圧力制御の製品一覧
- 分類:圧力制御
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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!
- その他搬送機械
コリオリ式マスフローや当社初の圧力式マスフローコントローラなどもラインアップ
- 安全コントローラ
- 圧力制御
- 流量計

【製品情報】圧力ベース・メタルシール・マスフローコントローラ『GP200シリーズ』
『最高の性能を最大限に引き出す』 半導体製造における高度なエッチングやデポジションのプロセスに特化して設計された、業界初の完全圧力不感応タイプの圧力ベースのマスフローコントローラ(P-MFC)です。 GP200シリーズP-MFCは、従来のP-MFCの限界を克服し、低蒸気圧のプロセスガスでも高精度なプロセスガス供給を可能にする特許取得済みのアーキテクチャを採用しています。また、差圧センサーを内蔵し、下流側にバルブを配置するなど独自の設計を採用することで、業界で最も広い範囲の動作条件で高精度のプロセスガス供給を可能にしています。 幅広いプロセス条件に対応しているため、従来のP-MFCやサーマルMFCの代替品やアップグレード品として使用することができます。また、圧力調整器や変換器などの部品が不要になるため、ガス供給システムを簡易化し、コストを低減することができます。 【主な用途】 ■ 半導体製造 ■ エッチング ■ CVD ■ 高純度のオールメタル流路を必要とするガス流量制御アプリケーション

フクダのエアリークテスターをぜひご覧ください!
●エアリークテスターとは? 「エアリークテスタ」は、密封されたワークの内側(あるいは外側)を空気で加圧し、圧力変化によって漏れの有無を判定する装置です。 漏れのないマスタと、漏れのあるワークを加圧すると、ワーク側の圧力が低下し両者の間に圧力差が生じます。 この圧力差を測定することで漏れの有無を判定します。 一般的に、差圧式エアリークテストが広く用いられていますが、フクダでは差圧式リークテスタに加え、漏れ量(リークレート)に応じた直圧式リークテストや流量計を用いた製品もラインアップしています。 エアリークテスタは空気を測定媒体とするためランニングコストがかからず、環境にも優しい仕様となっています。

フクダのエアリークテスターをぜひご覧ください!
●エアリークテスターとは? 「エアリークテスタ」は、密封されたワークの内側(あるいは外側)を空気で加圧し、圧力変化によって漏れの有無を判定する装置です。 漏れのないマスタと、漏れのあるワークを加圧すると、ワーク側の圧力が低下し両者の間に圧力差が生じます。 この圧力差を測定することで漏れの有無を判定します。 一般的に、差圧式エアリークテストが広く用いられていますが、フクダでは差圧式リークテスタに加え、漏れ量(リークレート)に応じた直圧式リークテストや流量計を用いた製品もラインアップしています。 エアリークテスタは空気を測定媒体とするためランニングコストがかからず、環境にも優しい仕様となっています。
スムーズで素早い昇圧を実現。昇圧後の微調整レンジが広く細かい圧力調整が容易にできるハンドポンプ
- 圧力制御

水素用リリーフ弁、Seetru社
ー小型で軽量 ーねじ接続による配管開放型弁 認証規格 • BS EN ISO 4126-1 • PED 2014/68/EU ◦ モジュール B – TÜV ラインランド ◦ モジュール D – LRQA ドイツ • PE(S)R 2016 (UKCA) ◦ モジュール B – TÜV UK ◦ モジュール D – LRQA UK • API 527より優れたシート密閉性 ご要望に応じて EAC マーキングを刻印可能 詳しくはお問合せいただくかカタログをダウンロードください。
業界トップクラスの精度と安定性!Additel圧力コントローラが作業効率を飛躍的に向上。
- 圧力制御
31.3Paの高感度!精密なプロセス制御が必要なシステムに使用中。再現性も抜群
- 圧力制御

リニアアクチュエーター PAX1、ロトルクフェアチャイルド社
厳正な流体制御用例向け高信頼性製品。低圧、中圧、高圧用例向け。 デモ機貸し出しも可能。 ーRotork Fairchild PAX1 はフェアチャイルド製精密レギュレーター制御用に最適です。 ーPAX1 は遠隔地、及び危険な環境において最大20.68MPa迄の圧力を制御出来ます。 ーPAX1 は内蔵モーターにより双方向に可動しますが、レギュレーターのスプリングに対抗、又は共に動作する連結性はありません。 ーPAX1は電源、又は制御信号喪失時には最終位置を保持します。 <特徴・利点> • 設定レンジは真空~20.68MPa • 最大ストローク速度は10秒以下 • 耐候性IP66/IP68/Type 4X/Type 6P • 温度範囲 -40 ~+80ºC • 消費電力 1W以下、待機時/遠隔地における不作動時 • オプションでアナログ制御とフィードバック • ユーザーによるストローク設定 詳しくはお問合せいただくかカタログをダウンロードください。
低コストで高度な機能性と信頼性を兼ね備えたマイクロプロセッサ ベースの 1/16 DIN コントローラです。
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