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最高1nm分解能をもち、応答性にも優れた超精密ステージです
最高1nm分解能をもち、応答性にも優れたTHKプレシジョンの『超精密位置決めピエゾステージ 総合カタログ』です。 豊富なラインナップで幅広い用途に最適な「ベーシックタイプ PS」 顕微鏡との組合わせや光透過型デバイスに最適な「開口付きタイプ PK」 対物レンズの焦点合わせに最適な「対物レンズタイプ PF」 アライメントや面合わせに最適な「チルト・回転タイプ PT」 超精密切削におけるナノ・マイクロ加工に最適な「精密加工タイプ PU」 変位センサを用いてクローズドループ制御で駆動する「コントローラ NC」 電圧を印加してオープンループ制御で駆動する「ドライバ PH」など、 多数掲載されています。 「PDFダウンロード」より無料進呈中です。
光学デバイスの微小角アライメントや精密面合わせなどに好適
■弾性ヒンジ機構による回転案内 独自設計の弾性ヒンジ機構により、ピエゾ素子のわずかな伸縮を変位拡大するとともに安定した回転動作を支持しています。 摩擦摩耗がないため滑らかで高速な動きに優れており、微小角の調整用途に適しています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
鉛直方向を軸とした回転タイプ（θz）のステージです。
ピエゾステージ PTチルト・回転タイプ 回転ステージは、微小な傾斜や 回転・アオリ角度の調整が可能です。 レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。 圧電素子を用いて、回転・傾斜などの角度変位を高速且つ精密に行えます。 弾性ヒンジ構造による高速な微小角変位を行うタイプです。 回転、傾斜はもちろん複数軸の同時制御により直線動作も可能です。 圧電素子の高い応答性と内蔵センサ信号のフィードバック制御により、 高速・高精度で微小角の位置合わせが可能となります。 構成要素がシンプルなので本体サイズも小さくでき、装置にも組み込みが容易です。 単純な傾斜型（チルト）や回転型、または仮想回転中心を持ったゴニオ型、さらには3点支持構造の平面アオリまで、様々な角度調整用をラインナップしています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
特に光学ミラーの”アオリ調整”に適した形状です。１軸アオリ（θx）と２軸アオリ（θx、θy）があります。
ピエゾステージ PT光学ミラー用タイプは、微小な傾斜や回転・アオリ角度の 調整が可能です。 レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。 圧電素子を用いて、回転・傾斜などの角度変位を高速且つ精密に行えます。 弾性ヒンジ構造による高速な微小角変位を行うタイプです。 回転、傾斜はもちろん複数軸の同時制御により直線動作も可能です。 圧電素子の高い応答性と内蔵センサ信号のフィードバック制御により、 高速・高精度で微小角の位置合わせが可能となります。 構成要素がシンプルなので本体サイズも小さくでき、装置にも組み込みが容易です。 単純な傾斜型（チルト）や回転型、または仮想回転中心を持ったゴニオ型、さらには3点支持構造の平面アオリまで、様々な角度調整用をラインナップしています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
テーブル面が傾斜するタイプのステージです。傾斜の向きが異なる２種類がございます。
ピエゾステージ PTチルト・回転タイプは、微小な傾斜や回転・アオリ角度の 調整が可能です。 レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。 圧電素子を用いて、回転・傾斜などの角度変位を高速且つ精密に行えます。 弾性ヒンジ構造による高速な微小角変位を行うタイプです。 回転、傾斜はもちろん複数軸の同時制御により直線動作も可能です。 圧電素子の高い応答性と内蔵センサ信号のフィードバック制御により、 高速・高精度で微小角の位置合わせが可能となります。 構成要素がシンプルなので本体サイズも小さくでき、装置にも組み込みが容易です。 単純な傾斜型（チルト）や回転型、または仮想回転中心を持ったゴニオ型、さらには3点支持構造の平面アオリまで、様々な角度調整用をラインナップしています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに好適
■コンパクトから大開口まで 小型デバイスに適したコンパクトな開口からタイプから、大きなパネル基板をアライメントできる大開ロタイプも揃えています。 ■スムーズで精確なスキャニング 高精度フィードバック制御により、指令信号に従った信頼性の高い動作が行えます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ
■2つの機構で性能分類 高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。 直接駆動機構 ・圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。 ・ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。 ・剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。 変位拡大機構 ・圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えています。 ・拡大率により、直接駆動の数倍～十数倍のストロークが得られます。 ・内蔵変位センサによるフィードバック制御で位置再現性も維持します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ピエゾステージの選定に！最高1nmの分解能と優れた応答性！応用例も掲載中
最高1nmの分解能をもった超高分解能・高速応答のピエゾステージです。 内蔵変位センサによるフィードバック制御で信頼性の高い位置決めを行うことが出来ます。 【使用例】 ■半導体･液晶検査装置、干渉計機器、分析装置、顕微鏡レンズフォーカス、超精密加工、レーザー関連機器、ナノメータポジショニングなど・・・ 【ここが選ばれる理由】 ■1品からのカスタム対応 ■真空・非磁性対応可 ■組み合わせユニット対応 豊富なラインナップ、応用例を多数掲載中！ 詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
