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高負荷ピエゾスタックアクチュエータ、開口部あり。センター開口部の利点と、スタックアクチュエータの強度および発生力を兼ね備え
PICA(TM) Thruアクチュエータは、ピエゾ空洞積層型アクチュエータです。 センター開口部の利点と、スタックアクチュエータの強度および発生力を兼ね備えています。 【特徴】 ○透過光アプリケーションまたは機械的与圧に適したセンター開口部 ○10-9サイクルを超えても高信頼性を維持 ○最大断面直径：56mm ○多様な形状を用意 ○サブミリセカンドの応答性、サブナノメートルの分解能 ○真空および非磁性対応バージョンを用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
平坦度5 nm・分解0.3 nm、共振周波数500 Hzで高速＆高精度動作を実現
P-734はパラレルキネマティクス構造によるXY軸ナノポジショニングステージです。 高精度フレクシャーガイドと静電容量式センサにより、0.3 nmシステム分解能と0.03 %リニアリティを実現。 動作量は100 µm×100 µmで、耐荷重は20N。 56 mm×56 mmの大開口により、光学顕微鏡などにも最適。 半導体マスク位置決め、走査型顕微鏡、表面粗さ計測など“平面度×高速”が求められる装置に最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
44 mm角の面積で、120 µm動作量、0.2 nm分解能をもつXY軸・XZ軸ステージ
P-611 シリーズはサイズが44mmの小型ナノポジショナステージです。 ・XY、XZ軸 各 120 µmの動作量 ・Openloop分解能：0.2nm ・ひずみゲージフィードバックセンサーも対応（分解能2nm） ・耐荷重15N ・Z軸のみ（P-611.Zx）、XYZ軸（P-611.3x）のモデルも用意 用途：干渉計測、顕微鏡、ナノポジショニング、バイオテクノロジー、マニピュレータ、フォトニクス、ファイバーポジショニング、半導体技術。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
ナノレベル動作量はZ軸100µmと200µm チップチルト軸1mradと2mradのタイプ 66mm開口で透過光にも最適
P-5x8シリーズは、チップチルト付きピエゾナノステージ P-518.TCD とロングストローク版 P-528.TCD/ZCD を同一プラットフォームで展開します。 高信頼性PICMAピエゾセラミックス、フレクシャーガイド、パラレルキネマティクスと静電容量式センサで システム分解能 0.8 nm、リニアリティエラ― 0.03 %を実現。 66 × 66 mm の大開口が干渉計測や透過光アプリに適し、耐荷重50Nをもち、半導体検査・フォトニクス、顕微鏡、高精度アライメントに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
0.1 nm分解能×0.02 %直線性。50-250 µmを摩擦ゼロで高速サーボ制御
PIHera P-620.Z／P-621.Z／P-622.Zは、垂直ストローク50・100・250 µmを0.1 nm分解能で駆動するZ軸ピエゾステージです。 静電容量センサが移動プラットフォームを直接計測し、リニア誤差を0.02 %に抑制。 ゼロバックラッシのフレクシャガイドは潤滑不要・発塵レスで、1 kHz級共振周波数とサブミリ秒応答を実現します。 アクチュエータはオールセラミック絶縁PICMA(R)で1000億サイクルの長寿命を実証済み。 干渉計、共焦点顕微鏡、半導体検査などサブナノ安定性と高速性を同時に求める装置のZ制御に最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
摩擦を抑えながら信頼性の高い動作を実現！マイクロ製造、医療技術、工具制御に使用可能！
ピーアイ・ジャパン株式会社では、6軸ステージを多数取り扱っています。 高速・高精度の小型ヘキサポッドの「H-811.I2」をはじめ、 高速動作・中程度耐荷重が特長のパラレルキネマティック・ヘキサポッド「H-840」、 高精度ファイバーアライメントシステム「F-712」などをラインアップ。 研究および工業用途、マイクロ製造、医療技術、工具制御に応用されています。 【特長】 〈小型ヘキサポッド「H-811.I2」〉 ■トラベルレンジ：±17mm/±21° ■負荷容量：5kg ■再現性：±0.06μm ■最大速度：20mm/s ■きわめて長寿命 ■真空対応バージョンあり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
100μm のストロークをサブナノメートルの分解能と⾼いリニアリティで位置決め可能！
顕微鏡対物レンズ⽤の⾼速ピエゾ駆動ナノフォーカスデバイス。 100μm のストロークをサブナノメートルの分解能と⾼いリニアリティで位置決め可能です。 【ポイント】 ・対物レンズをサブナノメートルの分解能でスキャンおよび位置決め ・ストローク～100μm、ミリセカンドレベルのセットリング時間 ・モーター駆動のZステージをはるかにしのぐ高速応答と長寿命 ・パラレル制御の高精度フレクシャガイドによる優れたフォーカス安定性 ・位置センサーの選択：静電容量によるダイレクト計測（高性能）または歪みゲージ（低コスト） ・Metamorph(TM)画像ソフトに対応 ・PICMA（TM）ピエゾアクチュエータによる長寿命を実現 ・クイックロックアダプターによる操作性の向上 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適なエアベアリングステージ
