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革生地・スポンジなどの搬送、製品縫製時の布生地折り畳みなどの用途にお使いいただけます！
『マルチマテリアル静電チャック』は、繊維素材など様々な対象物を吸着、 把持することができます。 バキュームでは吸着できない布生地を吸着し、静電気が発生しにくい綿などの 布生地も吸着可能。 また、全面吸着であるため、布生地吸着時にシワができにくいです。 【特長】 ■繊維素材など様々な対象物を吸着、把持 ■バキュームでは吸着できない布生地を吸着 ■静電気が発生しにくい綿などの布生地を吸着 ■全面吸着であるため、布生地吸着時にシワができにくい ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
クリーン度の維持に貢献！半導体製造装置やディスプレイ製造装置等に採用されています
『ポリイミド静電チャック』は、摩耗によるパーティクルの発生が少なく、 可動部が無いことから、クリーン度の維持に貢献します。 薄い製品や変形しやすい製品に、ストレスを与えずに把持することができ、 ウェハやガラスなどの搬送用に使用する場合、1W以下の電力で使用可能。 また、把持力は大気中だけでなく、真空中でも発現します。 大気と真空プロセスを併用する設備でもご採用頂いております。 【特長】 ■クリーンデバイス ■低ダメージ ■真空下でも使用可能 ■低消費電力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
薄型化するウェハー、ガラス基板、金属箔、フィルムなどの搬送に最適！従来の真空吸着式の持つ対象物への局所ストレスを解消！
『ソフトパーム』は、クーロン力にて対象物を接触吸着し、ハンドリング するハンディタイプの静電チャックです。本製品は面吸着のため、薄い部材に対して局所的ストレスがかからないのが最大の特長です。また、電池駆動（充電可）のコードレスタイプと、専用コントローラー駆動セミコードレスタイプがございます。 【特長】 ■コードレスの為どこでも携帯可能 ■凸凹面のある対象物も吸着可能 ■電位は最小に抑えられる為、裏面のゴミ吸着はなし ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
