボ分子ポンプを搭載。

• プラズマ表面処理装置
• 有機EL
• スパッタリング装置

1インチUHV対応スパッタカソード2源！ロードロック室は増設することが可能です！

• スパッタリング装置

酸素や水分を排除したい研究製膜環境！多層膜、化合物製膜、反応製膜に対応します！

• スパッタリング装置

基板寸法は最大3インチで3枚収納可能！加熱機構・逆スパッタ機構を備えています！

• スパッタリング装置

トランスファーロッドにより、各室間を搬送！大気解放することなく連続成膜可能！

• 蒸着装置
• スパッタリング装置

単品試作から用途に合わせて製作可能！「EBガン」や「Kセル」などをラインアップ！

• スパッタリング装置
• その他機械要素

φ4インチ基盤対応のエネルギー半導体デバイス研究開発システムなどをご紹介します！

• プラズマ表面処理装置
• スパッタリング装置
• 分析機器・装置

樹脂基板への金属膜、保護膜が全自動で成膜可能！

• 真空機器
• スパッタリング装置

信頼性の高いシステムを構築！メンテナンスや改造も当社にお任せください

• 蒸着装置
• スパッタリング装置
• 真空機器

2000℃以上のSiCプロセスに対応可能な単結晶成長およびCVD用部品。高温でのスパッタやイオン注入に対応する静電チャック。

• スパッタリング装置

　独自技術で従来に無い水素フリーDLC膜を形成（水素含有量１％以下）優れた油中トライボロジー特性、導電性カーボン薄膜にも対応

• スパッタリング装置
• その他工作機械
• プラズマ表面処理装置

スパッタリングターゲット材について

• スパッタリング装置

低温環境で使用される、C1020製の低温装置用銅板プレートです。

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