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チラーとは、水や冷媒を循環させて機械や設備を冷却する装置です。工場では射出成形機やレーザー装置などの熱を取り除く目的で使用されます。冷水を一定温度で保つことで製品品質を安定させ、設備の過熱を防ぎます。空調設備としても利用され、エネルギー効率の高い温度管理を実現します。
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半導体製造工程のプラズマエッチングに最適！消費電力最大93％削減！騒音・振動も防止！
『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。 【特長】 ■消費電力を最大93％削減 ■冷却水使用量を最大60％削減 ■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計 ■騒音・振動を低減 ■19インチラックに収まるサイズで省スペース
フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適！消費電力最大60％削減！騒音・振動も防止！
『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー です。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 主要エッチャーメーカーの製品に対応！ 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。 【特長】 ■消費電力を最大60％削減 ■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計 ■騒音・振動を低減
コンパクト！低騒音・低振動・正確な温度コントロール！環コストパフォーマンスに優れたペルチェ冷却チラ-
冷却能力最大290WのTCubeEdgeはすぐれた温度信頼性であなたの機器のパフォーマンスを最適化して高い採算性をもたらします。TCubeEdgeは循環水の温度変化に素早く応答して0℃～65℃の温度コントロールにおいて室温付近でさえも±0.05℃の再現性を実現します。スムーズなフローを実現するCentrifugalポンプは動作時の振動がなく、レーザー、光学、分析装置の様々なアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。 200,000時間を越える寿命の電子温調モジュールを内部しているTCubeEdgeはコンプレッサーを用いず稼働部品もほとんどないため騒音・振動が極めて少ないです。フロンを用いないので環境に優しい製品です。
バイオプロセッシングにおけるシングルユースに最適なチラーです。
近年、バイオプロセッシングにおけるリスクの低減と業務の効率化を図るためにシングルユース技術の導入が急速に進んでいます。バイオ医薬品の製造において，従来のステンレス製培養槽に代わりプラスチック製の培養バッグが用いられるます。この新技術を活用することにより，定置洗浄・滅菌作業の省略，多品目製造への迅速な対応，高薬理活性医薬品製造におけるコンタミネーションの防止等，バイオ医薬品製造の効率化等が期待されます。
半導体製造装置向けに設計されたチラーです。
半導体製造プロセスで使用される多くの装置には発生する熱を除去、 一定温度を保つために冷却装置（チラー）が必要とされます。 ThermoFisherScientific社半導体製造用チラーは ・高い生産性 ・長期にわたる信頼性 ・操作ミスを誘発しない簡易な操作性 が提供出来るようデザインされており、各社装置メーカー仕様に 設計されたOEMモデルです。
昨今入手困難で貴重なフッ素系溶媒の使用量を抑えることができるチラーです
フッ素系溶媒は、絶縁性が高いため、半導体製造装置や各種測定装置の温調用循環液として広く使用されています。 また、不燃性・不活性で安全性が高いため、クリーンルーム内の装置の冷却にも適しています。 このフッ素系循環液には専用に設計されたチラーがございます。 ＜ペルチェ式チラー＞ ThermoRack1201/1801 ThermoCube NIKOLA3K/5K ＜冷凍機式チラー＞ M-75HFE ・Fluorinert（FC-3283等）、Novec（HFE-7100、HFE-7200等） Galden （HT-200等）、Opteon（SF10等）など多くのフッ素系溶媒に対応できます ・タンク容量・内部配管容量がわずかなので、高価なフッ素系溶媒の使用量をへらすことができ イニシャルコストが抑えられます ・密閉構造で貴重なフッ素系溶媒が蒸発しにくいのでランニングコストを抑えることができます ・ペルチェ式チラーモデルは密閉性が高く結露による水分の混入がありません。IPAなどの溶媒で脱水ができないフッ素系溶媒にも好適です
