センサのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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センサ(振動測定) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

更新日: 集計期間:2026年06月10日~2026年07月07日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

センサの製品一覧

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常時監視の状態監視未導入工場の7割以上が予期せぬ設備故障を経験

常時監視が可能な状態監視技術を導入していない工場の7割以上が、過去1年間に予期せぬ設備故障を経験している!

PR TIMES https://x.gd/8gZuZ 中山水熱工業は、工場設備の保全担当者を対象に「工場設備保全における状態監視技術の導入実態と効果に関する調査」を実施しました。 <調査サマリー> ・常時監視が可能な状態監視技術の導入率は6割程度 ・状態監視を導入していない工場の7割以上が過去1年間に予期せぬ設備故障の発生を経験 ・状態監視技術のメリットのトップは、1位:早期異常発見、2位:部品交換時期の最適化、3位:保全計画の効率化、担当者の業務負担軽減 ・状態監視導入工場の設備保全担当者の85%以上が予期せぬ設備故障を防ぐうえで常時監視は重要だと考えている ・状態監視を導入していない工場の設備保全担当者の多くが、未導入の理由として挙げられるのは「導入費用・維持費が高い」こと 調査結果から状態監視技術導入のハードルは導入費や維持費といったコストであることが判明しました。 振動センサーのコナンエアーは、コスト面で強いメリットがあります。また簡単にタブレットやスマートフォンとブラウザ上で接続でき、付属のアプリで全自動計測による常時監視ができることが特徴です。

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  • 振動監視
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【新技術・新製品賞 優良賞】特許技術の無線振動センサー

国内最大規模の厳格な審査で選ばれた「優良賞」受賞技術。特許技術で高精度な軸受診断を低価格で実現します。

安価な振動計では異常検知ができず、高価な精密診断機は全台に導入できないとお困りではありませんか? コナンエアー(通常タイプ)はTPM優秀商品賞、またコナンエアー防爆タイプ(第一類危険箇所用)は第36回「中小企業優秀新技術・新製品賞」において一般部門『優良賞』を受賞した画期的な状態監視IoTセンサーです。特許技術「アンダーサンプリング」により、低サンプリングレートでありながら高周波の異常をエイリアシングとして捉える「逆転の発想」が国内最大規模の厳格な審査で高く評価されました。 石油化学工場等の第1類危険箇所(ゾーン1)で使える防爆タイプもラインナップ。過酷な製造現場の制約をクリアし、配線工事不要のポン付けで高度な予知保全システムを即座に構築します。 【公式サイトで特許技術の詳細や技術的根拠を公開中】 https://conanair.com/japan/ ■月額クラウド費用0円(完全無料・サブスクなし) ■ブラックボックス化しない生波形データ(CSV)出力・Python連携 無料で30日間実機をお試しいただけます。自社設備で異常波形が見えるか、お気軽にお問い合わせください。

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  • その他電子部品
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小型・高精度・高耐圧 圧力センサ「3100/3200シリーズ」

高い信頼性と優れた温度特性により、組込み用途に最適な圧力センサ

3100/3200 シリーズは信頼性を要求される装置組込みに最適化された圧力センサです。 スパッタリング技術により形成された薄膜歪ゲージを採用し高感度と長期安定性を両立、ステンレス製ダイアフラムは様々な媒体に対して堅牢・高耐蝕性を確保します。 さらに新開発のASICで部品点数を極限まで削減し、−40〜105℃という広い使用温度範囲とコストパフォーマンスを実現、まさに究極の圧力センサが誕生しました。 【特徴】 ○温度出力機能搭載 ○多彩なバリエーションでOEMに対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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機械加工負荷を熱流センサでリアルタイム監視!予兆保全で生産性向上

加工点の摩擦熱をリアルタイム監視!温度より早く加工完了を検知。設備予兆保全に新たな手段を!

