更新日： 集計期間:2026年01月07日～2026年02月03日
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反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適しています
反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハや薄物ウェーハの搬送に適しています。 チャック本体は高純度アルミナセラミックスを使用し、ワーク吸着面のみに多孔質セラミックスを使用しています。 平均細孔径20μmの気孔径を有している為、従来の吸着面に1.5mm程度の溝を掘って吸着するチャックと比較し、溝部分に集中する吸着圧力を分散させる事ができ、薄物のワークなどの変形をおさえて吸着する事が可能です。 メッシュ粒径はグレード＃100、＃220、＃400から選択可能です。 ワーク吸着面に導電性テフロンコーティング処理も可能です。
反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャック。
反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックです。 弊社の大気環境用搬送ロボットであればどのタイプのロボットにも搭載可能です。 サンプルウェーハによる検証を行い、お客様の任意の形状で各種サイズ、反り量、ウェーハ厚みに対応した設計を行います。 基板に対してベルヌーイの力でワークを吸引します。 搬送時のズレを防止する為にフリクションゴムの摩擦力で保持します。 チャック側の面は接触をしますが、ウェーハサイズが異なる場合に兼用（※組合せにより、できない場合があります）することができ、非接触タイプと比較してチャックの厚みを薄く作ることが可能です。 吸引がベルヌーイの為、真空吸着チャックよりも広いエリアに力がかかり、薄物ウェーハに有効です。
反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャックです。
反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックです。 弊社の大気環境用搬送ロボットであればどのタイプのロボットにも搭載可能です。 サンプルウェーハによる検証を行い、お客様の任意の形状で各種サイズ、反り量、ウェーハ厚みに対応した設計を行います。 基板に対してベルヌーイの力でワークを引きつけます。 搬送時のズレを防止する為にエッジ部のガイドでズレを制限します。 エッジ以外は接触をしないで浮上しています。 ひとつのチャックでひとつのサイズのウェーハとなります。 引きつける力がベルヌーイの為、真空吸着チャックよりも広いエリアに力がかかり、薄物ウェーハに有効です。 また、表裏の両面に対して非接触となるので、接触ができないウェーハに対しても有効です。
～高精度ポーラスチャックをお手軽に～即納品ポーラスチャック
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チャッキング毎に芯出し不要！搬送用にも便利なエアチャック
『NPC-2SS-25』は、ウェッジ方式の角型エアチャックです。 少ないスペースに多数個並べて組立等に使用可能。 搬送用にも便利です。 当社のエアチャックは、パーツの一点一点を、丁寧にハンドラッピングで 仕上げ、組立てることで高精度と耐久性を実現いたしました。 【特長】 ■角型 ■ウェッジ方式：2fingers ■エアポート位置：側面2ヶ所 ■外形50mm×30mmの角型 ■省スペース ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
くっつける技術、制御する技術、モニタリングする技術を開発！設計から製造まで一貫対応
クリエイティブテクノロジーは、「くっつける技術」で未来を創る会社です。 半導体製造装置の部品メーカーとして、静電チャックをはじめ、ヒーターや ウェハステージまで、設計から製造まで一貫して対応。 その技術の一部は、半導体業界だけでなく、ガラスやフィルムの搬送用途 などに応用され、FPD業界などその他の産業でも注目されています。 さまざまな可能性のある当社の技術を、どうぞ幅広くご用命ください。 【主な事業内容】 ■静電チャックおよび周辺技術の開発・製造・販売 ■その他吸着搬送機器の開発・製造・販売 ■静電チャック用電源およびセンサーの開発・製造・販売 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
さまざまな産業分野の機械・装置での確実で安定したワークの吸着固定を実現します
『ポーラスチャック』は、主に半導体製造工程でダイシングソーやボンダー、 検査装置に組み込まれる部品です。 テーブル表面のポーラス(多孔質)構造と負圧を利用することで、薄い シリコンウェハ等を平面保持することが可能。お客様ごとの仕様・要望に 合わせて適した材質、形状を検討し、都度カスタマイズする”一品物”として 製造します。 また、+αの機能を持たせたユニット品として「HoVaC」や 「面発光ポーラスチャック」等、多彩なタイプをご用意いたします。 【特長】 ■安定吸着 ■多種多様なポーラス体 ■高精度・高品質 ■平面度3μm以下 ■MADE IN JAPAN ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
