フォトマスクの製品一覧
- 分類:フォトマスク
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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!
- その他搬送機械
ミラープロジェクションマスクアライナー、コンタクトアライナーで両面露光を可能にするユニット。IR(近赤外線)仕様も実績あり。
- フォトマスク
とりあえず、これ! たった5スワイプで理解できる!フォトマスク初心者のための、今さら聞けないフォトマスクの基本!
- フォトマスク
X-Y-Z-θx-θy-θzの全方向において、高精度アライメント(ターゲット1μm以下)が可能になりました。
- スパッタリング装置
- 半導体検査/試験装置
- フォトマスク
竹田東京プロセスサービスでは、マスクメーカーとしての長年の知見を活かし、各種マスク周辺機器や装置のご提案及び販売を行っております
- フォトマスク
マスクに付着した1μm以上のパーティクルとレジスト残渣を一挙に完全除去
- その他洗浄機
- フォトマスク
- その他半導体製造装置
簡易洗浄ユニットは、最大7インチマスクサイズまで対応できる簡易洗浄ユニットです。
- その他半導体製造装置
- フォトマスク
- その他洗浄機
スモールサイズからラージサイズまで、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を1台で実施!
- その他半導体製造装置
- フォトマスク
- その他洗浄機

【大手メーカーで全自動フォトマスク洗浄装置の導入が増加しています!】
"マスク洗浄といえばテクノビジョン" を合言葉にこれからも業界一、世界一を 目指して参ります。 台湾、中国、日本でLEDの生産が活発になり、それに伴いフォトマスク洗浄装置の受注が大手メーカーより相次いでいます。 テクノビジョンでは従来から培ってきたスクラブ洗浄術に加え、新たに薬液洗浄技術の開発に取り組んでまいりました。 ◆スクラブ洗浄:主にパーティクルの除去 ◆薬液洗浄:マスクに付着したレジストを除去 LED生産においては素子パターンのデザインルールL/Sが、サブミクロン領域には至っていないため、露光プロセスにはプロキシミティーまたはコンタクトアライナーが使用されます。 このため、マスク汚染に対してはレジスト除去とパーティクル除去機能をもった 洗浄装置が必要となります。 某大手LEDメーカーではマスク洗浄が月間5000枚以上に達し、有害薬液などの保護対策が必要とされています。 テクノビジョンの全自動マスク洗浄装置は、このような量産工場で対応できる、 安全かつ環境にやさしい唯一のコンパクト、スモールフットプリント洗浄装置です。 ◆詳しくはお問い合わせください。
位置決めステージ選定でお悩みの方へ。どの工程でどんな位置決めステージが使われているのかがわかる!装置の選定ポイントもご紹介
- その他半導体製造装置
- フォトマスク