含浸の製品一覧
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【技術情報】CMP研磨パッドの溝加工 2
前回、研磨パッド表面の溝加工によってスラリーの拡散が変わることをご説明しました。 溝によるスラリーの拡散効果を可視的に検証した事例をご紹介します。 半導体用などでデファクトスタンダートとなっている研磨パッド「IC1000」に異なる溝加工を6種類サンプルとして準備。 ・Circular Groove(同心円溝) ・Perforated Groove(貫通穴溝) ・Radial Groove(放射溝) ・Spiral Groove(螺旋溝) ・XY Groove(XY溝) ・Acr Groove(円弧溝) 青色に着色した液体を同条件下で滴下すると、溝加工によって液体の拡散が異なることがよく分かります。同心円溝や螺旋溝はスラリーの保持性が高く、放射溝や円弧溝はスラリーの排出性が優れることが確認できます。 このように同じ研磨パッドでも溝加工によってスラリーの拡散が異なり、ウェーハなどワークに介入するスラリーの作用に影響しますので、溝加工の選定は大変重要です。 当社ではお客様でのプロセス条件やターゲットを考慮して、溝加工の選定のお手伝いもさせて頂きますので、ぜひご相談下さい。
液室を取り外せば伝熱ブロックを取出せるので洗浄が容易。また、再組立も簡単でメンテナンス性に優れた熱交換器。※カタログ進呈
- 熱交換器
ホームページが新しくなりました
この度、大同メタル工業株式会社では、皆様により使いやすく、よりわかりやすいホームページとなるよう、ホームページをリニューアルいたしました。 引き続き、いっそう充実した内容となるよう継続して更新してまいります。 今後とも大同メタル工業株式会社をよろしくお願いいたします。
鉄芯ボルトをガラエポで積層成形した絶縁ボルト
- 加工受託
