【トリプルスキャンレーザー事例】FPD製造装置の平面度測定
FPD用ガラス基板搬送ステージなどの平面度調整に!測定時間を最大で70%削減可能
TACC株式会社が取り扱う、レーザーアライメントシステム 『トリプルスキャンレーザー』をガラス基板に活用した事例をご紹介します。 従来の測定方式(レーザー測長器、傾斜計、オートコリメーター)では 長時間かかっていた平面度測定を、当製品を使用することで測定時間を 最大で70%削減することが可能。 さらに、複数個所に置かれたターゲットの数値を専用表示器やPDAやPC等で リアルタイムに確認できるので、高さの調整作業もその場でスムーズに行うことができます。 【特長】 ■FPD用ガラス基板搬送ステージなどの平面度調整に好適 ■3m以上あるステージの平面度測定を素早く正確に行うことが可能 ■高さの調整作業もその場でスムーズにおこなうことができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:TACC株式会社
- 価格:応相談