【新製品】B-421 BIX 小型ピエゾ駆動リニアステージ
最大33mmの移動量!超小型で高精度ピエゾ駆動リニアステージ
「B-421 BIX」は、筐体幅25mmで厚さ11mmと小型で、最大33mmの移動量を実現。 ピエゾ慣性ドライブにより、比較的高い保持力、高い分解能と位置再現性を発揮します。多軸に組合せも容易に可能で、装置設計におけるスペース制限を解決しつつ、ナノメートルスケールの動作を可能にします。
- 企業:ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格:応相談
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最大33mmの移動量!超小型で高精度ピエゾ駆動リニアステージ
「B-421 BIX」は、筐体幅25mmで厚さ11mmと小型で、最大33mmの移動量を実現。 ピエゾ慣性ドライブにより、比較的高い保持力、高い分解能と位置再現性を発揮します。多軸に組合せも容易に可能で、装置設計におけるスペース制限を解決しつつ、ナノメートルスケールの動作を可能にします。
摩擦ゼロの回転精度。平面度200nm以下で光学検査に最適
PIglide A-62xシリーズは、光学アライメントや精密検査用途に求められる高精度・高安定性を追求したエアベアリング回転ステージです。 摩擦のない非接触回転により、ウォブルや偏心を極限まで抑制。平面度・偏心率は200nm以下と、ナノメートル単位の制御を実現します。 トルクモーターとオプションの絶対値エンコーダにより、位置決めも迅速かつ安全。クリーンルーム対応、水平・垂直どちらの設置にも対応し、実験環境に応じた柔軟なシステム構築が可能です。
宇宙・無重量環境シミュレーションに最適な非接触構造
A-65xは、最大直径300mm・最大荷重635kgに対応した半球状エアベアリングモジュールで、θX・θY・θZの3軸にわたる高自由度な回転運動を提供します。 摩擦ゼロ・潤滑不要の設計で、高い剛性と再現性を両立。 ±45°のチップ/チルト範囲により、姿勢制御や傾斜試験、人工無重量環境のシミュレーションに最適です。クリーンルーム対応で、研究用途から衛星構造試験まで幅広く活用可能です。
5nm分解能・200mm/sで高速・滑らかなサブミクロン動作を実現
A-142は、10mmの移動範囲で最大200mm/sの速度と10m/s²の加速度を実現する、ボイスコイルモータ駆動の小型リニアステージです。 5nmのセンサ分解能、±0.2µmの位置精度、最小50nmのインクリメンタル動作が可能。 摩耗ゼロのエアベアリング構造により、潤滑剤不要・クリーンルーム対応で、半導体検査や光学調整、計測アプリケーションに最適です。
最大4軸対応、データ記録・波形生成機能も標準搭載
E-727は最大4チャンネル対応のデジタル制御ユニットで、標準仕様に加え高出力電流モデル(最大1500mA)もラインナップ。 アナログ入力/出力端子に加え、デジタルI/O、センサーモニター出力、波形ジェネレーター機能などを搭載し、先進的なピエゾモーションアプリケーションに完全対応。 センサーバンド幅10kHz、サンプリングレート100kHzでの信号処理が可能で、動的計測や同期制御にも優れた性能を発揮します。
最大800Nの保持力と5nm分解能、ナノ位置決めに革新を
N-216は、最大800Nの保持力と0.03nm(オープンループ)/5nm(クローズドループ)の分解能を備えたピエゾステッピングアクチュエータです。 独自のPiezoWalk(R)技術により、フルステップモードとナノステッピングモードを切り替えながら、高速かつナノ精度の位置決めが可能。 非磁性・クリーン・真空環境に対応し、半導体製造、ウェハ検査、ナノリソグラフィなど、微細制御を要求されるアプリケーションに最適です。
±0.2µmの再現性、アブソリュートエンコーダ標準搭載の重荷重対応モデル
H-850は最大250kgの耐荷重を誇る高剛性ヘキサポッドで、±50mm(XY)/±25mm(Z)、および±30°の広範囲な動作が可能です。 再現性はZ軸±0.2µm、回転軸±7.5µradと高精度。ブラシレスDCギアモータによる滑らかな動作と、アブソリュートエンコーダの即時位置取得により、高速かつ安定した制御が可能です。 構造はパラレルキネマティック方式で、ロボティクス、重量物アライメント、試験設備などに最適です。
安定した製造プロセスを実現する産業用 6軸位置決めシステム
24時間・365日稼働を前提に設計された、堅牢かつ高精度な産業用途向けのヘキサポッド。 コンパクトな設計でありながら高い耐久性を備え、厳しい環境下でも信頼性の高い位置決めを実現します。
研究室・科学機器向け位置決めソリューションをサポートする製品ラインナップをご紹介
研究では、限られた条件下でも高い再現性と信頼性が求められます。 PIは50年以上にわたり、ナノレベルの高精度と長期安定性を両立した位置決めソリューションを提供。既存の研究設備にもスムーズに統合でき、LabVIEWやMATLAB、Pythonなど主要ソフトウェアとの互換性も備えています。 顕微鏡検査、フォトニクス、量子研究など、厳しい環境下でも精密で安定した動作を実現。短期プロジェクトや緊急対応にも柔軟に対応可能です。 精密研究を支えるPIの最新技術を、ぜひ詳細ページでご覧ください。
お客様の声を元に、ヘキサポッドの駆動精度をより高めました!XY軸は40 nm、Z軸は20 nmのステップ動作を可能に
20年以上も前からヘキサポッドステージをご提供していますが、 お客様の声を元に、駆動精度を高めたヘキサポッドをリリースしました! XY軸は40 nm、Z軸は20 nmのステップ動作を可能にします。 生産および測定技術における位置合わせおよび位置決めアプリケーションの最高の要求を満たすことが可能です。 <仕様> ・駆動軸 6軸 ・トラベルレンジ XY=±50mm、Z=±25mm、θxθy=±15度、θz=±30度 ・最小移動量:XY=40nm、Z=20nm、θxθy=0.2µrad、θz=0.4µrad ・最大速度:2.5mm/秒、30mrad/秒 ・耐荷重:40Kg(水平時) ・任意回転中心設定 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
PI社:ヘキサポッド位置決めシステムのグローバルカンパニー・高精度ヘキサポッド位置決めステージ一覧
PI社のヘキサポッド6軸ステージは、40年以上前から、ピエゾステージ同様に独自開発・自主生産をしており、ピエゾ位置決め製品と同様にヘキサポッドでもマーケットリーダーです。 <ヘキサポッドの特徴> ・回転中心を任意位置に簡単設定 ・パラレル駆動で累積誤差がない ・コンパクトで高剛性で高安定性 ・設置向きが任意でも可能 など ※製品につきましてはカタログや弊社HPをご参考にしてください。 ヘキサポッドの動画もございます。
最大30kgの耐荷重と±0.1µm再現性を両立した高精度6軸制御
H-840は、スチュワートプラットフォーム構造を採用した高精度ヘキサポッドで、6本のアクチュエータにより並列駆動されます。 Z軸±25mm、X/Y方向±50mm、回転±30°と柔軟な動作を実現し、光学アライメントやマイクロマニピュレーションなどの高度な位置制御が可能。 最大30kgまでの荷重に対応し、±0.1µmの位置再現性と高い制御精度を兼ね備えています。