半導体製造装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

主軸の複数化にも対応！機械パフォーマンスと長くトラブルのない稼働をお約束！

• ウエハ加工/研磨装置
• その他工作機械
• その他加工機械

従来のフォトリソグラフィーと比較して、研究開発から量産用途まで扱いやすく高い生産性を実現するソリューションです

• エッチング装置

高い温度安定性と応答性のフッ素系溶液用チラー

• その他環境機器
• その他半導体製造装置

信頼性の高いシステムを構築！メンテナンスや改造も当社にお任せください

• 蒸着装置
• スパッタリング装置
• 真空機器

扱いやすいデザインで各種成膜条件の制御が容易！6種類のターゲットが使用できます

• 蒸着装置

スキャニングRHEEDを標準装備！モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着

• 蒸着装置

今後の超薄板製品対応が可能！上部2組,下部2組でノズルユニット位置を錯角に設計されています

• ウエハ加工/研磨装置

フィルム材料用 Roll To Roll 自動両面露光装置

• その他半導体製造装置

反った基板の矯正と反り測定用検査機

• その他半導体製造装置
• 基板検査装置
• 基板加工機

フォトマスクやプリント基板の資材・設備の事ならラットコーポレーション

• フォトマスク
• 基板加工機
• 解析サービス

真空～大気環境でパーティクルレスでの熱処理を実現します。

• その他半導体製造装置
• 加熱装置
• 電気炉

試作対応　少量対応　4～12inch対応　任意膜種　支給基板対応

• ウエハ加工/研磨装置
• ウエハー

ダイシングフレーム(ウェハリング)をCFRP3Dプリント技術により開発。軽量で高剛性のためウェハの搬送性に優れます。

• その他半導体製造装置
• 半導体検査/試験装置
• その他半導体

ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液洗浄装置！薬液によりブラシ洗浄との組合せにも対応です。

• その他洗浄機
• 超音波洗浄機
• その他半導体製造装置

ミッションクリティカルな工場設備を保護し、生産ラインの継続稼働を支援する産業向け次世代IPS

• 旋盤
• ファイアウォール・不正侵入防止
• その他半導体製造装置

コンバーティング関係機械などの産業機械製作のことなら当社まで！

• 塑性加工機械(切断・圧延)
• コーター
• 中古買取

精密小物部品のバリ取り、表面研磨に！短時間での強力な研磨加工または繊細な仕上げ加工が可能です

• ウエハ加工/研磨装置

ワークを中に入れると電気的に作られた交番磁界のために激しく転動！短時間で美しい表面が得られます

• ウエハ加工/研磨装置

卓上機で高精度、高い剛性のフレーム構造！高精密研磨試料の作成を実現しました

• ウエハ加工/研磨装置

磁石板を複数設け自転し、尚磁石板軸も公転！容器全面での加工が均一に行えます

• ウエハ加工/研磨装置

単結晶ダイヤモンド工具の専用機！吸収性を高めた鋳物構造の本体に超精密エアーベアリングを搭載

• ウエハ加工/研磨装置

単結晶ダイヤモンドバイトのすくい面や逃げ面の面加工及び刃付けに使用します

• ウエハ加工/研磨装置

丈夫な溶接構造！長時間の連続運転に対しても、高速で安定した運転を保つことができます

• ウエハ加工/研磨装置

全34点の研磨機を掲載しています。カタログ無料ダウンロード中！

• ウエハ加工/研磨装置
• 補修剤

PFA／フッ素樹脂／材料

• その他半導体製造装置
• その他高分子材料

９種類の同軸規格に対応した 高電力高周波同軸のソリューション

• 同軸コネクタ
• エッチング装置
• その他電源

高電力（20KW@60MHz）タイプのフレキシブルケーブルアセンブリ

• 同軸コネクタ
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

マイクロ波～ミリ波の同軸アダプタ・変換器(最大～110GHz)

• 同軸コネクタ
• 高周波・マイクロ波部品
• 半導体検査/試験装置

半導体製造工程に使用される材料の精製から、デバイス製造工程に使用される材料やガスに対して幅広く高性能な商品のラインナップ

• その他半導体製造装置

接着剤の塗布、貼り合せ、UVスポット硬化までの一連の動作を1台の設備で行えます！

• ディスペンサー
• ボンディング装置

AlGaInP膜の表面を良好に粗面化エッチングし、光取り出し効率を向上させることができます。

• その他半導体製造装置

Al、Al合金膜を腐食することなく絶縁膜を良好にエッチングします。 エッチング加工用とSi自然酸化膜除去用を取り揃えています。

• その他半導体製造装置

□150mm、8インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-400AII　スピンコーターは製造メーカーのアクティブへ！

• その他半導体製造装置

ご要望に合わせてカスタマイズ可能！ 多様な用途に対応が出来るコアシェル型微粒子。

• その他表面処理装置
• その他半導体製造装置
• その他機械要素

2000℃以上のSiCプロセスに対応可能な単結晶成長およびCVD用部品。高温でのスパッタやイオン注入に対応する静電チャック。

• スパッタリング装置

高温アンモニアに耐性があり、容易に高温が得られる機能部品、高温用ヒータ、構造材。窒化物の単結晶成長からウェハプロセスまで対応。

• CVD装置

高純度、高熱伝導、軽量で靭性があり、高い耐熱衝撃性を発揮する高温セラミックス！半導体製造など幅広い業界で活躍

• その他半導体製造装置

高性能・低価格！研究、実験用にも適した小型のスピンコート機ACT-220AII　スピンコーターは製造メーカーのアクティブへ！

• その他半導体製造装置

高性能・低価格！6インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-300AII　スピンコーターは製造メーカーのアクティブへ！

• その他半導体製造装置

スリット塗布後に真空貼り合せまでを一連で行う装置

• その他組立機械
• ボンディング装置

平面だけでなく曲面にも対応したスリットコーター

• コーター

気泡の原因を元から除去！既存プロセスに後付けするだけで溶存酸素を10ppbレベルまでコントロール！

• その他半導体製造装置
• 水処理装置
• 脱気装置

RP3500SA　N2パージシステムスタンドアロン

• その他半導体製造装置

シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓｉ系、メタル、有機膜、各種薄膜のダメージレスエッチング

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

板形状への精密研磨加工と成膜はぜひ当社へご相談ください！

• ウエハ加工/研磨装置
• 加工受託