【技術資料を無料進呈】緻密で硬質な成膜が可能！自動車のミラーなどの生産にも応用
フィルムやガラスの基材の表面に薄膜を形成する手法には、塗布、印刷、 めっき、蒸着などがありますが、金属やセラミックで構成されるナノレベルの 薄膜を精度高く形成するために使われるのが「スパッタリング」という技術です。 実際のスパッタリングにおいて「石」の役割を果たすのが、真空の容器 （真空チャンバー）内に充填されたアルゴン（Ar）などの不活性ガスです。 スパッタリングでは真空中にアルゴンガスを導入し、ターゲット材料にマイナスの 電圧を印加することで、蛍光灯でも使われているグロー放電を発生させます。 するとプラスの電荷を帯びてプラズマ化したアルゴンイオンは超高速（秒速約3.2km） でターゲット材料の表面に衝突し、ターゲット材料の粒子（原子・分子）を激しく 弾き飛ばします。 弾き飛んだ粒子は勢いよく基材の表面に付着し、それが堆積することで、薄膜が 形成されます。これが、スパッタリングの原理です。 ※記事の詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【多様なニーズに対応するスパッタリング技術】 デクセリアルズのスパッタリング技術の強みは、「多種多様な元素を混ぜ合わせ、目的に合わせて 好適なターゲット素材を作り出せること」です。これまでに私たちは試作品で約200種類、量産品では 約30種類のターゲットを作り出してきました。 当社がスパッタリングターゲットに使用可能な元素は42種類にも及びます。スパッタリングにおける 直接的な製品は「ターゲットの素材」ですが、複数の金属や金属酸化物などのセラミック素材を適切な 割合で混ぜ合わせ、スパッタリングを行う技術こそが当社のノウハウとなっています。 私たちはこれからも本技術をもとに、お客さまのご要望に応じた薄膜成形技術を提供していきます。 ※記事の詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
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デクセリアルズ株式会社は、日本はもちろん、中国をはじめとしたアジア地域や欧米に事業所および販売拠点を持ち、それぞれの市場に合った、お客さまのニーズに応える新しい価値を持つ製品を提供し続けています。 現行製品に新たな技術を付加することで事業の維持・強化を行います。 今後、車載分野、ライフサイエンス分野に果敢に挑戦し、新規事業の着実な育成と拡大を図るとともに、未来を切り拓く技術の開発を推しすすめていきます。 お客さまと世の中に役立つ、どこにもない新たな価値を生み出す企業として、お客さまの価値最大化に努め、信頼されるパートナーとなるために、挑戦し続けてまいります。