熱流(プロセス)は温度(結果)の先行指標。 機械加工するときに、加工点で発生する摩擦熱エネルギーの流れを測ることで 設備や刃具の状態監視や異常検知の早期化(予兆保全)ができます。 < 熱流センサ「Energy flow」の活用事例 > ▼事例概要: トルクコンバータを機械加工する際の 摩擦熱による熱流と温度を計測 ▼背景: これまで加工状態の監視は、温度センサや振動センサが用いられてきました。 しかし、加工完了タイミングや異常発生の正確なリアルタイム検知に限界があります。 予期せぬ刃具破損による設備のドカ停を予防するため 実績、経験、加工数を目安として、早めに保全することが一般的です。 ▼評価結果 熱流センサと熱電対を刃具近接に設置して 加工時の摩擦熱がアームへ伝わる熱流の波形を測定しました。 熱流センサでは熱電対よりも早く「加工完了」を検知できることが確認されました。 加工状態をリアルタイムで監視する手段として 高感度な熱流センサの活用は有効であることを基礎実証できました。 ※詳しくはPDF資料をダウンロードいただくか、お問い合わせください。

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中小製造業の5割弱が、設備保全・点検部門で人手不足を感じている!

中小製造業の5割弱が設備保全・点検部門で人手不足を感じている!中小製造業での設備保全・点検業務の人手不足とDX化に関する実態調査

PR TIMES https://x.gd/djnPz 中山水熱工業が、中小製造業経営者を対象に「設備保全・点検業務の人手不足とDX化」に関する実態調査を実施しました。 <調査サマリー> ・中小製造業の5割弱が設備保全・点検部門で人手不足を感じている ・中小製造業での設備保全・点検部門の人手不足の理由は、採用数が不足しているためや業務が属人化しており教育が難しいため ・設備保全・点検部門の人手不足を感じる中小製造業の6割以上が、設備保全・点検業務のDX化に取り組んでいない ・設備保全・点検部門のDX化の取り組みトップ3は、1位:遠隔モニタリング体制の構築、2位:保全管理システムの導入と振動や温度のセンサーによる状態監視 中山水熱工業が提供するデジタルツイン構築サービスは、コナンエアーの信号をブラウザ上で一括管理できる特性と、設備を仮想空間上に再現するINTEGNANCE VRとの構成で保全管理の標準化・省人化をサポート、ITやデジタルに詳しくない現場担当者でも簡単に導入・利用が可能です。 ・無料で30日間コナンエアーをお試し頂けます。お気軽にお問い合わせ下さい。

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2軸傾斜角度センサーアナログ/デジタル M193AT-S5P

アナログ/デジタル同時出力2軸MEMS傾斜センサを搭載した傾斜計

アルミケースに格納、防水・耐衝撃振動・電磁抑止防護構造 メーカー独自開発、耐久高精度センサ 静電容量方式 サーミスタ共有制御・温度補正 幅広い温度環境に耐える

  • ステンレス容器
  • センサ

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熱中対策ウォッチカナリア 導入インタビュー【三浦工業株式会社様】

「安全と健康」を土台に運用体制から改善 三浦工業における「カナリア」の活用事例

年々気温が上昇する中、現場の状況を真摯に受け止め、カナリアの導入に踏み切った三浦工業。その根底には、社員の命を最優先に働きやすい職場を実現したいという経営陣の強い想いがありました。 「人」ありきで事業を考えられる会社だからこそ、改善のためのアクションをしっかり実行できるのだと思います。 同社は2024年がカナリア導入開始年でしたが、導入数の拡大やデータ活用の可能性から今後も徹底した対策を講じていくであろうことが伺えます。

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  • その他安全・衛生用品
  • センサ

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『社内外DX化』『液面計測の効率化・省人化』事例集進呈

液面測定業務のDXに向けた取り組み、計測後の工程簡略化、メンテナンスコストの削減など、ソリューション事例を掲載

当社は、船舶業界向けの液面計の開発で培った豊富なノウハウを駆使し、 “液面計測”に関する効率化・省人化に向けた提案で実績が豊富です。 現在、DX推進に向けた当社の取り組みなどを紹介した資料のほか、 「食品タンクの液面計のメンテナンスコスト削減」 「計測後の工程簡略化」「タンクの液面レベルの視認性向上」など 全10の解決事例・課題解決例を紹介した資料を進呈中です。 センサーからシステム全体、ソフトウェアの構築までサポートでき、 お困りごとをヒアリングし、全体像を把握しながら開発いたします。 【掲載内容(抜粋)】 『ホワイト企業が語る社内外DX化』 ・社内オーダーファイルの電子データ化 ・業務アプリ構築クラウドサービスを使った書類管理 『液面計測の効率化・省人化事例集』 ・「油配送の効率化を実現したい」 ・「タンク液面計測の業務効率化でポンプトラブルを防ぎたい」 ・「タンク液面計測の業務効率化を実現したい」 ・「目の高さで液面を見たい」 ・「透明な液体で、液面レベルが見にくい」 ※下記ダウンロードボタンより資料をご覧いただけます。

