製造装置関連機器 精密石材によるXYステージ
天然石を使用したステージです。お客様からのご要望にて製作いたします。
平面度や各種振動が気になるなどの各種製造装置や検査装置に使いたかったXYステージ。 精密石材を使用した製品を製作することが可能となりました。 今までの精度では満足できなくなった方々や、精密石材を使うことが始めての方々でも親切に対応させていただきます。
- 企業：株式会社イーエスジェイ
- 価格：応相談
XYステージ(精密) - メーカー・企業と製品の一覧
更新日： 集計期間:2025年08月20日～2025年09月16日
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XYステージの製品一覧
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シグマテック株式会社 会社案内
正確性・安全性を考慮し、常に安定したサービスを提供いたします
シグマテック株式会社は、埼玉県飯能市にある、精密位置検出器の製造 および販売や精密位置決め機器の製造および販売等を行っている会社です。 光学式リニアスケールをステージ内部に内蔵し、独自のフィードバック 回路を搭載した「高分解能フィードバックステージシステム」をはじめ、 「真空対応フィードバックステージシステム」などを取り扱っております。 【事業内容】 ■精密位置検出器の製造および販売 ■精密位置測定器の製造および販売 ■精密位置決め機器の製造および販売 ■前略号に付随する一切の業務 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
精密2軸卓上装置
精密2軸卓上装置
●簡単操作で自動で実現したセル生産向け及び精密検査向け卓上2軸システム装置です。 ●特殊表面処理バックラッシュレス機構の送りネジを採用し低騒音、高精度及びローコストを実現しました。 ●装置自身にコントローラを内臓し、ＡＣ100Ｖでパソコンからのプログラム指示により装置も簡単です。 ●ティーチング機能が標準装備なのでパソコンでプログラムを作成してアップロードして自動運転が出来ます。 ●駆動軸は2軸ですが内蔵されているコントローラは4軸ですので簡単に自動ステージを2軸追加し駆動することも可能です。 ●3軸直線補間（ステージを1軸追加した場合）、2軸円弧補間、連続補間移動も可能です。 ●現在モータはステッピングモータを使用していますが、エンコーダ入出力信号を監視出来るのでサーボモータに変更することも可能です。 ●ストローク変更、Ｚアタッチメント、駆動部品変更など特注仕様も容易に対応可能です
- 企業：ワイヤード株式会社
- 価格：応相談
1nmフィードバックステージ FS-1040UPX / XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりました！
光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 40mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。 フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
1nmフィードバックステージ FS-1050UPX / XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりました！
光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 50mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。 フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
精密XYステージ
半導体用小型ステージから、液晶用大型ステージまで幅広い製作実績を誇ります！
当社では、数ミクロン単位の位置決めが必要な精密機器の製造工程において 必要不可欠な『精密XYステージ』を取り扱っております。 様々なご要望に応じたカスタムステージを製作。 また液晶製造装置用としては、第10世代対応ステージも 製作実績があります。ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【ラインアップ】 ■サーフェイス型エアスライダステージ ■ガントリ駆動型エアスライダステージ ■直交型リニアガイドステージ ■ガントリ固定型エアスライダステージ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
- 企業：株式会社モーショントラスト
- 価格：応相談
NM_真空対応】特注で作る精密位置決めステージシステム
超音波モータ標準ステージだけではあと一歩実現できない装置向けに、カスタムメイドでステージを設計・製作★宇宙での実績あり
開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。 Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でステージを保持できます。 また高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。半導体の7nmプロセス開発用に製作。 ■低軌道衛星向けレーザ通信用多軸プラットフォーム アクチュエータによる人工衛星の絶えない振動を超音波モータのステージでキャンセルし地球とのレーザ通信を可能としています。 ■ウェハ検査用レンズ駆動モジュール 小型のEDGEモータを使用したオートフォーカス・モジュール。 ※その他は下部の「実績例」をご参照ください。 その他、医療機器、分光装置、光学アライメント、分析機器など幅広く使用できるNanomotion社の超音波モータ。試作・開発のお手伝いをいたします。
