エッチング装置の製品一覧
- 分類：エッチング装置
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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！
- その他搬送機械
『 第1回 中部食品産業創造展'26 』出展決定！
〈 ポートメッセなごや 〉にて、2026年11月4日(水)～6日(金)に開催されます、 【 第1回 中部食品産業創造展'26 】に出展いたします。 昨年4月より発売を開始していおります、『小型サニタリーハンディポンプMHS型』の 新たなラインナップとして、『コードレスサニタリーハンディポンプ』の展示をいたします。 ・コードレス！どこへでも持ち運べ！サッと使え！簡単洗浄！ 従来通り18L缶やBIB（バックインボックス）に対応し、簡単に分解洗浄が可能な構造となっています。 この機会にぜひご来場いただきたくご案内申し上げます。 ・会場：ポートメッセなごや ・弊社出展ブース：第1展示館「C-６６」
![[チラー]モジュール式チラー M-Pakシリーズ](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/fce/2000002889/IPROS8941791701173579306.jpg?w=280&h=280){kind=small}
イプロスランキング/特集ページ掲載中！[フロン不要でラックマウントも可能なエコチラー]ENシリーズ
製品ランキングにも取り上げていただきました。 注目度急上昇中のフロンガスを使わない電子冷却式ノンフロンチラーのご案内です。 地球温暖化係数ゼロ！オゾン破壊係数ゼロ！ 半導体装置・医療装置・レーザー装置など用途にご利用いただけます。 ※※※医療業界特集ページにも掲載中！※※※ 【特徴】 ■フロンガスを使用しないノンフロンチラー ■電子の力だけで冷却・加熱の両機能が利用可能 ■ヒーターレスの省エネタイプ ■循環液の選択可！ ■様々なワット数の組み合わせ構成が可能 ■リークレスポンプ ■低振動・低騒音 ■ラックマウント可能（EN-400AR) ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に数千台の導入実績があります。食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカスタマイズが可能です。 お客様のご利用環境に合わせた最適チラーのご提案をさせていただきます。 まずはお気軽にお問い合わせください。
![[チラー]リークレス高温対応モデル HTXシリーズ](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/e62/2000002888/IPROS5238684033053271565.jpg?w=280&h=280){kind=small}
イプロスランキング/特集ページ掲載中！[フロン不要でラックマウントも可能なエコチラー]ENシリーズ
製品ランキングにも取り上げていただきました。 注目度急上昇中のフロンガスを使わない電子冷却式ノンフロンチラーのご案内です。 地球温暖化係数ゼロ！オゾン破壊係数ゼロ！ 半導体装置・医療装置・レーザー装置など用途にご利用いただけます。 ※※※医療業界特集ページにも掲載中！※※※ 【特徴】 ■フロンガスを使用しないノンフロンチラー ■電子の力だけで冷却・加熱の両機能が利用可能 ■ヒーターレスの省エネタイプ ■循環液の選択可！ ■様々なワット数の組み合わせ構成が可能 ■リークレスポンプ ■低振動・低騒音 ■ラックマウント可能（EN-400AR) ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に数千台の導入実績があります。食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカスタマイズが可能です。 お客様のご利用環境に合わせた最適チラーのご提案をさせていただきます。 まずはお気軽にお問い合わせください。
![[チラ―]効率と省エネを追求した ESL-60シリーズ](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/506/2000002884/IPROS8738842573397075905.jpg?w=280&h=280){kind=small}
イプロスランキング/特集ページ掲載中！[フロン不要でラックマウントも可能なエコチラー]ENシリーズ
製品ランキングにも取り上げていただきました。 注目度急上昇中のフロンガスを使わない電子冷却式ノンフロンチラーのご案内です。 地球温暖化係数ゼロ！オゾン破壊係数ゼロ！ 半導体装置・医療装置・レーザー装置など用途にご利用いただけます。 ※※※医療業界特集ページにも掲載中！※※※ 【特徴】 ■フロンガスを使用しないノンフロンチラー ■電子の力だけで冷却・加熱の両機能が利用可能 ■ヒーターレスの省エネタイプ ■循環液の選択可！ ■様々なワット数の組み合わせ構成が可能 ■リークレスポンプ ■低振動・低騒音 ■ラックマウント可能（EN-400AR) ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に数千台の導入実績があります。食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカスタマイズが可能です。 お客様のご利用環境に合わせた最適チラーのご提案をさせていただきます。 まずはお気軽にお問い合わせください。
![[チラー]省エネモデル MXシリーズ](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/f7f/2000002891/IPROS320021963806305382.jpg?w=280&h=280){kind=small}
