スパッタリング装置の製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

• その他半導体
• 加工受託
• ウエハー

多層の光学薄膜に最適な後酸化式スパッタリング装置です。

• スパッタリング装置

高水準な仕様と豊富なオプションで様々な成膜用途に適した研究開発用スパッタリング装置です。

• スパッタリング装置

各コーティング方法の違いや特徴、コーティング事例、お問い合わせの多い質問をまとめた『薄膜Q＆A』を無料でプレゼントします！　

• 表面処理受託サービス
• スパッタリング装置
• セラミックス

【技術資料を無料進呈】緻密で硬質な成膜が可能！自動車のミラーなどの生産にも応用

• スパッタリング装置

多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介！

• スパッタリング装置
• 真空機器

主に半導体製造装置関連の据付、組立、改造、保守などの組立サービスをお請けします。

• その他半導体製造装置
• 製造受託
• スパッタリング装置

＜Ｑ＆Ａ集付＞ 手元に欲しい一冊！

• 技術書・参考書
• 技術セミナー
• スパッタリング装置

1インチUHV対応スパッタカソード2源！ロードロック室は増設することが可能です！

• スパッタリング装置

酸素や水分を排除したい研究製膜環境！多層膜、化合物製膜、反応製膜に対応します！

• スパッタリング装置

基板寸法は最大3インチで3枚収納可能！加熱機構・逆スパッタ機構を備えています！

• スパッタリング装置

トランスファーロッドにより、各室間を搬送！大気解放することなく連続成膜可能！

• 蒸着装置
• スパッタリング装置

単品試作から用途に合わせて製作可能！「EBガン」や「Kセル」などをラインアップ！

• スパッタリング装置
• その他機械要素

φ4インチ基盤対応のエネルギー半導体デバイス研究開発システムなどをご紹介します！

• プラズマ表面処理装置
• スパッタリング装置
• 分析機器・装置

2000℃以上のSiCプロセスに対応可能な単結晶成長およびCVD用部品。高温でのスパッタやイオン注入に対応する静電チャック。

• スパッタリング装置

　独自技術で従来に無い水素フリーDLC膜を形成（水素含有量１％以下）優れた油中トライボロジー特性、導電性カーボン薄膜にも対応

• スパッタリング装置
• その他工作機械
• プラズマ表面処理装置