更新日： 集計期間:2025年04月16日～2025年05月13日
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レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに好適
■コンパクトから大開口まで 小型デバイスに適したコンパクトな開口からタイプから、大きなパネル基板をアライメントできる大開ロタイプも揃えています。 ■スムーズで精確なスキャニング 高精度フィードバック制御により、指令信号に従った信頼性の高い動作が行えます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
材料研究、開発、評価、検査工程などに最適！BESTなステージを製作いたします
「SXY-200H」はリニアブッシュ、台形ボールねじを採用した精密手動XYステージです。廉価にて、ステージの構成が可能です。 ※高精度タイプとしては、RXYシリーズを参照願います。 レイアウトに合わせたステージを製作いたします。X軸、Y軸 ストロークカスタム対応で、貴社の機器システムへの組み込みも、装置メーカ様OEM対応いたします。 固定用足のアングルや、治具、機器類取り付け用孔もカスタム対応いたします。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
最終段位置計測と長いストロークを特徴とするナノポジショニングシステムシリーズ。0.02%の位置決め精度！
Z軸PIHera(R)システムは、ストロークが最大400μm、 サブナノメートルの分解能を提供する、低価格のピエゾナノポジショニングステージです。 【特徴】 ○垂直ストローク：50～400μm ○高精度、低コスト ○0.1nmの分解能 ○静電容量センサーを内蔵 ○0.02%の位置決め精度 ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○X、XY、Z、XYZバージョン ○真空対応バージョンも用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
超高ガイド精度を誇る！最大位置決め／スキャニングレンジが35μm、超高速セットリングタイムと、直進性が非常に高い
極めて精密なP-752シリーズ高速ナノポジショニングステージは、 最大位置決め／スキャニングレンジが35μm、超高速セットリングタイムと、 直進性が非常に高いことが大きな特徴です。 【特徴】 ○分解能0.1nm、高速応答 ○ストローク～35μm ○静電容量センサーによる高リニアリティ ○フレクシャガイドにより摩擦のない直進性の高い動きを実現 ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
BESTなステージを製作いたします！
材料研究・開発・評価など貴社の加熱プロセスへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品です。 駆動方式は使用により選定可能です。治具、機器取り付け用孔カスタムにも対応しております。 各軸ともにロック機構で、固定用足/アングルなどもカスタム対応いたします。 Z軸駆動は、スライド方式により、精密なZ軸調整とステージの薄型をはかっています。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
薄型で、駆動面積と耐荷重の違いで4種類のサイズ違いがあり、エンコーダーも2種類対応の高精度エアベアリング回転ステージです。
エアベアリング回転ステージは、エア浮上ガイドのため一般的な メカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けません。 そのためスティックスリップ、摩擦熱がなく、高速駆動で、 高い平坦度＆わずかな偏芯のため、非常に高精度位置決めが可能です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
スライドガイド採用！低価格で高品質を実現しました
『KXSシリーズ』は、スライドガイドを採用し低価格を実現した 自動ステージです。 スライドガイドの採用で、ロングストロークを実現しています。 精密加工技術を生かした内製のボールねじ、スライドガイドを採用しました。 機構部品内製化により高品質で、センサを本体内部に配置することにより、 ステージ側面の突出もなくコンパクトな構造です。 【特長】 ■ロングストローク ■低価格 ■高品質 ■コンパクト ■カバータイプ ・ 異物落下防止 ・ グリース飛散予防 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【精密位置決め装置】『0.00005°』又は『0.0001°』のフィードバック微少回転用位置決めステージ！
光学式エンコーダを内蔵したストローク『±4°』の微少回転用位置決めステージです。 最小ステップ送り『0.00005°』(*1)又は『0.0001°』(*2)でフィードバック制御が可能となっております。 自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-401との組み合わせ (*2)フィードバックステージコントローラFC-101との組み合わせ
リミットスイッチ内蔵！DCステッピングモータ付きコンパクトリニアステージ
『L-505』は、DC/ステッピングモータ選択可能な小型リニアステージです。 リニアステージには、フランジモーターを備えた細長いタイプと、 ベルトドライブ(折り畳み式ドライブトレイン)を備えた幅広くコンパクトな タイプ2つのデザインバリエーションをご用意。 また、インクリメンタルエンコーダによる高精度位置測定が可能です。 【特長】 ■トラベルレンジ：13mmまたは26mm ■ギヤヘッドなしのステッピングモータあるいはDCサーボモータ選択可能 ■速度：15mm/s ■最大荷重：30N ■リファレンスポイント・リミットスイッチ内蔵 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
100mmの小幅で長動作の高精度＆高速リニアモーターステージをリリース！
PI社はリニアモーター製品を拡充しています。 最大1200mm、耐荷重600Nの「V-855型」 高精度＆長作動＆小幅の1軸リニアモーターステージリリースしました。 XY軸構成も可能です。 【特徴】 ・長い移動距離（1200mmまで）で小幅形状（幅100mm） ・最大速度3 m/s ・高精度インクリメンタルまたはアブソリュートリニアエンコーダ ・最大600Nの耐荷重 ・容易にXY設置構成 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ！
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ
132mmの小幅で長動作の高精度＆高速リニアモーターステージをリリース！
PI社はリニアモーター製品を拡充しています。 最大1200mm、耐荷重1000Nの「V-857型」高精度＆長作動＆小幅の 1軸リニアモーターステージリリースしました。XY軸構成も可能です。 【特長】 ・最大1000Nの耐荷重 ・長い移動距離（1200mmまで）で小幅形状（幅132mm） ・最大速度５ m/s ・高精度インクリメンタルまたはアブソリュートリニアエンコーダ ・容易にXY設置構成 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
お客様のニーズに応える多種多様な機構・サイズ・ストロークをラインアップ。改造や特注にも対応致します。
半導体製造装置等様々な生産現場で活躍する神津精機の精密位置決めステージの中からＺステージを特集。 直立型Ｚステージや３タイプの水平面Ｚステージをご紹介。 それぞれにテーブルサイズと型式、他にもＺステージの選定に必要なストローク、全高、耐荷重を記載。また、実力値の例も記載しております。 カスタム事例も掲載しております。 選定の一助になる資料となっております。 Ｚステージの実力値も公開中。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コンパクトで高精度！筐体にアルミを使用し軽量化
『クロスローラガイド』は本体材質にアルミを用い、軽量・コンパクト・高精度 な自動ステージです。 V溝レールとクロスローラによる線接触の為、高い剛性が得られます。 作動すべりがほとんどなく、低摩擦で微小送りにも適しています。 「KXCシリーズ」はセンサがステージ筐体に埋め込まれている為、 テーブル面からのでっぱりが少なく左右勝手を気にせずご使用いただけます。 「KXシリーズ」は薄型筐体でありながらも高剛性があります。 最大耐荷重25kgまで対応しております。 【特長】 ■軽量 ■コンパクト ■高精度 ■水平面Zくさび方式 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
手のひらサイズのナノステージ。 この小ささ、この薄さでナノメートルオーダーの位置決めが可能です。
nano-UP シリーズは、高精度フィードバックスケールと ピエゾアクチュエータを搭載することで、きわめて高い制御 分解能と繰返し精度を実現した小型ナノステージ。 ステッピングモーター（粗動）とピエゾ（微動）の高速切替え により、ナノオーダーでのスムーズな位置決めを実現。 ラインアップは、1 軸ステージ、θステージ、傾斜ステージの 3 種類 4 モデルあり、ご使用の用途に応じて自由に組み合わせ頂けます。 カスタマイズ等のご相談も承りますので、お気軽にご相談ください。
