直交ロボットの製品一覧

  • 分類:直交ロボット

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100万回繰り返しても壊れない!確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

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高速・高精度なウェーハ検査をV-P01が実現

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
  • エンコーダー

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エア浮上×リニアモータで摩耗ゼロ。最大速度2m/s、センサー分解能1nm

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
  • エンコーダー

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リニアモータ×エンコーダで高荷重600N(最大)でも滑らか&高速応答

  • csm_V-817.xx6211E0_KUZ.png_Bilder-Web_866a178349.jpg
  • リニアモータ
  • アクチュエーター
  • 直交ロボット

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非接触・無摩耗で長寿命、ナノメートル単位の滑らかな動作を実現

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
  • エンコーダー

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非接触・無摩耗で長寿命、ナノメートル単位の滑らかな動作を実現

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
  • エンコーダー

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小型・高剛性設計と選べるモーター(DCモーターまたはステッピングモーター)で、組立工程の効率化と安定化に貢献

  • アクチュエーター
  • 直交ロボット
  • エンコーダー

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電子部品実装の高速化を実現する、薄型・高精度リニアモータステージ

  • csm_PI-G-901_R3199-ACS_3898909ed8.jpg
  • リニアモータ
  • アクチュエーター
  • 直交ロボット

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スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適なエアベアリングステージ

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
  • エンコーダー

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高精度な校正作業をサポートするエアベアリングステージ

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
  • エンコーダー

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光学系の精密調整に。高精度な位置決めを実現するエアベアリングステージ

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
  • エンコーダー

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光学系の精密位置調整に最適。幅60mm・最大200mmストロークのコンパクト高精度リニアステージ

  • csm_L-836.501212F.tif_Bilder-Web_d06a3d853e.jpg
  • csm_L-836.501212F_XY.tif_Bilder-Web_7a921d7aa1.jpg
  • アクチュエーター
  • 直交ロボット
  • エンコーダー

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レーザー切断・レーザー加工に最適な高精度位置決めステージ

  • csm_L-836.501212F.tif_Bilder-Web_d06a3d853e.jpg
  • csm_L-836.501212F_XY.tif_Bilder-Web_7a921d7aa1.jpg
  • アクチュエーター
  • 直交ロボット
  • エンコーダー

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用途に合わせて軸構成や仕様を柔軟に組み合わせ可能

  • csm_X-417.2xx_frame_boards_3c9d85fd9d.jpg
  • csm_X-417.0xx_42573bc6ea.jpg
  • リニアモータ
  • アクチュエーター
  • 直交ロボット

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XY+Z構成に対応する高精度多軸システム。用途に合わせて最適な構成が可能

  • csm_X-417.2xx_frame_boards_3c9d85fd9d.jpg
  • csm_X-417.0xx_42573bc6ea.jpg
  • リニアモータ
  • アクチュエーター
  • 直交ロボット

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用途に応じて軸数や仕様を自由に構成できる多軸モーションシステム

  • csm_X-417.2xx_frame_boards_3c9d85fd9d.jpg
  • csm_X-417.0xx_42573bc6ea.jpg
  • リニアモータ
  • アクチュエーター
  • 直交ロボット

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高速・高精度搬送を実現する最大800mmストロークのリニアモーターステージ

  • csm_PI-G-901_R3199-ACS_3898909ed8.jpg
  • その他機械要素
  • リニアモータ
  • 直交ロボット

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高速4 m/s×高分解能で研究開発の位置決めを高精度化

  • csm_PI-G-901_R3199-ACS_3898909ed8.jpg
  • その他機械要素
  • リニアモータ
  • 直交ロボット

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0.1 µm分解能と最高4 m/sの高速動作で高精度測定を実現

  • csm_PI-G-901_R3199-ACS_3898909ed8.jpg
  • その他機械要素
  • リニアモータ
  • 直交ロボット

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リニアモータ×高精度エンコーダで高荷重600Nでも滑らか・高速応答

  • csm_V-817.xx6211E0_KUZ.png_Bilder-Web_866a178349.jpg
  • リニアモータ
  • アクチュエーター
  • 直交ロボット

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サイズ60mm四方、XYZ軸対応のコンパクトリニアステージ

  • アクチュエーター
  • 直交ロボット
  • エンコーダー

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サイズ60mm四方、XYZ軸対応のコンパクトリニアステージ

  • アクチュエーター
  • 直交ロボット
  • エンコーダー

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顕微鏡観察・自動イメージング向け 高精度XYステージ V-P01

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
  • エンコーダー

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ナノスケール位置制御を支える、100 µm × 3軸コンパクトXYZピエゾステージ

  • アクチュエーター
  • 直交ロボット
  • 圧電デバイス

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微細レーザー加工の焦点・位置制御を支える、100 µm × 3軸ナノポジショナー

  • アクチュエーター
  • 直交ロボット
  • 圧電デバイス

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100 µm × 3軸。光学アライメントをナノ精度で実現するコンパクトXYZピエゾステージ

  • アクチュエーター
  • 直交ロボット
  • 圧電デバイス

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高倍率観察をナノメートル分解能で支える、100 µm × 3軸コンパクトXYZピエゾステージ

  • アクチュエーター
  • 直交ロボット
  • 圧電デバイス

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半導体装置の微細位置補正に。100 µm × 3軸ナノポジショナー

  • アクチュエーター
  • 直交ロボット
  • 圧電デバイス

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最大1800µmの長ストロークと、静電容量センサーによる優れた精度で顕微鏡のサンプル位置決めに最適

  • その他機械要素
  • 圧電デバイス
  • 直交ロボット

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細胞操作・ライブセル観察に最適。サブナノ精度で安定したXY位置決めを実現。

  • その他機械要素
  • 圧電デバイス
  • 直交ロボット

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プローブ位置決めをサブナノ精度で実現するPIMars精密ナノステージ

  • アクチュエーター
  • 圧電デバイス
  • 直交ロボット

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顕微鏡の試料位置決めをナノ精度で実現するPIMars XYZナノステージ

  • アクチュエーター
  • 圧電デバイス
  • 直交ロボット

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再現性±1nm、XY軸100µmストローク。半導体製造装置向け高精度ナノポジショナー

  • アクチュエーター
  • 圧電デバイス
  • 直交ロボット

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再現性±1nm、XY軸100µmストローク。透過光光学系に最適な高精度ナノポジショナー

  • アクチュエーター
  • 圧電デバイス
  • 直交ロボット

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エア浮上×リニアモータで高速・高精度ウェーハ検査を実現

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
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エアベアリング×リニアモータによる非接触駆動。基板・部品検査の高速化と安定化に貢献

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
  • エンコーダー

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微細工程の精度を支える、半導体向け高安定リニアステージ

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  • 直交ロボット

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実装精度を、ラインの安定力に。電子機器製造を支える単軸リニアモーターステージ

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検査精度を、装置の“直線性能”から引き上げる単軸リニアモーターステージ。

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造形精度と再現性を支える、HIWINの高精度直線ステージ

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実験の精度と効率を高める、HIWIN 単軸リニアモーターステージ

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摩擦ゼロ、高精度位置決め。FPD検査工程の品質向上に貢献。

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
  • エンコーダー

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レーザー切断の精度を向上。±0.2 µmの高精度位置決めを実現。

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
  • エンコーダー

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摩擦ゼロ、高精度位置決めを実現する小型エアベアリングステージ

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
  • エンコーダー

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摩擦ゼロ、高精度位置決め。光学機器の調整作業を革新。

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
  • エンコーダー

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