更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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2～12インチウエハー平置き搬送用 空気で包んで優しく運びます。
ベルヌーイチャックは、ベルヌーイの原理を利用し空気を噴出することで、より強力な吸引力を発生します。 搬送物はベルヌーイチャックの表面端の部分を点接触し、回転することも無く、ウエハー中心部分を非接触状態で安定した保持力により搬送できます。 本体部一つで各ウエハーサイズに対応するよう設計しております。 【特徴】 ○持手の使用角度20度、45度、90度の3点より本体部を選択 ○対応インチのガイドリングを変えれば2～12インチまで使用可能 ○本体部導電性ナイロン樹脂の採用により軽量化 ○両面にパターン印刷があり、50µmの薄く取扱いの難しいウエハーに対応 ○角型など対象物に合せた特注設計品にも対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
繰返し精度2μの精密仕上げ！ウェッジ方式の据置型エアチャック
『NPC-4FS-31』は、ウェッジ方式の据置型エアチャックです。 爪ストロークφ1mm、繰返し精度2μの精密仕上げ。 加工用、搬送用のほか精度を要する測定用に適しています。 当社のエアチャックは、パーツの一点一点を、丁寧にハンドラッピングで 仕上げ、組立てることで高精度と耐久性を実現いたしました。 【特長】 ■据置型 ■ウェッジ方式：4inch / 3fingers ■繰返し精度2μの精密仕上げ ■爪ストロークφ1mm ■加工用・搬送用など精度を要する測定用に好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
幅1.4ｍｍｘ長さ55ｍｍの極細・長尺ワークを 非接触にて搬送するベルヌーイチャック
超細・長尺ワ－クを非接触吸引するため新方式： 気体垂直噴流方式（VGF方式)を採用。 ベルヌーイチャック「フロートチャックSA-CL型」シリーズは極細・長尺ワ－クを効率良く吸引するため新しく気体垂直噴流方式（VGFS)を採用しております。 気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることにより、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。
クリーン度の維持に貢献！半導体製造装置やディスプレイ製造装置等に採用されています
『ポリイミド静電チャック』は、摩耗によるパーティクルの発生が少なく、 可動部が無いことから、クリーン度の維持に貢献します。 薄い製品や変形しやすい製品に、ストレスを与えずに把持することができ、 ウェハやガラスなどの搬送用に使用する場合、1W以下の電力で使用可能。 また、把持力は大気中だけでなく、真空中でも発現します。 大気と真空プロセスを併用する設備でもご採用頂いております。 【特長】 ■クリーンデバイス ■低ダメージ ■真空下でも使用可能 ■低消費電力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
お客様のニーズに合わせてご提案できる多彩な大型搬送用グリッパーをご用意しております
近藤製作所では『大型搬送用ハンド＆チャック』を取り扱っております。 ダイレクトドライブ方式の採用により、高把持力とロングストロークを 実現した大把持力軽量ハンド「HHCシリーズ／HHDシリーズ」をはじめ、 高さを低くおさえた省スペース設計の大把持力軽量チャック 「CKTシリーズ／CKUシリーズ」などを各種ラインアップ。 お客様のニーズに合わせてご提案が可能です。 【ラインアップ(一部)】 ■大把持力軽量ハンド HHCシリーズ／HHDシリーズ ■防塵・防水対応大把持力ハンド HHEシリーズ ■大把持力軽量チャック CKTシリーズ／CKUシリーズ ■薄型ロングストロークチャック CKJシリーズ ■薄型ロングストロークハンド(二方爪仕様) CKJBシリーズ など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適しています
反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハや薄物ウェーハの搬送に適しています。 チャック本体は高純度アルミナセラミックスを使用し、ワーク吸着面のみに多孔質セラミックスを使用しています。 平均細孔径20μmの気孔径を有している為、従来の吸着面に1.5mm程度の溝を掘って吸着するチャックと比較し、溝部分に集中する吸着圧力を分散させる事ができ、薄物のワークなどの変形をおさえて吸着する事が可能です。 メッシュ粒径はグレード＃100、＃220、＃400から選択可能です。 ワーク吸着面に導電性テフロンコーティング処理も可能です。
チャッキング毎に芯出し不要！搬送用にも便利なエアチャック
『NPC-2SS-25』は、ウェッジ方式の角型エアチャックです。 少ないスペースに多数個並べて組立等に使用可能。 搬送用にも便利です。 当社のエアチャックは、パーツの一点一点を、丁寧にハンドラッピングで 仕上げ、組立てることで高精度と耐久性を実現いたしました。 【特長】 ■角型 ■ウェッジ方式：2fingers ■エアポート位置：側面2ヶ所 ■外形50mm×30mmの角型 ■省スペース ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャック。
反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックです。 弊社の大気環境用搬送ロボットであればどのタイプのロボットにも搭載可能です。 サンプルウェーハによる検証を行い、お客様の任意の形状で各種サイズ、反り量、ウェーハ厚みに対応した設計を行います。 基板に対してベルヌーイの力でワークを吸引します。 搬送時のズレを防止する為にフリクションゴムの摩擦力で保持します。 チャック側の面は接触をしますが、ウェーハサイズが異なる場合に兼用（※組合せにより、できない場合があります）することができ、非接触タイプと比較してチャックの厚みを薄く作ることが可能です。 吸引がベルヌーイの為、真空吸着チャックよりも広いエリアに力がかかり、薄物ウェーハに有効です。