  • その他計測・記録・測定器
  • センサ

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リニア変位センサー(スリーブセンサー)完全非接触

相対位置を直流電圧で出力する、 堅牢で高耐久性を誇るアブソリュートタイプ 2輪オートバイレースでも活躍中!(特注対応品)

被検出体の「スリーブ」と検出部の「プローブ」の2つの部品で構成し、 プローブ側に高周波磁界を発生させてスリーブとの間に電磁誘導結合を生じさせます。 スリーブがプローブに対して変位することで電磁誘導結合に変化が生じ、 その変化を電圧に変換して出力します(スリーブとプローブの相対位置が変位量として、1-5Vの電圧で出力) スリーブとプローブは完全非接触構造のため、摩擦による変形や故障がありません。 取付ブラケットやコネクタなど各種カスタム対応も承ります。 ご相談ください。 【主な特長】 ■ディテクター一体型『ET-850』と同分離型『ET-851A』の2モデルを用意 ■プローブはステンレス製なので堅牢性と耐久性を両立 ■保護構造はIP-67に準拠し、高度な防塵性と防水性を備える ■電源電圧DC10~30V ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

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【熱中対策ウォッチ導入事例】コスモ石油株式会社 様

熱中症ゼロを目指す!コスモ石油における「カナリア」の活用事例

コスモ石油では、熱中症対策として「カナリア」を導入し、 従業員と協力会社員の熱中症発生ゼロを達成しました。 カナリアは深部体温の上昇を検知し、リスクが高まる前に警告する仕組みで、 個人の体調や体質に合わせた対策を可能にします。 また、アラームにより休憩を促し、作業者の安全意識向上にも貢献しています。 今後はデータ分析を活用し、職種ごとの対策を最適化する予定です

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光学式ベルト移動量計測センサー IES2098

IDチップ・シャントテスト対応 計測レンジ±1024mm 分解能0.5mm

IES2098は光学式のベルト変位量計測センサーです。計測レンジは±1024mmであり、分解能は0.5mmです。また、最大50m/sのシートベルトの移動速度まで保証しています。自動車や航空機シートの衝突試験・スレッド試験でシートベルトの変位量を計測する際には是非一度ご検討ください。

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新JIS(半波計測)対応可能な電流センサー(CT)

新JISに準拠した電流検知や電圧測定が可能な高精度 貫通型/分割型電流センサー(CT)、電圧検出トランスを提供します

■高精度電流センサー ・新しいタイプの貫通CT ・新JIS(半波計測)対応可 ・熱硬化型フェノール樹脂 PM-9820を採用 UL94V-0 ・自動ピン打ちによる低価格 ・カスタム対応可能 ■電圧検出トランス(計測用変圧器VT) ・沿面/空間距離4.0mmを確保。耐電圧AC3000V。 ・低電圧域の直線性が良く、歪みが少ない。 ・極細線を整列に近い巻線加工により、電気的特性が安定。 ・耐熱フェノールボビンを採用。ボビン変形や端子ずれを防止。 ・衝撃/振動に強いL型ピンを採用。 ・カスタム品の要望にも対応可能。 ■特長 ・新JIS(半波計測)対応可能な電流センサー(CT) ・フィリピン工場にて射出成型から巻線組立までの  一貫生産による高品質 ・通信機器用途小型トランスでは通信インフラ等、  高信頼性環境での実績多々あり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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[数量限定]デモ機貸出可能 1軸ジャイロセンサーIES3101

