【半導体製造向け】高精度小型磁気スイッチ・センサー
ウェハ搬送における高精度な位置決めを実現。繰り返し精度±0.05μm。
半導体製造業界、特にウェハ搬送においては、位置決めの高精度化が求められます。ウェハの正確な位置決めは、製造プロセスの品質と歩留まりを左右する重要な要素です。微細なズレが、製品の不良や性能低下につながる可能性があります。当社の小型磁気スイッチ・センサーは、±0.05μmの繰り返し精度で、ウェハ搬送における高精度な位置決めを実現します。 【活用シーン】 ・ウェハ搬送ロボットの位置検出 ・精密位置決めが必要な製造装置 ・クリーンルーム内での使用 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・歩留まりの改善 ・安定した製造プロセスの実現
- 企業:株式会社マコメ研究所 (MACOME) 本社・伊那工場
- 価格:1万円 ~ 10万円