ピエゾWalk駆動による、ストローク25mm以上のリニアステージ
・トラベルレンジ：25mmと50mmタイプ ・75 N のアクティブフォース ・3 nm ミニマムインクリメンタルモーション ・電源オフ時のセルフロッキング ・多軸セットアップ対応：XY、XZ、XYZ ・真空対応
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基本情報
＜PICMAWalkドライブによるナノメーター精度と高い送り力＞ 複数のピエゾアクチュエータがランナーの送りに繋がる歩行運動を行います。アクチュエータの制御により、ナノメーター分解能で最小のステップと移動送りを可能にします。他のピエゾモーター駆動方式とは対照的に、PICMAWalkウォーキングドライブは滑り摩擦の影響を受けません。これは、ランナーに沿ってステップする複数のピエゾアクチュエーターのスティクション接触に基づいています。静止時には、PICMAWalkウォーキングドライブはセルフロックされ、エネルギーを消費せず、熱も発生しません。
価格帯
納期
用途／実績例
アプリケーション分野 ・ライフサイエンスおよび半導体製造における走査型電子顕微鏡（SEM）および透過型電子顕微鏡（TEM） ・超解像度顕微鏡、特に4Pi顕微鏡 ・ナノインデンテーション
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企業情報
ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。