電子ビーム描画装置の製品一覧

規格品が多く設置場所や処理量が制限される真空炉もオーダーメイドで製作しています

• 工業炉

“機械設備をいまある現場で最大限に活かす恒温環境"の新提案！

• その他空調機器

ハーメチックフィードスルー

• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置
• 分析機器・装置

真空非磁性 ＵＳＭ駆動ユニット＜特注＞

• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置
• 分析機器・装置

ファイバーレーザー溶接によるアルミ板金溶接

• 電子ビーム描画装置

高出力赤色半導体レーザーマーキング／品番 M1170NMSH-7LA

• 電子ビーム描画装置
• 刻印機
• レーザーマーカー

ＦＰＤのセルパネル欠陥に対し、ＩＴＯパターンをカットして修正可能。

• 電子ビーム描画装置
• レーザーマーカー
• その他加工機械

今までの露光装置とは生産性が違います！

• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置
• レジスト装置

表面処理装置　スパッタ用イオン銃

• スパッタリング装置
• 電子ビーム描画装置

表面処理装置　走査型イオン銃

• スパッタリング装置
• 電子ビーム描画装置

小型･高精度･低消費電流を誇り、水晶加工から一貫して生産することで お客様の要求にも細かく、短納期でお応えしております。

• 電子ビーム描画装置

5"6"9"マスクケース

• 電子ビーム描画装置
• その他クリーンルーム用機器・設備
• その他光学部品

ＥＨ４３０Ｂ

• 半導体検査/試験装置
• 電子ビーム描画装置
• その他加工機械

移動距離数十ミリ程度の位置決めに適したボイスコイル型リニアモータ（ＶＣＭ）を高速移動と超精密位置決め用に開発しました。

• 電子ビーム描画装置
• サーボ
• トルク制御