[小型・軽量] ±150~9600°/sの幅広いレンジ選択が可能な角速度計

IES3101は17×10.2×7mm3の小型化を実現したジャイロセンサーです(高レンジ品は17×10.2×8.5mm3)。センサー重量も3グラムと極めて軽量です。DCからの計測が可能であり、計測用途に合わせてレンジは±150°/s~±9600°/sまで幅広く選択可能です。また、耐衝撃性能は2000Gまであり、衝突試験分野でも広く活用されています。

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[数量限定]デモ機貸出可能 3軸ジャイロセンサーIES3103

3軸一体型 ±150~4800°/sの幅広いレンジ選択が可能なジャイロセンサ

IES3103シリーズは28×28×15mm3のサイズで3軸計測を実現したジャイロセンサーです。センサー重量は22グラムと軽量です。DCからの計測が可能であり、計測に合わせてレンジは±150°/s~±4800°/sまで幅広く選択可能です。また、対衝撃性能は1000Gまであり、衝突試験分野でも広く活用されています。

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2軸チルトセンサー(角度計) IES1402

小型・軽量2軸チルトセンサー 計測レンジは±80°まで 最小検出角度0.1°

IES1402は25×12×10mm3の小型・軽量のチルトセンサーです。専用のソフトウェアとUSBケーブルによってノートPCやポケットPCから角度を見ることができます。衝突試験用人体ダミーの姿勢の確認等にご活用頂けます。 また衝突安全分野以外でも静的な角度検出は幅広い分野でご活用いただけます。

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チャージ型加速度計7514A 高感度 TESS社製

高感度50pC/g チャージタイプ加速度ピックアップ 最大260℃で使用可能 TE Connectivity社製

Model 7514A加速度計は、チャージ型加速度計であり、非常に優れたダイナミックレンジと安定性能をもっています。この加速度計は-73℃~+260℃の温度使用範囲を持ち、耐衝撃性(10000g)、最大14000Hz(±2dB)までの応答を可能にしています。筐体はステンレスであり、内部はピエゾセラミッククリスタルをシェア型に搭載しています。軽量・小型で高温使用が可能であるため、様々な分野の計測に活用頂けます。

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CubeSat用Sun Sensor nanoSSOC-D60

高感度センサーでを太陽追跡精度を実現

画期的なサンセンサー、nanoSSOC-D60の紹介です。このデバイスは、宇宙探査の分野において、高精度な太陽追跡、指向、および姿勢決定を、従来のコストの一部で提供することにより、ゲームチェンジャーとなります。特徴: - 二軸測定による正確な太陽光入射角の検出 - 高度な幾何学的設計に基づく高感度 - 統合センシング構造のためのMEMS製造プロセス - Cube Satsに最適な小型サイズ、軽量、および低消費電力 - 多くのCube Sat構造およびOBCとの互換性 - 宇宙グレードの電子部品を使用 - 動作温度範囲は-30℃から85℃、放射線耐性。 20以上のミッションで100以上のユニットが使用され、nanoSSOC-D60は宇宙の厳しい条件下での信頼性と効率を証明しました。

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長さ計測用センサ『CT1シリーズ』測長用・車輪付センサ・高分解能

耐震用ベアリング内蔵の長さ計測用発信器

電子/電磁カウンタ,PLCと組合せる測長センサ 布,紙,フィルム等のロール,ラインの測長が可能 測定物を車輪に接触回転させて簡単計測 分解能1m, 0.1m(10cm), 0.01m(1cm)0.001m(1mm) 加減算カウンタ対応の2出力タイプもあり プーリーは用途に合わせたオプション品あり メーター用ゴムプーリーは校正対応品もございます ベアリング内蔵で高い耐振動性能

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【圧倒的な費用対効果】決裁者を説得する低コスト予知保全センサー

