5nm分解能・200mm/sで高速・滑らかなサブミクロン動作を実現
A-142は、10mmの移動範囲で最大200mm/sの速度と10m/s²の加速度を実現する、ボイスコイルモータ駆動の小型リニアステージです。 5nmのセンサ分解能、±0.2µmの位置精度、最小50nmのインクリメンタル動作が可能。 摩耗ゼロのエアベアリング構造により、潤滑剤不要・クリーンルーム対応で、半導体検査や光学調整、計測アプリケーションに最適です。
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基本情報
・速度 最大200 mm/s ・加速度 最大10 m/s2 ・センサー分解能：5 nm ・薄型 27 mm ・超コンパクトなモーションプラットフォーム：75 mm × 80 mm ・トラベルレンジ10 mm ・耐荷重 3 kg ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
・半導体検査装置での微細位置決め・スキャン制御 ・光学素子やファイバーの高精度アライメント ・フォトニクス分野における微小部品の高速整列 ・クリーンルーム内での非接触ナノポジショニング ・精密計測装置での滑らかな直線移動制御 ・垂直Z軸ステージやXYステージのモジュール構成 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。