『PIglide 直動エアベアリングシリーズ』は、磁気的にプリロードされた空気ベアリング および内蔵光学リニアエンコーダーによるリニアサーボモーター駆動です。 これらの非接触部品を組み合わせることにより、最高のパフォーマンス、品質、 製品寿命を持つ無摩擦モーションプラットフォームが実現しました。 エアベアリングステージシリーズには、「XY軸小型エアベアリングステージ」、 「XY軸大型エアベアリングステージ」、「エアベアリングロータリーステージ」などもございます。 【特長】 ■非接触完全プリロード空気ベアリング ■スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適 ■クリーンルームに対応 ■カスタマイズ可能 ■内蔵光学リニアエンコーダー 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
工業、研究分野の精密ポジショニングに！高デューティサイクルのZステージ
『L-310』は、ボールネジとクロスローラーガイドにより、 高いガイド精度と剛性を実現する製品です。 高い安定性を可能にする応力緩和アルミニウムベースを使用。 また、真空対応バージョン可能非接触リミットスイッチと基準点スイッチを備え、 基準点スイッチには、トラベルレンジの中央に方位センシングが搭載されています。 【特長】 ■高いガイド精度と剛性を実現 ■応力緩和アルミニウムベース使用 ■スムーズな動作と低摩擦で長寿命を実現 ■インクリメンタルエンコーダーによる高精度の位置測定 ■小インクリメンタルモーションと低速モーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
各40mmサイズで、XYZ軸100µm動作のコンパクトXYZピエゾステージ
P-616 は、パラレルキネマティクスを採用した XYZ ピエゾナノポジショナです。 高信頼性PICMAピエゾセラミックス、フレクシャーガイド、静電容量センサを各軸に内蔵した、再現性10nm、0.4 nm システム再現性を提供します。 ファイバーの位置決めとアライメント、顕微鏡、ナノ位置決め、フォトニクス、マイクロマニピュレーションなどに最適。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。 【特長】 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
±5 mrad×3 ms収束、10 kHz共振――0.1 µrad分解能の高速ビームステア
0.7kHz (1インチミラー時)の共振周波数により、ダイナミックな動きと高速なステップ&セトリングを実現。 パラレルキネマティック設計:1つの共通のピボットポイントで、2軸直交プラットフォーム ミラーなし、1/2インチミラー、1インチミラータイプ。 画像安定化、レーザービーム制御、光学通信など高速・高精度偏向が求められるアプリケーションに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
サイズ50x50x19mm、無限の回転量、最大速度720°/s、電源オフ時はセルフロックで位置保持
U-628はPILINE超音波ピエゾモータを採用した50x50 mm×高さ19 mm、耐荷重 5Nの小型回転ステージです。 内蔵インクリメンタル角度センサーでセンサー分解能17μrad、最小動作量51μrad、双方向再現性 ±102μradを実現。 電源OFF時には、0.03 N・mのセルフロック保持力で位置を保持。 アプリケーション例は、マイクロマニピュレーション、オートメーション、バイオテクノロジー、サンプル操作、サンプルポジショニング、限られたスペースでの動作。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
サイズ42x42x21mm、22 mm動作量、最大速度200 mm/s、電源オフ時はセルフロックで位置保持
U-723はPILINE超音波ピエゾモータを採用した42x42 mm×高さ21 mmのXY軸小型リニアステージです。 小型ながら、22 mmXY軸の動作量、最大速度200mm/s。 内蔵インクリメンタルリニアエンコーダーでセンサー分解能10nm、最小動作量0.1µm、双方向再現性 ±0.2µmを実現。 電源OFF時には、2Nのセルフロック保持力で位置を保持。 アプリケーション例は、マイクロマニピュレーション、オートメーション、バイオテクノロジー、サンプル操作、サンプルポジショニング、限られたスペースでの動作。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
動作量は102×102 mmで、リニアモータとリニアエンコーダで、最小動作0.02µm、最大速度500 mm/sを実現
PI Magリニアモータ駆動のV-738は、光学式インクリメンタルエンコーダによりシステム分解能1 nm XY方向それぞれ102 mmのストロークで、最大速度500 mm/s コアレスのため速度リップルが小さく、低速域でも滑らかな動作 150 mm四方の開口により、レーザ光学ヘッドや検査カメラを内部に配置でき、装置の省スペース化に貢献 動作直交度：±97 µrad、真直度±2 µmの動作精度と、100 Nの耐荷重 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最大トラベルレンジは813mm！循環式ボールベアリング採用により450Nまで耐可
『L/V-412,L/V-417』は、エンコーダの高解像度により、 性能ごとのトラッキングが向上するPIMag 高耐荷重リニアステージです。 トラッキングエラーが少なくなり、整定時間が短縮。 最大限の柔軟性のために、インクリメンタルエンコーダと アブソリュートエンコーダを選択することができます。 【特長】 ■最大トラベルレンジ：813mm ■定格フォース：87N ■インクリメンタル/アブソリュートエンコーダ選択可能 ■循環式ボールベアリング採用により450Nまで耐可 ■カバーストラップ採用により、パーティクルを防塵可 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
