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P-611.XZ・P-611.2

最終更新日:2026年03月16日

ピーアイ・ジャパン株式会社
ピーアイ・ジャパン株式会社
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44 mm角の面積で、120 µm動作量、0.2 nm分解能をもつXY軸・XZ軸ステージ

P-611 シリーズはサイズが44mmの小型ナノポジショナステージです。 ・XY、XZ軸 各 120 µmの動作量 ・Openloop分解能:0.2nm ・ひずみゲージフィードバックセンサーも対応(分解能2nm) ・耐荷重15N ・Z軸のみ(P-611.Zx)、XYZ軸(P-611.3x)のモデルも用意 用途:干渉計測、顕微鏡、ナノポジショニング、バイオテクノロジー、マニピュレータ、フォトニクス、ファイバーポジショニング、半導体技術。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

    圧電デバイスエンコーダーアクチュエーター
P-611.XZS.jpg

ナノポジショニング向け小型2軸ピエゾ フォトニクスや半導体に

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P-611.XZS.jpg P-611_KUZ.jpg P-611_KUZ_02.jpg
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基本情報

【特徴】 ・コンパクト設計:設置面積44 x 44mm ・ストローク~120 x 120μm ・分解能~0.2nm ・低コストの機構/電子システム構成 ・摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ・PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ・X、ZおよびXYZバージョンを用意 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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用途/実績例

・干渉計 ・顕微鏡検査 ・ナノポジショニング ・バイオテクノロジー ・検査と品質保証 ・フォトニクス ・ファイバー調整 ・半導体テクノロジー

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Physik Instrumente(PI)は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。

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