- 企業：株式会社工苑
- 価格：応相談
NM_【真空にも対応】精密位置決めステージシステム
高精度位置決め、高速移動と微動をひとつで実現するNanomotionの超音波モータ。装置に合わせカスタムメイドにも対応します。
開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。 Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブ。 大気中だけでなく高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。 ■ライトシート顕微鏡用ステージ 正確で10nmの精度を実現し、優れた速度均一性を備えています。 XYZとTip-Toltの5軸。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。半導体の7nmプロセス開発用に製作。 ■低軌道衛星向けレーザ通信用多軸プラットフォーム アクチュエータによる人工衛星の絶えない振動を超音波モータのステージでキャンセルし地球とのレーザ通信を可能としています。 ※その他は下部の「実績例」をご参照ください。 その他、医療機器、分光装置、光学アライメント、分析機器など幅広く使用できるNanomotion社の超音波モータ。試作・開発のお手伝いをいたします。
- 企業：株式会社工苑
- 価格：応相談
THK ボールガイド VB形
精密鋼球を専用レールに組合せた低摩擦で高精度な有限タイプの直動システム！
ボールガイド VB形は、精密鋼球を短いピッチ間隔で保持したボールケージB形を、専用レールV形に設けられた90°V溝転動面に組合せて使用します。低摩擦で高精度な有限タイプの直動システムです。 詳しくはお問い合わせください。
- 企業：トークシステム株式会社
- 価格：応相談
精密ミリオンガイド Z軸ステージ用 GNZF／GNZC：アイセル
精密かつ高剛性の「ミリオンガイド 」を採用したZ軸ステージ・FA用ガイドです。
フランジタイプで昇降ステージに最適なZ軸ガイドです。 ニードルローラを使用したミリオンガイドの採用により、突入時の衝突・摩擦・振動を軽減し高精度な直進性を実現しています。
- 企業：高津伝動精機株式会社
- 価格：応相談
大型ガントリータイプXYステージ
ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポーネンツから最適なものを選択して、ステージを組み上げます。
リニアモーター駆動でリニアガイド採用。 0除震台を上方に挿入し、低重心化を実現、転がり案内方式採用により、 高速位置決め静停時間をミニマイズ。 露光機用、FPD用大型マスク加工、薄膜加工に最適なステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社ファインディバイス
- 価格：応相談
カスタム手動XXYZステージRXY-300
材料研究・開発・評価など貴社の機器システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品！
カスタム手動XXYZステージRXY-300はリニアガイド、精密ボールねじを採用した精密手動XYステージです。 レイアウトに合わせたステージを製作いたします。 X 軸（粗動）、X軸（微動）、Y軸（微動）ストロークカスタムにも対応いたします。また治具、機器類取り付け用孔もカスタム対応可能です。 2軸構成で、最薄100mmです。各軸ともにロック機構を採用しております。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社MSAファクトリー
- 価格：応相談
1nmフィードバックステージ FS-1020UPX / XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりました！
光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能で位置決めが可能です。 ストロークは『 20mm 』と長く、搬送と精密位置決めが1台でできます。 ナノメートルオーダーの波長を扱うような研究分野で利用されています。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
カスタム手動XYステージ 「SXY300」
レイアウトに合わせたステージを製作いたします。
「SXY300」は、リニアブッシュ、台形ボールねじを採用した精密手動XYステージで、廉価にて、ステージの構成が可能です。 材料研究、開発、評価、検査工程など貴社の機器システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品。 【仕様カスタマイズ】 ○X,Yストローク 200mm ○プレートサイズ □300mm ○耐荷重 10kgf 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社MSAファクトリー
- 価格：応相談
NM_モータHRシリーズ搭載、標準ステージ
超音波モータHRシリーズ搭載、標準ステージ 単軸、多軸のモーションステージをご提供
Nanomotion社の標準ステージは、半導体、バイオメディカル、および計測機器市場での幅広いアプリケーション向けに、単軸および多軸モーション性能を提供します。
- 企業：株式会社工苑
- 価格：応相談