毎月のクラウド利用料(サブスクリプション)が完全にゼロ。決裁者も納得する圧倒的なコスト削減とROIを実現します。

IoT予知保全システムの導入で、経営層や工場長の決裁を得るために最も重要なのが「ROI(投資対効果)」です。 ワイヤレス振動センサー「コナンエアー」は、他社のエッジAIセンサーと比較して圧倒的なコスト優位性を誇り、実践的なコスト削減と機会損失の回避を実現します。 最大の特徴は、高額な初期費用が不要なだけでなく「毎月のクラウド利用料(サブスクリプション)が永久に完全にゼロ」である点です。大量の汎用回転機械の巡回点検を自動化して人手を置き換えることで、莫大な人件費を削減可能。さらに「AVEVA PI System」等、既存の設備管理システムへデータを容易に統合できる無償プラグインも提供し、高額な開発費も抑えられます。 【決裁者を説得する費用対効果(ROI)の実践的アプローチ】 https://conanair.com/japan/predictive-maintenance-guide/ ■毎月のクラウド利用料・サブスク完全無料 ■AVEVA PI System等との無償連携 ■甚大な機会損失を未然に防ぐ 無料で30日間実機をお試しいただけます。お気軽にお問い合わせください。

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【防爆対応】プラント最新Wi-Fi網を活用する予知保全センサー

プラントのデジタル化に伴うWi-Fi環境を最大限に活用。防爆エリアの回転機械を低コストで完全自動監視します。

化学・石油・ガスプラントにおいて、制御システムのLAN化などデジタル化が進み、現場でのWi-Fi環境が急速に整いつつあります。 この通信インフラを最大限に活用できるのが、防爆対応版コナンエアー(中小企業優秀新技術・新製品賞優良賞)です。 防爆エリアのポンプ等の常時監視は、莫大な防爆配線工事費がネックでした。当製品は完全ワイヤレス(Wi-Fi・電池駆動)のため、整備されつつあるプラント内のWi-Fi網に接続するだけで、防爆エリアの汎用機械群を低コストでIoT化できます。危険箇所での巡回点検を自動化し、作業員の安全確保と確実な予知保全を同時に実現します。 【危険箇所・過酷環境でのワイヤレス振動監視】 https://conanair.com/japan/environment/wireless-vibration-monitoring-harsh-environments.html ■プラントの最新Wi-Fi網をそのまま予知保全に活用 ■防爆配線工事費をゼロにする完全ワイヤレス設計 ■防爆エリアでの巡回点検を自動化し安全を確実に確保 無料で30日間実機をお試しいただけます。

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【熱中対策ウォッチ導入事例】東京パワーテクノロジー株式会社様

安全を最優先とした現場作業を⾏うため、酷暑下での熱中症対策

東京パワーテクノロジー株式会社様へ、熱中対策ウォッチカナリアを 導入した事例についてご紹介いたします。 近年の地球温暖化によりさらに熱中症リスクが増大している中、同社が 携わる原子力発電所の廃炉作業現場では、安全を最優先とした現場作業を 行うため、酷暑下での熱中症対策が急務となっていました。 2021年モデルより防水機能が搭載したことを評価いただき「深部体温推定技術」と 独自のアルゴリズムを用いて着用者の熱中症リスクを検出するという点が 評価され、今夏に試験導入していただく運びとなりました。 【導入の背景と経緯】 ■通気性の悪い防護服を着用し作業に従事する原子力発電所作業員はかねて  より熱中症の頻発が懸念されており、厚生労働省が福島第一原子力発電所  向けのガイドラインを発行するなど、厳しい環境下に置かれている ■原子力発電所の廃炉作業現場では、安全を最優先とした現場作業を  行うため、酷暑下での熱中症対策が急務 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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製造業を営む中小企業の8割以上が何らかのコスト削減を行っている

製造業を営む中小企業の8割以上が、何らかのコスト削減に向けた取り組みを行っている!

PR TIMES https://x.gd/5AAek 中山水熱工業は、中小製造業の経営者を対象に「コスト削減実態」に関する調査を実施しました。 <調査サマリー> ・製造業を営む中小企業の8割以上がコスト削減の取り組みを行っている ・中小製造業の約6割は前年度比較でコストを100%以下に抑えられている ・製造業の中小企業のコスト削減の取り組みトップ3は、1位:原材料・エネルギー調達の見直し、2位:生産プロセスの改善、3位:人件費の削減 ・コスト削減を実行する上で課題と感じられた点は「市場環境の不確実性」 ・コスト削減を目指し設備保全強化の取り組みトップ3は、1位:老朽設備の安定運用、2位:定期点検の見直し・点検頻度の強化、3位:点検・保全記録のデジタル化と外部業者との契約 コナンエアーは設備の故障を事前に検出し、コスト削減に貢献します。導入コストの面で強いメリットがあり、簡単にタブレットやスマートフォンとブラウザ上で接続できます。 ・無料で30日間コナンエアーをお試し頂けます。お気軽にお問い合わせ下さい。