搬送用、組立用等に使用可能！省スペースを実現するコンパクト設計のエアチャック
『NPC-2RS-F22N/25N/F25N』は、ウェッジ方式のロボット対応据置型 エアチャックです。 角物ワークに好適。 搬送用、組立用等に使用できます。 当社のエアチャックは、パーツの一点一点を、丁寧にハンドラッピングで 仕上げ、組立てることで高精度と耐久性を実現いたしました。 【特長】 ■ロボット対応据置型 ■ウェッジ方式：2inch / 2fingers ■エアポート位置：側面2ヶ所 ■爪ストローク（2φmm/5φmm) ■鉄製：繰返し精度2μ。アルミ製：繰返し精度10μ。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
シール集積袋詰供給装置や包装機周辺機器を展示します。 （東4ホール 4-28）
【ＮＫＥの特長】 弊社では、エアチャックやコンベア、省配線機器等の 設備機器の設計製造販売を行っております。 またこれら標準機器の他にも、お客様の要望に合わせた 特注品の対応や、自社標準商品の組み合わせをベースに した装置・モジュールのご提供も得意としております。 長年FA業界で培われてきた自動機設計の実績・ノウハウ から、最適なモノづくり環境の構築に、より総合的に貢献 致します。 【出展製品のご紹介】 東京パックではラベルの集積、袋詰め、供給を行う 自動機を展示。 他にもペットボトルや瓶のハンドリングに使用する ＮＫＥ標準品のボトルチャックを使用したケーサーアプリ ケーションや、搬送コンベア、異常時自動通報機器 なども展示致します。 ※入場券をご希望の方は下記お問い合わせフォームよりご請求下さい。
ソーラーリサーチ研究所の垂直気体噴流方式の非接触チャック
ソーラーリサーチ研究所の垂直気体噴流方式の「非接触チャック」は、空気をガラス基板に向かって噴出することにより、ガラス基板を空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。 ●多種多様のワークに対応 ユーザーの業種は、半導体、FPD、偏光板、フィルム、光学、エレクロニクス、紙、繊維と多方面にわたり、納入実績は数百件に達している。 ワークの大きさは数mm角チップ/レンズから数m角ガラス、厚さも数μmのものもある。性状も反りのある ウエハ、スルーホール、通気性、柔軟性のあるワーク、表面塗布したワークと多種多様である。
500×500mmの大型ワークもソフトにチャックできるポーラスチャック！透過光式AOI(自動外観検査)可！
『透過光照明組み込み型 PE ポーラスチャック』は、 軟質のポリエチレン製ポーラス材を用いて、FPC、ウエハ、LF、ガラス基板などをソフトにチャック 組み込まれた透過光照明によりAOIを行う 【特長】 ■ポーラス材には半透明の超高分子量ポリエチレンを使用 ■セラミックや金属材料に比べ導入コストや装置重量を低減 ■ポーラス材に目詰まりが発生した際は、安価にお取替え致します ■平均空気孔径が5μm以下のポーラス材を用いた場合は、部分吸着が可能 ※詳しくは＜カタログをダウンロード＞よりPDF資料をください。
浮く、止める、運ぶ！静電気防止材料として極薄基板等ワークの防汚課題を解決します
『エアロフィックス』は、独自のセラミックス焼結技術により、従来の スルーホールタイプ真空チャックの課題を解決する、真空チャックです。 ウェット、ドライ環境、さまざまなワークサイズに対応。ワークごとに形式や サイズを取り揃える必要がなく、コスト低減と作業効率向上を実現します。 静電気を帯電・放電せず除電するため「イオナイザー」などの追加設備も 不要で、精密製品ワークにも安心です。 【特長】 ■静電気防止材料として極薄基板等ワークの防汚課題を解決 ■部分吸着可能な為さまざまなワークサイズがこれ1台で対応できる ■ワークの汚染リスクを低減し非接触浮上搬送を実現 ■高性能・高精度な均一吸着力で、デリケートな薄物ワークに適する ■省スペースを実現するサクションロール ■既存装置に“ポン”と置くだけなので簡便＆コストダウン ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
APSツーリング（オートパレタイズシステム）：φ20コレット
APSツーリング（オートパレタイズシステム） ワークチェンジの自動搬送システムに精密バイスとsystem3R、EROWAのチャッキングツールを組付し高精度加工の自動化サポート致します
セラミックといえば西村陶業
セラミックスの知見を活かし開発した、「ANYCHUCK」従来の真空チャックは吸着面を全て薬でなければ吸着が出来ないものであったが、弊社のANYCHUCKでは吸着面を塞がなくても吸着が可能です。マスクの製作や正確な位置決めなどの必要がなくなり、フィルムのような取り扱いの難しいものの搬送やハンドリング、固定や検査治具のお悩みを一手に解決いたします。
