半導体製造装置の製品一覧

高 性 能 か つシンプ ル なストリップ マシン

• その他加工機械

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

廃液処理が不要！超微細ドライアイスパウダーでパーティクル・オイルを徹底除去

• その他洗浄機
• その他半導体製造装置
• その他光学部品

6-Dクオリティで最高級のメカニカルステージ

• その他理化学機器
• 距離関連測定器
• ステッパー

半導体用発熱体

• その他ヒータ
• 電気炉
• 酸化/拡散装置

シリンダータイプヒーター（円筒）　

• その他ヒータ
• 電気炉
• 酸化/拡散装置

電子・半導体業界用！1枚のウェハー製造用ヒーターモジュール

• その他ヒータ
• CVD装置
• アニール炉

スーパータル　HT （高温用半円筒型、最高炉内温度1675℃）

• その他ヒータ
• 電気炉
• アニール炉

スーパータル　半円筒（ハーフシリンダー）型

• その他ヒータ
• 電気炉
• アニール炉

発熱体最高使用温度：1550℃！モジュールヒーター

• その他ヒータ
• 電気炉
• アニール炉

研究所や電子産業に最適！クリーンプロセスでの高温発熱体

• その他ヒータ
• 電気炉
• アニール炉

CVDコーティング装置向けモジュールヒーター

• 鉄鋼
• CVD装置

研磨業を通じて、お客様の発展に寄与し、地域と共に豊かな未来を想像し続ける。

• 加工受託
• ウエハ加工/研磨装置
• 基板設計・製造

Fujifilm Dimatix社富士フィルムインクジェットヘッド駆動コントローラー基板SG/PQ/QS/QE制御。

• その他プロセス制御
• その他半導体製造装置

インクジェットヘッドコントローラー基板です。業界で唯一、ノズル毎の駆動制御技術と基板開発を供給します。

• その他半導体製造装置

クリーンルーム内や真空チャンバー内で使用できる完全オイルフリー・コンタミフリーなアルミホイルです。

• スパッタリング装置
• アルミニウム
• その他半導体製造装置

配管ヒーター、シリンダー等の熱を逃がさない！電力削減やCO2を削減！用途に合わせて形状・材料を自由にカスタマイズ可能！

• 射出成形機
• 押出成形機
• CVD装置

半導体・製薬・食品業界に最適なフッ素樹脂ボールバルブ！耐熱性・耐薬品性に優れた全８種類をまとめてご紹介！

• その他理化学機器
• その他半導体製造装置
• バルブ

フッ素樹脂ＰＦＡフレキシブルチューブ

• その他半導体製造装置
• 配管材
• チューブ

フッ素樹脂コイルチューブ

• その他半導体製造装置
• 配管材
• チューブ

フッ素樹脂チェックバルブ

• その他理化学機器
• その他半導体製造装置
• 配管材

フッ素樹脂ボールバルブ

• その他理化学機器
• その他半導体製造装置
• バルブ

ＢＳＴヒーター　Ａ型・Ｂ型

• 加熱装置
• その他半導体製造装置
• その他ヒータ

ＢＳＴヒーター　フラット型

• 加熱装置
• その他半導体製造装置
• その他ヒータ

【フッ素樹脂熱伸縮チューブ】耐熱性！耐薬品性！電気絶縁性！高周波特性

• その他半導体製造装置
• 分析機器・装置
• チューブ

研究・試作用途に最適！各種乾燥方式を選択可能な高精度設計塗工機

• コーター

投げ込み型のテフロンヒーターです

• その他半導体製造装置
• プラスチック

バッチ式ウエット(薬液処理、洗浄)プロセスで使用される石英ガラス槽を製作しています。

• その他半導体製造装置
• ガラス器具・容器

１、実験用のDPN仕様インクジェット印刷・塗布装置。 ２、KM256LNB-DPN使用可

• その他半導体製造装置

プリンテッドエレクトロニクス用途のインクジェット印刷に必須の親水領域・撥水領域パターン描画装置です。波長２８５ｎｍ

• その他半導体製造装置

紫外線硬化ユニット

• その他洗浄機
• その他半導体製造装置

石英ガラス製のジャケットとハロゲンランプ熱源のインラインヒーター（ケミカルヒーター）ユニットです。

• その他半導体製造装置

ウェハ表裏同時露光！セミオート動作で中ロット生産に対応

• その他半導体製造装置

リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデル

• 蒸着装置

一定の膜厚に塗工するよう設計されたラージサイズ塗工機です

• 2次電池・バッテリー
• コーター

小型サイズの塗工機です。

• 2次電池・バッテリー
• コーター

塗工後に最大100℃で薄膜を乾燥できるヒートカバー付き塗工機です。

• 2次電池・バッテリー
• コーター

インクジェットＤＰＮ吐出制御による１％精度ヘッド制御を実現しました。

• その他半導体製造装置
• その他プロセス制御
• その他半導体

最大1,000lpmまでの流量を確保

• CVD装置
• エッチング装置
• 蒸着装置

油圧シリンダと空油圧変換増圧装置をコンパクトに一体化した高推力エアシリンダ

• 油圧機器
• モールディング装置
• その他機械要素

耐磨耗性に優れた超高性能セラミックスを使用したセラミックロールを掲載

• セラミックス
• ウエハ加工/研磨装置

ニーズに的確に応え、さらに挑戦！生産基盤を創造し、お客様のお役に立ちます。

• その他半導体製造装置

スペックとしてはケガキ精度30ミクロン（30μm）です。

• その他理化学機器
• その他半導体製造装置
• その他検査機器・装置

高品質・高生産性を実現！更に進化した300mmウェハ対応高精度SiPボンダ

• ボンディング装置

高出力型

• 超音波発振器
• その他半導体製造装置

高出力型

• 超音波発振器
• その他半導体製造装置

高周波型

• 超音波発振器
• その他半導体製造装置