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小型衛星用Sun Sensor SSoC-A60

宇宙での太陽追跡精度と耐久性を高感度で実現

小型衛星向けの最先端のサンセンサーです。MEMS技術を活用し、正確な太陽追跡、位置決め、姿勢決定に統合された感知能力を提供します。主な特徴: - 幾何学的設計による例外的な感度を持つ二軸入射角測定 - 各センサーは、シームレスなアプリケーションのためのルックアップテーブルとともに、細心の校正および特性評価されます - 金属シールドとカバーガラスで高放射線レベルに対する強化された耐久性 - 10以上のミッションで実証された宇宙グレードの電子部品 SSoC-A60を使用する利点には以下が含まれます: - 信頼できる太陽追跡のための比類のない精度(<0.3º)と精度(<0.05º) - 効率的な運用を保証する低平均消費電力(光中<2 mA) - 宇宙の厳しい条件に適した極端な温度と放射線に対する堅牢性 - ITAR FREEで、国際プロジェクトでのグローバルなアクセシビリティと使用を容易にします。 既に10以上のミッションで50以上のユニットが展開されており、SSoC-A60はSolar MEMS Technologies社の航空宇宙産業における品質と革新への信頼を証明しています。

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高精度ワイヤレス6軸IMU慣性センサ「LPMS-B2」シリーズ

完全ワイヤレスで自由な計測を。3.5cm角の超小型設計・バッテリー内蔵。ROS/ROS2対応でモバイル開発を加速。

完全ワイヤレスで人の動きや回転体の挙動をリアルタイム計測】 LPMS-B2シリーズは、Bluetooth接続に対応した高性能なワイヤレス6軸慣性計測ユニット(IMU)です。加速度・ジャイロの計測データをワイヤレスで送信できるため、ケーブルの制約を一切受けない自由な計測環境を提供します。 ・ウェアラブル・モバイル環境に最適な超小型設計 約3.5cm角のコンパクトな筐体に、センサー、マイクロコントローラ、充電式バッテリーをすべて内蔵。人体への装着や小型ドローン、回転する機械部品など、配線が困難な場所への設置に最適です。 ・独自アルゴリズムによる安定した姿勢出力 高性能カルマンフィルタ「Core Fusion Engine」を搭載。ワイヤレス通信特有の遅延を抑え、激しい動きの中でもドリフトの少ない正確な姿勢角(ロール・ピッチ・ヨー)をリアルタイムで出力します。 ・多彩なプラットフォームに対応(ROS/ROS2対応) WindowsやAndroidに加え、Linux環境もサポート。ROS/ROS2ドライバを公式提供しており、自律走行ロボットやスマホアプリ開発、リサーチ用途まで幅広く対応します。

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【航空宇宙向け】digiVIT 渦電流式変位センサ

ボタン一つで感度調整・出力変換可能。高精度な振動監視に。

航空宇宙業界では、航空機の安全性と性能を維持するために、振動監視が不可欠です。特に、エンジンや構造部品の微小な振動を正確に測定し、異常を早期に発見することが重要です。digiVITは、高精度な測定能力と容易な操作性により、航空宇宙分野における振動監視の課題解決に貢献します。 【活用シーン】 ・航空機のエンジン振動監視 ・構造部品の振動監視 ・試験・研究における振動測定 【導入の効果】 ・高精度な振動データの取得 ・早期の異常検知による安全性の向上 ・試験・研究の効率化

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【精密機械向け】サブナノ分解能・静電容量変位センサー D-510