イプロスランキング/特集ページ掲載中！[フロン不要でラックマウントも可能なエコチラー]ENシリーズ
製品ランキングにも取り上げていただきました。 注目度急上昇中のフロンガスを使わない電子冷却式ノンフロンチラーのご案内です。 地球温暖化係数ゼロ！オゾン破壊係数ゼロ！ 半導体装置・医療装置・レーザー装置など用途にご利用いただけます。 ※※※医療業界特集ページにも掲載中！※※※ 【特徴】 ■フロンガスを使用しないノンフロンチラー ■電子の力だけで冷却・加熱の両機能が利用可能 ■ヒーターレスの省エネタイプ ■循環液の選択可！ ■様々なワット数の組み合わせ構成が可能 ■リークレスポンプ ■低振動・低騒音 ■ラックマウント可能（EN-400AR) ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に数千台の導入実績があります。食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカスタマイズが可能です。 お客様のご利用環境に合わせた最適チラーのご提案をさせていただきます。 まずはお気軽にお問い合わせください。
![[チラー]スループット追求モデル SXシリーズ](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/6c0/2000002893/IPROS2691380432675716836.jpg?w=280&h=280){kind=small}
イプロスランキング/特集ページ掲載中！[フロン不要でラックマウントも可能なエコチラー]ENシリーズ
製品ランキングにも取り上げていただきました。 注目度急上昇中のフロンガスを使わない電子冷却式ノンフロンチラーのご案内です。 地球温暖化係数ゼロ！オゾン破壊係数ゼロ！ 半導体装置・医療装置・レーザー装置など用途にご利用いただけます。 ※※※医療業界特集ページにも掲載中！※※※ 【特徴】 ■フロンガスを使用しないノンフロンチラー ■電子の力だけで冷却・加熱の両機能が利用可能 ■ヒーターレスの省エネタイプ ■循環液の選択可！ ■様々なワット数の組み合わせ構成が可能 ■リークレスポンプ ■低振動・低騒音 ■ラックマウント可能（EN-400AR) ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に数千台の導入実績があります。食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカスタマイズが可能です。 お客様のご利用環境に合わせた最適チラーのご提案をさせていただきます。 まずはお気軽にお問い合わせください。
半導体製造装置のウェハキャリアに耐熱性に優れたポリイミド樹脂MELDIN（メルディン）が採用されました。
- エッチング装置
ナイトライドエッチ用 石英ナイトライド・リフラックス・システム ACCUBATH
- エッチング装置
ウェットエッチングによるPSS (Patterned Sapphire Substrate)が、LED業界を変える！！
ウェットエッチングによるパターン化サファイア基板（PSS）について 現在、LED製造業者は、製造プロセスの選択肢として、二通りの全く異なるのプロセスを手にしている。ドライエッチング法を利用すれば、高輝度・高効率LEDを製造することができるが、製造には長時間を要し、スループットには限界がある。ウェットエッチング法は製造時間が短く、スケーラビリティに非常に優れているが、効率や効果に優れたLEDを製造することはできない。しかしウェットエッチング法の場合、光抽出効率を改善するためにウェハーを研磨し、改良する作業を行った場合であっても、ドライエッチング法に比べて大幅なコスト削減が可能である。また非常に効率良くスケールアップすることが可能であることから、スループットを増やし、ウェハーのサイズを拡大するたびに、コスト削減率が何倍にも劇的に増えることになる。
中古装置活用で大幅なコストダウンができるだけでなく、導入後のアフターサービス、メンテナンス、仕様変更にも格安で対応致します。
- コーター
- CVD装置
- エッチング装置
ご希望通りのプロセスコントロールをお約束でき、安全・確実・合理的で濃リン酸のボイリングポイントをリフラッキシングによって自己調整
- エッチング装置
- その他半導体
ウェットエッチングによるPSS (Patterned Sapphire Substrate)が、LED業界を変える！！
ウェットエッチングによるパターン化サファイア基板（PSS）について 現在、LED製造業者は、製造プロセスの選択肢として、二通りの全く異なるのプロセスを手にしている。ドライエッチング法を利用すれば、高輝度・高効率LEDを製造することができるが、製造には長時間を要し、スループットには限界がある。ウェットエッチング法は製造時間が短く、スケーラビリティに非常に優れているが、効率や効果に優れたLEDを製造することはできない。しかしウェットエッチング法の場合、光抽出効率を改善するためにウェハーを研磨し、改良する作業を行った場合であっても、ドライエッチング法に比べて大幅なコスト削減が可能である。また非常に効率良くスケールアップすることが可能であることから、スループットを増やし、ウェハーのサイズを拡大するたびに、コスト削減率が何倍にも劇的に増えることになる。
簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベロッパー、エッチャー共に製作可能
- レジスト装置
- エッチング装置
- その他半導体製造装置
高品質・低価格・省スペースを追求 スイングスプレー式、パドル方式の両方に対応したデベロッパー
- レジスト装置
- エッチング装置
- その他半導体製造装置
狭いスペースＯＫ、使い用途に合わせた設定変更可能、短納期を実現した『小型エッチングマシン』
- その他表面処理装置
- エッチング装置
- その他実験器具・容器
