更新日： 集計期間:2025年08月27日～2025年09月23日
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反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャック。
反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックです。 弊社の大気環境用搬送ロボットであればどのタイプのロボットにも搭載可能です。 サンプルウェーハによる検証を行い、お客様の任意の形状で各種サイズ、反り量、ウェーハ厚みに対応した設計を行います。 基板に対してベルヌーイの力でワークを吸引します。 搬送時のズレを防止する為にフリクションゴムの摩擦力で保持します。 チャック側の面は接触をしますが、ウェーハサイズが異なる場合に兼用（※組合せにより、できない場合があります）することができ、非接触タイプと比較してチャックの厚みを薄く作ることが可能です。 吸引がベルヌーイの為、真空吸着チャックよりも広いエリアに力がかかり、薄物ウェーハに有効です。
反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャックです。
反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックです。 弊社の大気環境用搬送ロボットであればどのタイプのロボットにも搭載可能です。 サンプルウェーハによる検証を行い、お客様の任意の形状で各種サイズ、反り量、ウェーハ厚みに対応した設計を行います。 基板に対してベルヌーイの力でワークを引きつけます。 搬送時のズレを防止する為にエッジ部のガイドでズレを制限します。 エッジ以外は接触をしないで浮上しています。 ひとつのチャックでひとつのサイズのウェーハとなります。 引きつける力がベルヌーイの為、真空吸着チャックよりも広いエリアに力がかかり、薄物ウェーハに有効です。 また、表裏の両面に対して非接触となるので、接触ができないウェーハに対しても有効です。
くっつける技術、制御する技術、モニタリングする技術を開発！設計から製造まで一貫対応
クリエイティブテクノロジーは、「くっつける技術」で未来を創る会社です。 半導体製造装置の部品メーカーとして、静電チャックをはじめ、ヒーターや ウェハステージまで、設計から製造まで一貫して対応。 その技術の一部は、半導体業界だけでなく、ガラスやフィルムの搬送用途 などに応用され、FPD業界などその他の産業でも注目されています。 さまざまな可能性のある当社の技術を、どうぞ幅広くご用命ください。 【主な事業内容】 ■静電チャックおよび周辺技術の開発・製造・販売 ■その他吸着搬送機器の開発・製造・販売 ■静電チャック用電源およびセンサーの開発・製造・販売 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
さまざまな産業分野の機械・装置での確実で安定したワークの吸着固定を実現します
『ポーラスチャック』は、主に半導体製造工程でダイシングソーやボンダー、 検査装置に組み込まれる部品です。 テーブル表面のポーラス(多孔質)構造と負圧を利用することで、薄い シリコンウェハ等を平面保持することが可能。お客様ごとの仕様・要望に 合わせて適した材質、形状を検討し、都度カスタマイズする”一品物”として 製造します。 また、+αの機能を持たせたユニット品として「HoVaC」や 「面発光ポーラスチャック」等、多彩なタイプをご用意いたします。 【特長】 ■安定吸着 ■多種多様なポーラス体 ■高精度・高品質 ■平面度3μm以下 ■MADE IN JAPAN ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
搬送用、組立用等に使用可能！省スペースを実現するコンパクト設計のエアチャック
『NPC-2RS-F22N/25N/F25N』は、ウェッジ方式のロボット対応据置型 エアチャックです。 角物ワークに好適。 搬送用、組立用等に使用できます。 当社のエアチャックは、パーツの一点一点を、丁寧にハンドラッピングで 仕上げ、組立てることで高精度と耐久性を実現いたしました。 【特長】 ■ロボット対応据置型 ■ウェッジ方式：2inch / 2fingers ■エアポート位置：側面2ヶ所 ■爪ストローク（2φmm/5φmm) ■鉄製：繰返し精度2μ。アルミ製：繰返し精度10μ。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
6軸多関節ロボットがもつパフォーマンスを、ガントリーローダーに搭載する事により柔軟かつ多機能なロボットローダーを実現
当社が取り扱う、ロボット搬送ローダー装置『GRL-25-Y』をご紹介します。 ロボットの自由な位置決めと姿勢により、周辺装置のコンパクト化及び 全体レイアウトの省スペース化を実現。これにより設備導入時の全体コストの 低減も可能になりました。 また、スリムなデザインで従来のガントリーより全高を大幅に低減。 ロボットの第1軸可動領域を制限し、危険領域の最小化を図る事で従来の ガントリーローダーと同等の設置面積で施工可能です。 【特長】 ■柔軟かつ多機能なロボットローダーを実現 ■ロボットの自由度を活かす事で周辺装置のコンパクト化及び全体レイアウトの省スペース化を実現 ■スリムなデザインで従来のガントリーローダーより全高を大幅に低減 ■ビジョンシステムとの連携でワークに合わせた好適な位置補正が可能 ■高精度な作業が可能となり生産現場で発生するヒューマンエラーを最小限に抑制 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