オリオン機械/チラー。最大57％の省エネ制御を実現。
■最大57％の省エネ制御を実現 負荷に応じた最小エネルギーでの運転が可能。※負荷30％でHB制御と比較した場合 ■独自技術による高精度な液温度制御が可能 液温検知による圧縮機回転数制御により設定温度±0.2～±1.0℃の制御を実現。※負荷条件により変動しますので、高精度が必要な場合はご相談ください。 ■広範囲な液温度制御が可能 15～30℃の範囲で液温設定が任意に可能。 ■外部通信機能を標準装備 RS232C・RS422による温度コントロールが可能。※RKE30000A-V・30000A-VWを除く
オリオン機械/チラー。インバータドライバと専用コントローラにより、業界トップクラスの省エネを実現！
■冷凍機スピードコントロール DCインバータドライバが最適運転の自動判断。 ■ファンスピードコントロール インバータによる最適運転の自動判断。 ■ポンプスピードコントロール 必要な流量の最小回転数、無駄な送水を抑える。 ■使用周囲温度範囲のワイド化 夏は50℃(オプション選択必要)まで耐えられる過酷条件仕様としました。熱風のたまりやすい工場内でも最大のパフォーマンスを発揮します。さらに、冬は-20℃までOK(空冷のみ)となりましたので、寒いエリアでも安心して屋外設置が可能です。 ■仕様温度範囲(液温)ワイド化 仕様温度範囲(液温)を3℃～35℃と低温域をさらに広げました。※不凍液を使用することで0℃まで使用できます。 ■ポンプもインバータ化 冷凍回路だけでなく、送水回路でも省エネに貢献します。パイパスバルブを調整しなくても、インバータで必要な流量だけ流すので無駄がなくなりました。また、用途に応じた圧力設定も可能になりました。 ■便利な機能いろいろ 温度精度±0.1℃、ポンプ制御方法選択可能、インテリジェントタッチパネル、省スペース、防滴構造 (IPX4相当)、静音設計。
オリオン機械/チラー。外気を最大限に活用。年間消費電力の大幅な節電を実現。
■自然のエネルギーを最大限利用し、大幅な省エネを実現。 冬季は、外気温が低いのでフリークーリングのみで冷却を行います。外気温とエコハイブリッドの出口水温が同程度の中間期は、フリークーリングがメインで冷却を行い、フリークーリングの冷却の能力が不足した場合にはチラーが冷却を補います。フリークーリングを積極的に活用することで、消費電力を抑えることができるので省エネになります。 ■モジュールチラーとして、最大10連結(150HP)まで設置が可能。 水槽の均圧管構造採用により、連結設置を可能にしました(現地施工による均圧管が必要です。詳細はご相談ください。)。お客様の負荷が増えても37kW※単位で増設が可能。最小限の費用で増設ができます※定格冷却能力。 ■使用周囲温度範囲を-20～45℃に拡大。 フリークーリングによる冷却にブライン間接冷却方式を採用し、より寒い地域でも使えるようになりました。 ■液温設定範囲は5～35℃ 幅広い用途にお使いいただけます。 ■カチオン電着塗装を採用 ファンクーラー用熱交換器は、カチオン電着塗装を施し、耐食性を向上しています。外装は紛体塗装で耐食性を向上しています。
省エネの追求と高精度温度制御 ハイスペックモデルのチラー
☑30%以上の省エネと圧縮機回転制御方式で温度制御精度±0.1℃の高精度制御を両立（当社従来機比） ・省エネ・高精度という相反する技術を両立 ・最大65%の省エネが可能 ・高精度制御±0.1℃※を実現（※負荷及び周囲温度安定時。） ・ワイドレンジを実現 ・操作プレートを斜めに配置し、操作性及び視野性をUP ・水槽を上部に配置し、給水や水槽内の水質確認・清掃が非常に簡単 ・凝縮器用ダストフィルターも容易にワンタッチで脱着可能（空冷のみ）
タンクに配管接続するだけ！ 配管ユニットをアクセサリーで用意、配管工事が更にスピーディーに
・クーラント液温を設定温度 ±0.5℃ でコントロール、加工精度アップに貢献 ・DC モータ・インバータ制御で省エネ運転、クーラント液の蒸発ロスを半減 ・バクテリア繁殖抑制、腐敗・悪臭軽減、作業環境改善 ・循環式でタンクが浅くても簡単に設置ができる ・DCインバータ制御で省エネ 高精度制御を実現 ・冷却器の分解洗浄が容易な構造