サブナノメートル分解能の非接触変位測定。精密加工装置の位置制御と加工精度向上に貢献

精密加工分野では、加工精度や装置性能を向上させるために、ナノメートルレベルの高精度な変位測定が求められます。わずかな振動や位置ずれでも、加工精度や製品品質に大きな影響を与える可能性があります。 D-510は、静電容量方式による非接触変位測定を採用した高分解能センサーです。サブナノメートル分解能により、精密加工装置における位置フィードバックや振動測定を高精度に行うことができ、加工プロセスの安定化と精度向上に貢献します。 【活用シーン】 ・精密加工装置の位置フィードバック ・微細加工プロセスの位置制御 ・精密位置決めシステム ・半導体製造装置 ・精密振動測定 【導入の効果】 ・ナノレベルの高精度変位測定 ・非接触測定による対象物への影響低減 ・加工精度の向上 ・装置振動の高精度モニタリング

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【半導体装置向け】ナノ変位測定 静電容量センサー D-510

サブナノメートル分解能・最大10 kHz帯域。ウェーハ位置制御に最適な非接触静電容量センサー

半導体製造では、ウェーハステージや精密位置決め機構のわずかな変位や振動が、加工精度や製品歩留まりに大きく影響します。微細化が進む半導体プロセスでは、ナノメートルレベルの変位を高精度に測定することが重要です。 D-510 PISecaは、静電容量方式による非接触変位測定を採用した高分解能センサーです。サブナノメートル分解能と最大10 kHzの高帯域測定により、ウェーハステージの微小変位や装置振動を高精度に検出し、半導体製造装置における位置制御の高精度化とプロセス安定化に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハステージの位置フィードバック ・半導体製造装置のナノ位置制御 ・ウェーハ表面の振動測定 ・精密アライメントシステム ・半導体検査装置 【導入の効果】 ・ナノレベルの高精度変位測定 ・非接触測定によるウェーハへの影響低減 ・装置振動の高精度モニタリング ・半導体プロセスの安定化と歩留まり向上

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【研究開発向け】サブナノ分解能・静電容量変位センサー D-510

サブナノメートル分解能・最大10 kHz帯域 ナノレベルの非接触変位計測を実現

研究開発分野では、ナノスケールの微小な変位や振動を正確に測定することが求められます。特にナノ計測や精密位置決めの研究では、高分解能かつ高応答なセンサーが実験精度や再現性を大きく左右します。 D-510は、静電容量方式による非接触変位測定を採用した高分解能センサーです。サブナノメートル分解能と最大10 kHzの高帯域により、ナノレベルの変位測定や高ダイナミクスな振動測定を実現します。研究開発用途における高精度測定やナノ位置決め制御に最適です。 【活用シーン】 ・ナノ位置決め研究 ・材料特性評価 ・精密振動測定 ・ナノメトロロジー ・研究用精密計測装置 【導入の効果】 ・ナノレベルの高精度変位測定 ・非接触測定による試料への影響低減 ・高帯域測定による動的挙動の解析 ・実験データの再現性と信頼性向上

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予知保全の精度が劇的に変わる!『高周波振動診断』入門

回転機械の状態監視:なぜ10kHz以上を測るべきなのか

回転機械の軸受異常は、実は 10kHz以上の高周波帯域に最も早く現れる ことをご存じでしょうか。 故障の3〜6か月前に兆候が出ているにも関わらず、多くの現場ではそのサインを測定できていません。 本資料では、高周波測定の必要性を 実測データと診断技術 の両面からわかりやすく解説します。

  • 医薬品関連工場設備
  • 振動監視
  • 振動検査
  • センサ

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【タービン監視向け】非接触リニア変位センサー MP-620

タービンの振動・変位を非接触で高精度に検出。安定稼働をサポート。

エネルギー業界のタービン監視では、設備の異常を早期に検知し、安定稼働を維持することが重要です。タービンは高温・高圧下で稼働するため、振動や変位の正確な測定が求められます。従来の接触型センサーでは、摩耗や故障のリスクがあり、メンテナンスコストが増大する可能性があります。MP-620シリーズは、非接触でタービンの位置を検出し、振動や衝撃の影響を受けにくいため、安定した測定が可能です。 【活用シーン】 ・タービンの軸位置監視 ・ブレードの振動監視 ・設備の異常検知 【導入の効果】 ・非接触測定によるメンテナンスコスト削減 ・高精度な測定による早期異常検知 ・安定した稼働による生産性向上

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