レジスト装置の製品一覧

ハンドルから手を離すと、自動で閉止（開放）。閉め忘れや誤作業を確実に防止。危険物を取扱う工場での安全管理にばっちりです！

• バルブ

働き方改革関連法に伴う規制の適用により、物流業界が直面している課題や解決策を掲載。荷役・輸送方法の見直しをしませんか？

• パレット
• パレット
• コンテナ

切削加工/金属加工

• スパッタリング装置
• アニール炉
• レジスト装置

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥離性能の高い枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置【テスト可】

• 高圧洗浄機
• その他半導体製造装置
• レジスト装置

昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用した剥離性能の高い 枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置

• 高圧洗浄機
• レジスト装置

高圧ジェットで驚きの剝離能力！当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処理・高剥離力・低消費薬液でのリフトオフを実現しました！

• レジスト装置
• その他半導体製造装置

単品アルミ加工・試作・A5052【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置
• レジスト装置

半導体製造装置　アルミ部品　マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• エッチング装置
• レジスト装置
• 酸化/拡散装置

材料幅はTAB/CSP/COF用で35mm～160mm、FPC用で250～300mmに対応します！

• その他
• レジスト装置

多目的全自動スクリーン印刷機

• 印刷機械
• レジスト装置

虫が好む紫外線領域も大幅にカットするため、防虫効果も絶大なLEDライト！

• LED蛍光灯
• レジスト装置
• 蛍光灯

レジストの溶解量が多い(液寿命の増加)！ネオ現像液

• レジスト装置

チューブポンプのイメージを一新するチューブポンプディスペンサー。 微少量吐出・高速連続吐出・高精度吐出を実現。動画あり

• ノズル
• ディスペンサー
• レジスト装置

霧化方法・薄膜形成方法など、当社の最新ノウハウを初心者の方にも分かりやすく解説

• レジスト装置

生産設備・研究開発向け！薄膜電子部品工程における一連のプロセスを提供！

• コーター
• レジスト装置
• エッチング装置

ロードセルに接続して重量をデジタルで表示します。

• レジスト装置
• 食品加工装置
• 重量関連測定器

カバーガラス一体型タッチパネル（OGS）用レジストコーター

• レジスト装置

Compact & Resonable for Highend Process !

• その他ポンプ
• レジスト装置
• めっき装置

純水1/4RC　圧縮空気1/4RC！薬液をスプレー塗布する装置

• レジスト装置

超純水（18MΩ・cm）での精密洗浄により、お客様の製品の品質向上及びコスト削減に貢献致します。

• CVD装置
• スパッタリング装置
• レジスト装置

高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置

• レジスト装置

高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置

• レジスト装置

電子部品生産システム、冷間鍛造自動車部品、クーラント関連機械の総合カタログ

• レジスト装置
• エッチング装置
• 半導体検査/試験装置

フレキシブルプリント基板(FPC)用の高精度片面露光装置

• その他半導体製造装置
• レジスト装置

フレキシブルプリント基板(FPC)用の高精度両面露光装置

• その他半導体製造装置
• レジスト装置

FPD製造工程で威力を発揮するフィルム用整合付半自動露光装置

• その他半導体製造装置
• レジスト装置

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

• レジスト装置
• ステッパー
• その他半導体製造装置

顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ

• レジスト装置
• ステッパー
• その他半導体製造装置

パターン塗布できます。

• コーター
• レジスト装置
• 2次電池・バッテリー

丁寧な打ち合わせの後、お客様のニーズを満たす乾燥装置をお作り致します。

• レジスト装置

塗料ロスが極めて少なく、対応電池パネルやガラスの製造ラインにも対応。

• レジスト装置

今までの露光装置とは生産性が違います！

• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置
• レジスト装置

薬液使用量削減の最適ツール

• コーター
• レジスト装置
• その他ポンプ

シンプルデザインの卓上式マニュアルスピンナー

• コーター
• レジスト装置
• その他半導体製造装置

シンプルデザインのマニュアルスピンコーター

• コーター
• レジスト装置
• その他半導体製造装置

簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベロッパー、エッチャー共に製作可能

• レジスト装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

ACサーボを採用し常に安定した回転精度のスピンナー(スピンコーター）

• コーター
• レジスト装置
• その他半導体製造装置

高品質・低価格・省スペースを追求 スイングスプレー式、パドル方式の両方に対応したデベロッパー

• レジスト装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

スプレー及びパドル現像が行なえる、小型卓上タイプのスピンデベロッパー

• レジスト装置
• その他半導体製造装置

遠赤外線加熱装置

• レジスト装置
• プリント基板
• 車体系部品

直動形電磁弁

• レジスト装置
• 蒸着装置
• 基板加工機

PowerCEP GEM300対応装置制御ソフトウエア開発パッケージ

• 半導体検査/試験装置
• レジスト装置
• その他半導体製造装置

セミコンジャパンカタログ展示コーナー

• テスタ
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• レジスト装置