シール集積袋詰供給装置や包装機周辺機器を展示します。 （東4ホール 4-28）
【ＮＫＥの特長】 弊社では、エアチャックやコンベア、省配線機器等の 設備機器の設計製造販売を行っております。 またこれら標準機器の他にも、お客様の要望に合わせた 特注品の対応や、自社標準商品の組み合わせをベースに した装置・モジュールのご提供も得意としております。 長年FA業界で培われてきた自動機設計の実績・ノウハウ から、最適なモノづくり環境の構築に、より総合的に貢献 致します。 【出展製品のご紹介】 東京パックではラベルの集積、袋詰め、供給を行う 自動機を展示。 他にもペットボトルや瓶のハンドリングに使用する ＮＫＥ標準品のボトルチャックを使用したケーサーアプリ ケーションや、搬送コンベア、異常時自動通報機器 なども展示致します。 ※入場券をご希望の方は下記お問い合わせフォームよりご請求下さい。
ソーラーリサーチ研究所の垂直気体噴流方式の非接触チャック
ソーラーリサーチ研究所の垂直気体噴流方式の「非接触チャック」は、空気をガラス基板に向かって噴出することにより、ガラス基板を空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。 ●多種多様のワークに対応 ユーザーの業種は、半導体、FPD、偏光板、フィルム、光学、エレクロニクス、紙、繊維と多方面にわたり、納入実績は数百件に達している。 ワークの大きさは数mm角チップ/レンズから数m角ガラス、厚さも数μmのものもある。性状も反りのある ウエハ、スルーホール、通気性、柔軟性のあるワーク、表面塗布したワークと多種多様である。
浮く、止める、運ぶ！静電気防止材料として極薄基板等ワークの防汚課題を解決します
『エアロフィックス』は、独自のセラミックス焼結技術により、従来の スルーホールタイプ真空チャックの課題を解決する、真空チャックです。 ウェット、ドライ環境、さまざまなワークサイズに対応。ワークごとに形式や サイズを取り揃える必要がなく、コスト低減と作業効率向上を実現します。 静電気を帯電・放電せず除電するため「イオナイザー」などの追加設備も 不要で、精密製品ワークにも安心です。 【特長】 ■静電気防止材料として極薄基板等ワークの防汚課題を解決 ■部分吸着可能な為さまざまなワークサイズがこれ1台で対応できる ■ワークの汚染リスクを低減し非接触浮上搬送を実現 ■高性能・高精度な均一吸着力で、デリケートな薄物ワークに適する ■省スペースを実現するサクションロール ■既存装置に“ポン”と置くだけなので簡便＆コストダウン ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
APSツーリング（オートパレタイズシステム）：φ20コレット
APSツーリング（オートパレタイズシステム） ワークチェンジの自動搬送システムに精密バイスとsystem3R、EROWAのチャッキングツールを組付し高精度加工の自動化サポート致します
ワークの大きさ・形状を問わない！部分的に吸着できるチャック
チャック「ファインポーラスチャック」は、ワークの大きさ・形状を問わず部分的に吸着できます。 半導体製造装置・半導体各種検査用に最適です。 形状、寸法、ボディ材質等その他仕様につきましてはご相談に応じて対応いたします。 【特徴】 ○従来品のポーラスに比べて、緻密なポーラスを使用 ○エアーの漏れが起きづらいので、部分的な吸着でも固定力が落ちない ○アルミナセラミック素材のポーラスのため、 従来通り高精度加工の対応が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
薄型化するウェハー、ガラス基板、金属箔、フィルムなどの搬送に最適！従来の真空吸着式の持つ対象物への局所ストレスを解消！
『ソフトパーム』は、クーロン力にて対象物を接触吸着し、ハンドリング するハンディタイプの静電チャックです。本製品は面吸着のため、薄い部材に対して局所的ストレスがかからないのが最大の特長です。また、電池駆動（充電可）のコードレスタイプと、専用コントローラー駆動セミコードレスタイプがございます。 【特長】 ■コードレスの為どこでも携帯可能 ■凸凹面のある対象物も吸着可能 ■電位は最小に抑えられる為、裏面のゴミ吸着はなし ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
導電性新素材ガラス状カーボン！発塵がほとんどないチャック
「カーボンポーラスチャック」は、導電性を持っているので帯電しにくいチャックです。 100％ガラス状カーボンという特殊素材で構成するポーラスなので、 発塵がほとんどなく、吸着面が滑らか。 耐腐食性・耐熱性に優れていて、吸着ワークへの傷がつきにくいです。 【特徴】 ○導電性（固有抵抗 2.4×10^-2[Ω・m]） ○腐食性ガス及び液体に対する耐腐食性、耐熱性に優れている ○ガラス状カーボンを使用しているため、黒鉛のような色写りがない 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
