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高精度ナノポジショニングステージ、3～6軸
PIMars(TM) オープンフレームピエゾステージは、高速かつ高精度の多軸スキャニング／ナノポジショニングシステムで、ナノメートルの平坦度と直進度を誇ります。 【特徴】 ○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ○動作軸：XYZ軸 〇ストローク：100µm、200µm、300µmタイプ ○静電容量センサーによる高いリニアリティ ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○比類のないスキャニング平坦度 ○高ダイナミックなXYZバージョンを用意、最大6軸のカスタムタイプが可能 ○センター開口部66 x 66mm ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
100μm のストロークをサブナノメートルの分解能と⾼いリニアリティで位置決め可能！
顕微鏡対物レンズ⽤の⾼速ピエゾ駆動ナノフォーカスデバイス。 100μm のストロークをサブナノメートルの分解能と⾼いリニアリティで位置決め可能です。 【ポイント】 ・対物レンズをサブナノメートルの分解能でスキャンおよび位置決め ・ストローク～100μm、ミリセカンドレベルのセットリング時間 ・モーター駆動のZステージをはるかにしのぐ高速応答と長寿命 ・パラレル制御の高精度フレクシャガイドによる優れたフォーカス安定性 ・位置センサーの選択：静電容量によるダイレクト計測（高性能）または歪みゲージ（低コスト） ・Metamorph(TM)画像ソフトに対応 ・PICMA（TM）ピエゾアクチュエータによる長寿命を実現 ・クイックロックアダプターによる操作性の向上 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
パラレルメカニズムのため3軸とも同一性のあるダイナミック特性！
『P-611.3/P-616』は、すぐれた分解能と高速応答ができる NanoCubeU(R)XYZ軸ピエゾステージです。 コスト効率の高いメカニクス／エレクトロニクスシステム構造。 歪みゲージセンサー付きの「P-611.3S」をはじめ、 「P-611.3SF」や「P-616.3C」などをラインアップしています。 【特長】 ■最大100×100×100μmのトラベルレンジ ■きわめてコンパクトで軽量 ■すぐれた分解能と高速応答 ■高速3軸スキャニング ■摩擦がなく高精度なフレクシャガイドシステム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
対物レンズ 精密位置決めステージ 充実した機能・高性能なPI社の対物レンズピエゾステージ
30年以上前から提供していますPI社対物ピエゾステージは、 世界中のお客様にご使用されています。 今回、装置構造を見直し、以前より高剛性で、ロングレンジ駆動を可能にしました。 また扱いやすさも向上させた作りになっております。 【特長】 ・ストローク：100µm、400µm、800µm ・静電容量センサー内蔵 ・高剛性によりハイダイナミクス動作にも最適 ・ケーブルの柔軟性 ・幅広い設置方法 ※新デジタルコントローラとの併用でより高精度に！ ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