フッ素系熱媒体専用、広い温度範囲-60℃～+40℃が幅広い使用温度範囲の超低温用チラーです。
【特徴】 ■-60℃から+40℃の幅広い使用温度範囲。 ■超低温下でも安定した冷却性能。 ■密閉回路向け、フッ素系熱媒体専用。 ■液漏れのないマグネットタイプのシールレスポンプを使用。 ■インバーター制御
コンパクトチラー
１００V仕様の小型急速冷水装置です。 5面冷却の為効率が良く安定した冷水が作れます。 槽内有効寸法５２０×５２０×H２６５mm外形寸法は７５０×７５０×H８００mmの大変コンパクトな冷却装置です。 冷凍機も機器内臓型でキャスター付の為移動や設置も楽々です。また断熱蓋には操作盤が付いて全てが一つにまとまった装置です。 水は循環式の為、節水にも貢献します。
高性能で簡素化・省エネルギーを実現した タンク付空冷式チラー
幅広い温度制御帯 高性能で簡素化・省エネルギーを実現した タンク付空冷式チラー 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
冷却水温度の安定供給により生産性が向上！冷却水温度管理に好適です。
当製品は、様々な冷却ニーズに対応するパッケージタイプです。 冷却水温度の安定供給により生産性が向上します。 また、種加工機械・試験機・成形機などの冷却水温度管理に好適です。 当社では、水冷式・空冷式の小型から大型機まで豊富な機種を ご用意しております。新冷媒を仕様しているので環境保護に役立ちます。 【特長】 ■様々なニーズ対応するパッケージ式チラーシリーズ ■環境にやさしい新冷媒R407Cを採用 ■サイクルタイムの短縮 ■メンテ機能を考慮しコンデンサーにシェル＆チューブ採用 ■4系統マニホールド標準装備 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
ノンフロンで30℃まで冷却可能なコンパクト・エネルギー効率抜群の外部循環型チラー冷却水循環装置RC2green シリーズ
コンパクトな冷却水循環装置RC2シリーズは、高いエネルギー効率、静音、更にノンフロンで30℃まで冷却可能なコンパクト・エネルギー効率抜群の外部循環型チラー。800Wの冷却能力を発揮します。 速度制御されたPEEKポンプにより、間接的に連続した最大圧力と最大流量の調整が可能になりました。統合された充填用ファンネルとドレインバルブにより、熱流体を安全でクリーンに取り扱えます。定期的な洗浄により、ステンレス製のメッシュエアフィルターは一貫した性能を保証します。 ■冷却能力800W（＠20℃）の高効率冷却ユニット ■自然冷媒R290使用（ノンフロン） ■速度制御されたPEEKポンプ（0.5bar、21L/min） ■デジタルレベルインジケーター ■大きなLEDディスプレイ ■光学的及び音響的警告機能 ■お手入れが簡単なステンレス製メッシュフィルター ■高品質の断熱4Lバスリザーバー（最小1.5L)使用できます。
素早いポンプダウンと膜質の向上にお役に立ちます
素早い冷却、素早い昇温 蒸着装置の水分を効果的に取り除くことは、真空蒸着にとって必須の課題です。TELEMARKのクライオチラーシリーズは最新の技術進歩を取り入れたクライオチラーです。
トータルコストが大きく違う！施設やビル建設での重量設計を大きく変えるコンセプトともなります
『BLACKBOX』は、小型・軽量のため現場でのハンドリングに非常に有利な コンパクトな水熱源ヒートポンプ（水冷チラー）です。 内部では故障を徹底的に避ける設計思想のもと、四方弁を排除して冷水、 温水出力は切替無し（必要に応じて配管側で制御）。 現場の費用を極力抑えるために、冷媒ガス経路は最小とし、冷凍機を 知らない設備工事会社様でも設置が容易にできます。 【特長】 ■必要な部品点数、サイズ、重量、運転安定度が大きく違う ■すべての現場コストが削減でき、トータルコストが大きく違う ■建築設計の重量負荷軽減に ■極小スペースに好適なサイズ ■複数設置が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
省エネ・高効率のインバーターチラーです
１．省エネ実現（高効率ＤＣブラシレスインバーター圧縮機搭載により年間消費電力を約30％低減が可能です）。 ２．精密温度制御＆変更負荷への高い追従性（負荷安定時では、設定水温±0.1℃内での安定した冷水供給が加納です。高性能インバーター制御で20％〜100％負荷まで運転継続可能です）。 ３．幅広い冷水供給温度（チラー出口水温で3℃〜30℃の幅広い範囲で安定供給が可能です。周囲温度−5℃〜43℃で年間を通じて運転が可能です）。 ４．シンプルなシステムと省コスト＆高信頼性。 ５．密着連続設置による省スペース化実現。
