静電チャックとは、静電気の力で被加工物を固定する装置です。半導体製造や真空装置で使用され、機械的なクランプを必要としません。微細な位置決めや平坦保持が可能で、繰り返し使用できます。電極構造や材質によって吸着力が異なります。
1～4 件を表示 ／ 全 4 件
クリーン度の維持に貢献！半導体製造装置やディスプレイ製造装置等に採用されています
『ポリイミド静電チャック』は、摩耗によるパーティクルの発生が少なく、 可動部が無いことから、クリーン度の維持に貢献します。 薄い製品や変形しやすい製品に、ストレスを与えずに把持することができ、 ウェハやガラスなどの搬送用に使用する場合、1W以下の電力で使用可能。 また、把持力は大気中だけでなく、真空中でも発現します。 大気と真空プロセスを併用する設備でもご採用頂いております。 【特長】 ■クリーンデバイス ■低ダメージ ■真空下でも使用可能 ■低消費電力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
静電チャック×協働ロボット「DOBOT」
【無料お見積もり受付中・お試し操作体験が可能！】 弊社は協働ロボットグローバルブランド「DOBOT Robotics」の国内正規代理店です。DOBOTは、教育から産業、商業まで幅広い分野で活用されており、特に使いやすさ・安全性・コストパフォーマンスに優れた協働ロボットとして世界中で注目されています。ロボット単体はもちろん、弊社静電チャックや搬送ツールと組合わせたセットでの販売をおこなっております。株式会社クリエイティブテクノロジーでは、様々なワーク搬送に対して豊富な知識と取り扱い実績がございます。初めて自動化をご検討する場合も、ご要望にあわせたグリッパーのご紹介が可能です。
くっつける技術、制御する技術、モニタリングする技術を開発！設計から製造まで一貫対応
クリエイティブテクノロジーは、「くっつける技術」で未来を創る会社です。 半導体製造装置の部品メーカーとして、静電チャックをはじめ、ヒーターや ウェハステージまで、設計から製造まで一貫して対応。 その技術の一部は、半導体業界だけでなく、ガラスやフィルムの搬送用途 などに応用され、FPD業界などその他の産業でも注目されています。 さまざまな可能性のある当社の技術を、どうぞ幅広くご用命ください。 【主な事業内容】 ■静電チャックおよび周辺技術の開発・製造・販売 ■その他吸着搬送機器の開発・製造・販売 ■静電チャック用電源およびセンサーの開発・製造・販売 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
薄型化するウェハー、ガラス基板、金属箔、フィルムなどの搬送に最適！従来の真空吸着式の持つ対象物への局所ストレスを解消！
『ソフトパーム』は、クーロン力にて対象物を接触吸着し、ハンドリング するハンディタイプの静電チャックです。本製品は面吸着のため、薄い部材に対して局所的ストレスがかからないのが最大の特長です。また、電池駆動（充電可）のコードレスタイプと、専用コントローラー駆動セミコードレスタイプがございます。 【特長】 ■コードレスの為どこでも携帯可能 ■凸凹面のある対象物も吸着可能 ■電位は最小に抑えられる為、裏面のゴミ吸着はなし ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
