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精密ステージ・テーブル

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最終更新日:2016年08月18日

株式会社ティ・ディ・シー
株式会社ティ・ディ・シー
  • 公式サイト

平面度0.001mm以下の精度を実現(φ12インチの場合)

弊社(株式会社ティ・ディ・シー)は、各種素材に対する超精密鏡面研磨加工、その他精密機械加工全般を得意とします。 材質、サイズ、加工精度、その他製品仕様についてお客様のご要望にお応えいたします。お気軽にお問い合わせください。 その他弊社加工内容、実績についてはホームページをご参照ください( http://www.mirror-polish.com/ )。

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吸着テーブル.jpg

精密ステージ・テーブル

吸着テーブル.jpg
吸着テーブル.jpg

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基本情報

1.ウエハ吸着用テーブルや測定用ステージの新規作成 2.使用中のステージの磨耗修正 φ12インチサイズで平面度0.001mmが実現可能です。 材質はSUS、セラミック、ガラスなどをはじめ、チタン、モリブデンの特殊材での製作も承っております。 ご相談に応じてメッキや蒸着などの表面処理も対応可能です。

価格情報

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納期

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用途/実績例

精密測定器ステージ 真空吸着テーブル CMP装置用研磨テーブル その他 治具、Vブロックなど

この製品に関するニュース(3)

TDC紹介動画 第2段が完成しました!

  • 企業ニュース

ティ・ディ・シーの紹介ビデオ第2段が完成いたしました。 今回は社長の赤羽によるマネジメントのご紹介です。 1分程のショートムービーですので、ぜひご覧下さい。 下記「関連情報」より動画ご覧いただけます。 タイトル:TDCのマネジメント さて本日より東京ビックサイトで開催されております「ナノテク2018」に出展しております。 様々な材質の鏡面サンプルだけでなく、ラップ研磨で作り込んだ微細部品や内径鏡面品も展示しております。また今回は□400の鏡面板や1メートル程の大きなロールも出しておりますので、ぜひこの機会にご覧下さい。 本日バレンタインということで3日間コーヒーやチョコレートもご用意しております。お気軽にお立ち寄り下さい。 <説明員> 2/14(水):社長・藤野・有査 2/15(木):社長・藤野・前田 2/16(金):社長・藤野・有査・前田 ★技術的な打合せも可能です★ 社員一同お待ちしております。

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新しいTDC紹介動画が完成しました!

  • 企業ニュース

ティ・ディ・シーの新しい紹介ビデオが完成いたしました。 超精密鏡面加工、超精密機械加工がいかにして成し遂げられているのかが とても分かりやすくまとめてあります。 1分程度の短い動画ですので、ちょっとした空き時間に見ていただけるかと思います。 下記「関連情報」より動画ご覧いただけます。 タイトル:TDCのテクノロジー 動画内にもありますが、TDCではRa1nmレベルの面粗さを実現するだけでなく、 同時に様々な仕様に対応することも可能です。 「面粗さを良くしつつ、平行度も向上させてほしい」、 「面粗さはそこまで重要ではないが、寸法公差と平面度が厳しい」などといった内容も得意としておりますので、 是非お気軽にご相談くださいませ!

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デジタルマイクロスコープ導入しました

  • 企業ニュース

この度、測定機にデジタルマイクロスコープを導入致しました。 KEYENCE製 VHX-6000シリーズ 「観る・録る・測る」がこれ1台。 「観る」あらゆる方向からの観察が可能。レンズを傾け、ステージを回転させても視野範囲がずれることなく360度あらゆる方向からの観察ができます。対象物に手を触れる必要がないので、再現性の高い観察が可能。 「録る」観察画面をそのまま保存が可能。保存した画像はLAN・USB経由で簡単に活用ができます。 「測る」リアルタイムに計測が可能。マウス操作だけで簡単に誰でも寸法計測が可能。2点間、角度、直径、平行線、面積など、あらゆる計測をリアルタイムに画面上で行うことができます。 またオプションにはなりますが、ワイドレンジズームレンズを併せて導入しました。このレンズにより0~1000倍を1台で、実体顕微鏡・電子顕微鏡・金属顕微鏡・測定顕微鏡・を併せ持ったデジタルマイクロスコープVHX-6000です。 これまで見えなかったものが見えやすくなることであらゆる「観る・録る・測る」が可能になります。 皆様のお役に立てることが出来れば嬉しく思います。

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特に得意としている超精密鏡面加工は最大サイズが片面機でφ1500まで対応が可能です。 精密ステージ・吸着盤などの平面度・平行度・面粗さ向上が得意です。φ300*10t程度のサイズの吸着盤ですと、平面度0.001・平行度0.001、Ra0.01以下(SUS材)を製作しています。 φ100*5t(材質SUS・Ni・Ti・Mo・Ta・W・セラミックス・Si等)では平面度0.001以下、Ra0.001前後の精度のプレートを製作することが可能です、超高精度な治具や金型としてご使用いただいております。 ◆元気なモノ作り中小企業300社2007に選ばれました。◆ ◆2014年経済産業省「グローバルニッチトップ企業100選」に選ばれました◆2018年経済産業省「地域未来牽引企業」に選ばれました。

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