反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャックです。
反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックです。 弊社の大気環境用搬送ロボットであればどのタイプのロボットにも搭載可能です。 サンプルウェーハによる検証を行い、お客様の任意の形状で各種サイズ、反り量、ウェーハ厚みに対応した設計を行います。 基板に対してベルヌーイの力でワークを引きつけます。 搬送時のズレを防止する為にエッジ部のガイドでズレを制限します。 エッジ以外は接触をしないで浮上しています。 ひとつのチャックでひとつのサイズのウェーハとなります。 引きつける力がベルヌーイの為、真空吸着チャックよりも広いエリアに力がかかり、薄物ウェーハに有効です。 また、表裏の両面に対して非接触となるので、接触ができないウェーハに対しても有効です。
搬送用、組立用等に使用可能！省スペースを実現するコンパクト設計のエアチャック
『NPC-2RS-F22N/25N/F25N』は、ウェッジ方式のロボット対応据置型 エアチャックです。 角物ワークに好適。 搬送用、組立用等に使用できます。 当社のエアチャックは、パーツの一点一点を、丁寧にハンドラッピングで 仕上げ、組立てることで高精度と耐久性を実現いたしました。 【特長】 ■ロボット対応据置型 ■ウェッジ方式：2inch / 2fingers ■エアポート位置：側面2ヶ所 ■爪ストローク（2φmm/5φmm) ■鉄製：繰返し精度2μ。アルミ製：繰返し精度10μ。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ソーラーリサーチ研究所の垂直気体噴流方式の非接触チャック
ソーラーリサーチ研究所の垂直気体噴流方式の「非接触チャック」は、空気をガラス基板に向かって噴出することにより、ガラス基板を空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。 ●多種多様のワークに対応 ユーザーの業種は、半導体、FPD、偏光板、フィルム、光学、エレクロニクス、紙、繊維と多方面にわたり、納入実績は数百件に達している。 ワークの大きさは数mm角チップ/レンズから数m角ガラス、厚さも数μmのものもある。性状も反りのある ウエハ、スルーホール、通気性、柔軟性のあるワーク、表面塗布したワークと多種多様である。
浮く、止める、運ぶ！静電気防止材料として極薄基板等ワークの防汚課題を解決します
『エアロフィックス』は、独自のセラミックス焼結技術により、従来の スルーホールタイプ真空チャックの課題を解決する、真空チャックです。 ウェット、ドライ環境、さまざまなワークサイズに対応。ワークごとに形式や サイズを取り揃える必要がなく、コスト低減と作業効率向上を実現します。 静電気を帯電・放電せず除電するため「イオナイザー」などの追加設備も 不要で、精密製品ワークにも安心です。 【特長】 ■静電気防止材料として極薄基板等ワークの防汚課題を解決 ■部分吸着可能な為さまざまなワークサイズがこれ1台で対応できる ■ワークの汚染リスクを低減し非接触浮上搬送を実現 ■高性能・高精度な均一吸着力で、デリケートな薄物ワークに適する ■省スペースを実現するサクションロール ■既存装置に“ポン”と置くだけなので簡便＆コストダウン ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ワークの大きさ・形状を問わない！部分的に吸着できるチャック
チャック「ファインポーラスチャック」は、ワークの大きさ・形状を問わず部分的に吸着できます。 半導体製造装置・半導体各種検査用に最適です。 形状、寸法、ボディ材質等その他仕様につきましてはご相談に応じて対応いたします。 【特徴】 ○従来品のポーラスに比べて、緻密なポーラスを使用 ○エアーの漏れが起きづらいので、部分的な吸着でも固定力が落ちない ○アルミナセラミック素材のポーラスのため、 従来通り高精度加工の対応が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
薄型化するウェハー、ガラス基板、金属箔、フィルムなどの搬送に最適！従来の真空吸着式の持つ対象物への局所ストレスを解消！
『ソフトパーム』は、クーロン力にて対象物を接触吸着し、ハンドリング するハンディタイプの静電チャックです。本製品は面吸着のため、薄い部材に対して局所的ストレスがかからないのが最大の特長です。また、電池駆動（充電可）のコードレスタイプと、専用コントローラー駆動セミコードレスタイプがございます。 【特長】 ■コードレスの為どこでも携帯可能 ■凸凹面のある対象物も吸着可能 ■電位は最小に抑えられる為、裏面のゴミ吸着はなし ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
導電性新素材ガラス状カーボン！発塵がほとんどないチャック
「カーボンポーラスチャック」は、導電性を持っているので帯電しにくいチャックです。 100％ガラス状カーボンという特殊素材で構成するポーラスなので、 発塵がほとんどなく、吸着面が滑らか。 耐腐食性・耐熱性に優れていて、吸着ワークへの傷がつきにくいです。 【特徴】 ○導電性（固有抵抗 2.4×10^-2[Ω・m]） ○腐食性ガス及び液体に対する耐腐食性、耐熱性に優れている ○ガラス状カーボンを使用しているため、黒鉛のような色写りがない 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
