エッチング装置の製品一覧

  • 分類:エッチング装置

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電池の基本概念から、利用目的・実現方法による分類までを体系化。複雑な電池選定の第一歩を、初心者目線で分かりやすくまとめました

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静電式により高い捕集率を実現。大型から小型まで豊富なラインアップを展開。水溶性オイルミストにも対応

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  • 空調

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マイクロ波イオン・ラジカル源 IMIS-211Q

  • エッチング装置
  • その他半導体製造装置

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マイクロ波ラジカル源 EMRS-211Q

  • エッチング装置
  • その他半導体製造装置

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洗浄、現像、エッチング等カスタマイズ可能な、低価格多目的処理装置

  • エッチング装置
  • その他半導体製造装置

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中古装置活用で大幅なコストダウンができるだけでなく、導入後のアフターサービス、メンテナンス、仕様変更にも格安で対応致します。

  • コーター
  • CVD装置
  • エッチング装置

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ご希望通りのプロセスコントロールをお約束でき、安全・確実・合理的で濃リン酸のボイリングポイントをリフラッキシングによって自己調整

  • エッチング装置
  • その他半導体

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xe_bath_main.jpg

ウェットエッチングによるPSS (Patterned Sapphire Substrate)が、LED業界を変える!!

ウェットエッチングによるパターン化サファイア基板(PSS)について 現在、LED製造業者は、製造プロセスの選択肢として、二通りの全く異なるのプロセスを手にしている。ドライエッチング法を利用すれば、高輝度・高効率LEDを製造することができるが、製造には長時間を要し、スループットには限界がある。ウェットエッチング法は製造時間が短く、スケーラビリティに非常に優れているが、効率や効果に優れたLEDを製造することはできない。しかしウェットエッチング法の場合、光抽出効率を改善するためにウェハーを研磨し、改良する作業を行った場合であっても、ドライエッチング法に比べて大幅なコスト削減が可能である。また非常に効率良くスケールアップすることが可能であることから、スループットを増やし、ウェハーのサイズを拡大するたびに、コスト削減率が何倍にも劇的に増えることになる。

簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベロッパー、エッチャー共に製作可能

  • レジスト装置
  • エッチング装置
  • その他半導体製造装置

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高品質・低価格・省スペースを追求 スイングスプレー式、パドル方式の両方に対応したデベロッパー

  • レジスト装置
  • エッチング装置
  • その他半導体製造装置

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基板を回転させながらエッチング液をスプレーするスピンエッチャー

  • エッチング装置
  • その他半導体製造装置

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研究開発用エッチング装置 SPE40

  • その他表面処理装置
  • エッチング装置
  • その他実験器具・容器

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狭いスペースOK、使い用途に合わせた設定変更可能、短納期を実現した『小型エッチングマシン』

  • その他表面処理装置
  • エッチング装置
  • その他実験器具・容器

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小型薄板用エッチング装置 FBE40

  • その他表面処理装置
  • エッチング装置
  • その他実験器具・容器

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小型超高精度エッチング装置 MPE40

  • その他表面処理装置
  • エッチング装置
  • その他実験器具・容器

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小型プラズマクリーナー(簡易型枚葉式プラズマクリーナー)

  • エッチング装置
  • アッシング装置

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プラズマ処理装置(多目的プラズマエッチャー)

  • エッチング装置
  • アッシング装置
  • その他加工機械

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枚葉式プラズマエッチング処理装置(枚葉式プラズマエッチャー)

  • エッチング装置
  • アッシング装置
  • ウエハ加工/研磨装置

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