その他半導体製造装置の製品一覧

小型化により、現場での取り回しやすい環境づくりに寄与

• その他実装機械

アイソレーターをお持ちの方へ。高い薬品耐性と作業性を実現。低価格、短納期も実現可能なグローブボックス・アイソレーター用グローブ

• 作業用手袋

【　寸法公差±0.05　小径穴加工　材質A5052（a5052）　半導体製造装置関連のアルミ精密部品　】

• その他半導体製造装置

350℃まで対応のクラックレス硬質アルマイトで皮膜剥がれによる粉塵の発生・混入を防止！

• その他半導体製造装置
• その他検査機器・装置
• アルミニウム

コスト削減や形状の自由度UPで作業性向上！高耐電圧を実現したクラックレスアルマイト

• その他半導体製造装置
• その他検査機器・装置
• アルミニウム

『アルミ観覧車　一刀彫アルミ観覧車　創作加工技術　』

• その他半導体製造装置

PinとAirを利用してMylar filmを除去！製品別に別途の厚さ調整が必要ありません

• その他半導体製造装置

シリコンウエハを搬送する際に使用するロボットに使われる部品です。クリーン環境で使われる為に髪の毛１本のキズも許されません。

• その他機械要素
• 搬送・ハンドリングロボット
• その他半導体製造装置

多品種少量の精密機械加工、治工具の設計、製作がメイン

• その他機械要素
• 滅菌器
• その他半導体製造装置

製品精度を上げるため、台湾/日本/ドイツ製設備を保有

• その他機械要素
• 滅菌器
• その他半導体製造装置

アルミ鋳物電熱板に使用する過熱管　UL/VDE/CCCなど企画品対応可能

• その他機械要素
• 滅菌器
• その他半導体製造装置

多品種少量生産、高密度の機械加工部品の製作可能

• その他機械要素
• 滅菌器
• その他半導体製造装置

大手日系企業のOEMメーカーとして、機械加工、樹脂成形、板金プレス加工などを社内で対応。

• その他機械要素
• その他半導体製造装置
• 滅菌器

単品からロールtoロールでの加工も対応

• その他機械要素
• 滅菌器
• その他半導体製造装置

半導体用小型ステージから、液晶用大型ステージまで幅広い製作実績を誇ります！

• その他半導体製造装置

ステンレス加工　フライス加工　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】　

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

【鏡面切削加工　ラッピングしないで鏡面加工　超精密鏡面加工　鏡面仕上げ】

• その他半導体製造装置

パーティクル発生リスクを極限に抑えた、大気用セラミックス製搬送ハンドの登場！

• その他半導体製造装置

【アルミの微小径穴加工　φ0.3mm　公差+0.01～+0.02　アルミの精密プレート】

• その他半導体製造装置

トライ＆エラーが必要不可欠な研究・試作用途に好適なマスクレス露光装置

• その他半導体製造装置

真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動を伝達する導入機です。

• スパッタリング装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

磁気結合式直進回転導入機（MFL）を取り付ける際の軸差および角度調整に！

• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

ビューイングポートへの蒸着保護および光・ビームの遮断にご利用ください。

• CVD装置
• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

真空チャンバーを製作いたします

• CVD装置
• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

『超微細加工技術の開発　森精機切削加工ドリームコンテスト　第6回　微細加工部門金賞受賞作品　マイクロ立体回転式フィルター』

• その他半導体製造装置

『アルミの微細加工　細溝加工　微細溝切削加工　半導体製造装置のアルミ精密部品』

• その他半導体製造装置

アルミ五軸加工　大阪【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

シリンジのままでも、カップ式でも撹拌・脱泡はおまかせください！

• ミキサー・攪拌器
• その他半導体製造装置

LED分注工程の生産革新！生産現場で要求される精度を実現します

• 分注器
• その他半導体製造装置

LED材料や医療材料、太陽電池、接着剤等、あらゆる材料の攪拌・脱泡に！シリンジ・カップ式共に対応可！

• ミキサー・攪拌器
• その他半導体製造装置

超薄反りウエハを触らずにつかむ非接触搬送装置

• その他半導体製造装置
• CVD装置
• 加熱装置

微細ウェハバンプのフラックスレスリフロー装置 サンプルテスト対応　省エネ・短タクトプロセスを実現 リフロー動画掲載

• その他半導体製造装置

『ＮＳ特殊処理　 微細溝切削加工品　三角形ピラミッドの密集　半導体製造装置の金型』

• その他半導体製造装置

二枚のガラスウェアを高精度に貼り付けします！

• その他半導体製造装置

極微小径穴加工技術

• その他半導体製造装置

【鏡面切削加工　みせるばやお　置き看板　鏡面】

• その他半導体製造装置

ご希望の測定機、検査機を搭載可能です。

• その他半導体製造装置

大阪　切削量産　旋盤加工・マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

アルミ精密加工　大阪　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

圧入方式だからできる多彩な印刷形態を実現した、はんだペースト印刷機！

• その他実装機械
• その他半導体製造装置
• 印刷機械

アルミ半導体装置部品加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向上させます。

• エッチング装置
• アッシング装置
• その他半導体製造装置

オリジナルパワーメータによる高速調芯！お客様の要望に合わせた専用調芯装置が製作可能です

• その他半導体製造装置

有効パターンエリアを大きくとる事が可能であり、材料の有効活用ができます

• めっき装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

移載機能と厚み測定機能を搭載しています。

• その他半導体製造装置

2流体でウェーハを徹底洗浄します。

• その他半導体製造装置

大阪半導体製造装置の精密部品　ステンレス加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】　

• その他半導体製造装置
• エッチング装置
• モールディング装置