ステッパーの製品一覧

電池の基本概念から、利用目的・実現方法による分類までを体系化。複雑な電池選定の第一歩を、初心者目線で分かりやすくまとめました

• 電池・バッテリー
• 技術書・参考書
• 技術書・参考書

静電式により高い捕集率を実現。大型から小型まで豊富なラインアップを展開。水溶性オイルミストにも対応

• 空調

最大50W 超高出力。水銀ランプに代わるLED照射器。ＵＶ硬化、半導体検査装置などに使用可能

• ステッパー
• その他半導体製造装置

高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大15W、水銀不使用、内蔵するLEDを選択可能

• ステッパー
• その他半導体製造装置

同一波長のモジュールを複数搭載可能な高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大80W、水銀不使用、

• ステッパー
• その他半導体製造装置

サポート終了の半導体製造装置の長期使用・保守改善・メンテナンスの救世主。老朽化する高価半導体製造装置の制御装置延命処置。

• ステッパー

露光装置及び、周辺装置用のレチクルケース。主要露光装置メーカーの露光装置にて多数採用済み。クリーンな環境での使用可能！

• ステッパー

ウエハサイズ 後工程 投影露光装置 MRS　標準光源としてUV-LED光源を採用（生産性を落さずランニングコスト削減が可能！）

• ステッパー

LED/LD混合波レンズ　高速で高い生産能力・高コストパフォーマンス

• ステッパー

Canon製FPA3000/Nikon製NSRのサービスを行っております。

• ステッパー

ナノ単位で、モールドからワークに複数回に分けて転写する装置。 つくば産総研監修のもとに、弊社が製作した装置です

• ステッパー

高速高解像度レーザー露光装置

• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置
• ステッパー

高速半導体用マスクレーザー描画装置『ULTRA』

• 電子ビーム描画装置
• フォトマスク
• ステッパー

高速パターン・ジェネレータ

• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置
• ステッパー

0.6umの微細描画が可能な高速マスクレスアライナー

• フォトマスク
• ステッパー

研究開発向け高性能レーザーリソグラフィ装置

• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置
• ステッパー

テーブルトップサイズのオートフォーカス付きマスクレスアライナー

• フォトマスク
• ステッパー