吸着面がバックライトの様に発光
光源を内蔵することにより、発光機能を追加したポーラスチャックです。 吸着面がバックライトの様に発光する機能を搭載し「吸着固定＋発光」が可能となります。
薄型化するウェハー、ガラス基板、金属箔、フィルムなどの搬送に最適！従来の真空吸着式の持つ対象物への局所ストレスを解消！
『ソフトパーム』は、クーロン力にて対象物を接触吸着し、ハンドリング するハンディタイプの静電チャックです。本製品は面吸着のため、薄い部材に対して局所的ストレスがかからないのが最大の特長です。また、電池駆動（充電可）のコードレスタイプと、専用コントローラー駆動セミコードレスタイプがございます。 【特長】 ■コードレスの為どこでも携帯可能 ■凸凹面のある対象物も吸着可能 ■電位は最小に抑えられる為、裏面のゴミ吸着はなし ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
ワークの大きさ・形状を問わない！部分的に吸着できるチャック
チャック「ファインポーラスチャック」は、ワークの大きさ・形状を問わず部分的に吸着できます。 半導体製造装置・半導体各種検査用に最適です。 形状、寸法、ボディ材質等その他仕様につきましてはご相談に応じて対応いたします。 【特徴】 ○従来品のポーラスに比べて、緻密なポーラスを使用 ○エアーの漏れが起きづらいので、部分的な吸着でも固定力が落ちない ○アルミナセラミック素材のポーラスのため、 従来通り高精度加工の対応が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
匠の技術が生み出す高精度な製品。多数写真を用いてわかりやすくご紹介しています
当カタログは、システム機器の開発設計・製造をはじめ、石定盤、 石治具石製マシンベース、石製精密スライダー等精密石材製品製造販売精や、 精密搬送などを行っている当社の総合カタログです。 機械加工やラップ加工・検査、精密ポーラスチャックなどについて掲載。 精密さの限界に挑み、1/1000ミリ単位の要求制度にお答えします。 是非、ご興味がございましたらお気軽に当社までご相談ください。 【掲載内容（抜粋）】 ■機械加工 ■ラップ加工・検査 ■組立 ■精密受託加工 ■精密ポーラスチャック ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
入口、出口シュートの製作、取付、加工プログラム、デバック作業も当社で行いました
株式会社旭技研が手掛けた『NC旋盤』の改造事例について ご紹介します。 ローディング、アンローディング、ワーク払出し、定配装置などを追加。 また、チャック、回転シリンダーの取付、カバー改造、入口・出口シュートを 取り付けました。 また、搬送関係の設計製作・改造、測定装置、ワークストッカー等の 設計製作も行います。お問い合わせください。 【事例詳細】 ■ローディング、アンローディング、ワーク払い出し、定配装置等の設計製作 ■チャック、回転シリンダーの取付、ドローバー、爪等の 設計製作及びセットアップ など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
極薄基板などワークの防汚課題を解決！フィルムなどデリケートな薄物ワークに好適
『エアロフィックス』は、吸着面の一部しかカバーしない精細部品などの ワークにおいてもしっかり固定できる部分吸着を実現した高精度多孔質 セラミックス真空チャックです。 ウェット、ドライ環境、さまざまなワークサイズに対応。 ワークごとに形式やサイズを取り揃える必要がなく、コスト低減と 作業効率向上を実現します。 また、ワークは浮上ユニットで浮きあがるとともに、軽微な力で 吸着盤上を自在に動かすことが可能です。 【特長】 ■静電気防止材料 ■部分吸着可能 ■ワークの汚染リスクを低減 ■高性能・高精度な均一吸着力 ■省スペースを実現 ■既存装置に置くだけ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
導電性新素材ガラス状カーボン！発塵がほとんどないチャック
「カーボンポーラスチャック」は、導電性を持っているので帯電しにくいチャックです。 100％ガラス状カーボンという特殊素材で構成するポーラスなので、 発塵がほとんどなく、吸着面が滑らか。 耐腐食性・耐熱性に優れていて、吸着ワークへの傷がつきにくいです。 【特徴】 ○導電性（固有抵抗 2.4×10^-2[Ω・m]） ○腐食性ガス及び液体に対する耐腐食性、耐熱性に優れている ○ガラス状カーボンを使用しているため、黒鉛のような色写りがない 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
材料を創設し、いつの日かを創造する
平面平滑性および特殊製造手法により優れた吸着特性と高耐久性でウエハーや大型基板の全面吸着を必要とする製造工程において高い生産性と信頼性を提供いたします。 ポーラス体は、ユーザーニーズにあわせた材料および気孔径サイズの選択自由度をもっています。
ロングストロークでの使用時にも安定した動作を実現するクロスバー方式採用！
『NPC-2RJ-25』は、クロスバー方式のロボット対応据置型エアチャックです。 長物ワークの搬送、組立等に好適。 軽量コンパクトなので取付けも容易です。 当社のエアチャックは、パーツの一点一点を、丁寧にハンドラッピングで 仕上げ、組立てることで高精度と耐久性を実現いたしました。 【特長】 ■ロボット対応据置型 ■クロスバー方式：2inch / 2fingers ■エアポート位置：側面2ヶ所 ■長爪を安定して使えるクロスバー ■角物ワークに適した2つ爪 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
摩耗を軽減でき、耐久性に優れるクロスバー方式採用したエアチャック
『NPC-3RJ-35』は、クロスバー方式のロボット対応据置型エアチャックです。 長物ワークの搬送、組立等に威力を発揮。 ロボットハンドにも適しています。 当社のエアチャックは、パーツの一点一点を、丁寧にハンドラッピングで 仕上げ、組立てることで高精度と耐久性を実現いたしました。 【特長】 ■ロボット対応据置型 ■クロスバー方式：3inch / 3fingers ■エアポート位置：側面2ヶ所 ■長爪を安定して使えるクロスバー ■把握力も大きい3インチ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コレットチャックと超硬クイルの株式会社小宮商会！
株式会社小宮商会は、主に精密コレットチャックおよび内研砥石取付軸 (クイル)の製造販売を行っている会社です。 コレットチャックやクイルなどの工作機械の精密周辺機器製造で培った 精密研削加工技術をさらに研鑽し、汎用機械で内面研削・円筒研削の極限 精度を追い求め、機械加工では無理だと思われがちな加工を創造します。 コレットチャック、超硬クイルの製造は、是非当社にご用命ください。 【事業内容】 ■精密コレットチャックおよび内研砥石取付軸(クイル)の製造販売 ■一般機械工具の販売 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
【用途：浮上】安定したワークの浮上により 作業効率と品質の向上を実現
『エアロフィックス』は、吸着面の一部しかカバーしない精細部品などの ワークにおいてもしっかり固定できる部分吸着を実現した高精度多孔質セラミックス真空チャックです。 ご相談いただいたA社様では下記のような課題がございました。 【課題】 ・レーザーアニールではワークに光をあてるためピント合わせが難しい… ・ワークを浮かせたままレーザーをあてたいが、従来チャックではしっかり固定できない… 当製品をご採用いただくことで下記の改善が見られました。 【解決】 細かい気孔による部分吸着が威力を発揮し、作業効率が大きく向上 エアロフィックスの導入により精密、安定した浮上が可能になりピント合わせがラクに ウェット、ドライ環境、さまざまなワークサイズに対応しています。 お困りの方はお気軽にご相談ください。 【特長】 ■静電気防止材料 ■部分吸着可能 ■ワークの汚染リスクを低減 ■高性能・高精度な均一吸着力 ■省スペースを実現 ■既存装置に置くだけ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【用途：研磨】ワックス不要による工程削減で作業効率アップに成功
『エアロフィックス』は、吸着面の一部しかカバーしない精細部品などの ワークにおいてもしっかり固定できる部分吸着を実現した高精度多孔質セラミックス真空チャックです。 ご相談いただいたA社様では下記のような課題がございました。 【課題】 研磨の際にサファイア基板をワックスで固定しているが、 貼る、剥がす、洗浄するといった一連の作業に手間と時間がかかって困っている… 当製品をご採用いただくことで下記の改善が見られました。 【解決】 エアロフィックスの導入によりワックスを使用することなく安定した固定が実現 ワックス作業関連作業の削減により作業効率を大幅に向上、コストも削減 ウェット、ドライ環境、さまざまなワークサイズに対応しています。 お困りの方はお気軽にご相談ください。 【特長】 ■静電気防止材料 ■部分吸着可能 ■ワークの汚染リスクを低減 ■高性能・高精度な均一吸着力 ■省スペースを実現 ■既存装置に置くだけ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
部品外形サイズに関係なく外形対角線の交点、部品中心をを”正”に位置決め出来るセンタリングメカチャックです！
◆プーリーとワイヤーと１本のスプリングで構成されるセンタリング機構ユニットを必要な軸だけ組み合わせセンタリング位置決めします。 ◆本方式は部品の外径バラツキに関係なく、常に部品の中心位置を”正”に位置決め出来ます。 ◆リファレンス位置決め方式で精密位置決めするときに必要であった、高価なパターン認識・ＮＣ制御テーブルが不要となり、ローコストで精密位置決めが実現します。