省エネと精密温度制御を追求したエコチラー
チラー「空冷式インバーターエコチラー」は高効率DCブラシレスインバーター圧縮機搭載により年間消費電力を約30％低減が可能です。(CO2排出量約30％低減)負荷安定時では、設定水温±0.1℃内での安定した冷水供給が可能です。チラー出口水温で3℃～30℃の幅広い範囲で安定供給が可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
省エネと精密温度制御を追求した水冷式エコチラー
チラー「水冷式インバーターエコチラー」は高効率DCブラシレスインバーター圧縮機搭載により年間消費電力を約50％低減が可能です。(CO2排出量約50％低減)負荷安定時では、設定水温±0.1℃内での安定した冷水供給が可能です。チラー出口水温で3℃～30℃の幅広い範囲で安定供給が可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
-10℃～10℃の幅広い範囲で安定供給。省エネと精密温度制御を追求した水冷式ブラインエコチラー
水冷式ブラインインバーターエコチラーは、チラー出口水温で-10℃～10℃の幅広い範囲で安定供給が可能です。 高効率DCブラシレスインバーター圧縮機搭載により年間消費電力を約50％節約できます。(CO2排出量約50％低減） また、負荷安定時では、設定水温±0.1℃内での安定した冷水供給が可能です。 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
低GWP冷媒チラー『RJ-XA型』
当社で取り扱っている半導体製造装置向けチラー『RJ-XA型』に ついてご紹介いたします。 グローバルな環境規制に対応した低GWP冷媒(R513A)を採用。 インバーター制御による消費電力の削減をはかれます。 また、オプション仕様として、接液部に銅・真鍮素材を使用していない 仕様も備えており、腐食によるリスクを低減できます。 【特長】 ■低GWP冷媒R513A採用(GWP＝629) ■精密温度制御 ■省エネ ■省スペース ■銅・真鍮素材レス(オプション) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
省エネ・省スペース・省工事、限られたスペースにも設置可能！大容量モジュールチラー
『DT-RIII』は、冷房運転時の吸込温度を上限52℃まで拡大することが できる空冷式ヒートポンプチラーです。 ヘッダー内蔵タイプ・ポンプ内蔵タイプ・ポンプレスタイプをラインアップ しており、設計・施工方法にあわせて選択が可能。 また、高効率・大容量に加えて、低騒音性。設置環境によっては、騒音対策を 簡易化することも可能です。 【特長】 ■冷房運転時の吸込温度を上限52℃まで拡大 ■R32冷媒採用・冷媒封入量削減により、環境負荷を大幅低減 ■新型圧縮機搭載により、トップクラスの冷却COPを実現 ■空気側熱交換器の塩害耐力性アップ ■ヘッダー内蔵タイプ・ポンプ内蔵タイプ・ポンプレスタイプをラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
お客様が潜在的に求める仕様や価格を、3モデルのチラーにより対応！
当カタログでは、「小型水槽付チラー」の3モデルをご紹介しております。 省エネ・高精度温度制御・高機能のハイスペックモデル「RKEシリーズ」を はじめ、ミドルグレードモデル「RKS-JM/RKS-GMシリーズ」、エコノミーモデル 「RKS-Jシリーズ」の仕様表や外形図などを掲載。 また、シリーズ別アプリケーションや搬入据付事前資料もございますので、 製品選定の際に参考にしやすい内容となっております。 【掲載内容(一部)】 ■選べるオリオン小型水槽付チラー ■シリーズ別アプリケーション ■RKEシリーズ ■RKS-JMシリーズ ■RKS-GMシリーズ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
浸漬式ポンプ(メカニカルシールレス)を採用！チラーの運転状況を1画面で把握可能
『HRS400 Series』は、スタンダードタイプのサーモチラーです。 空冷冷凍式で、冷却能力38kW、設定温度範囲は5～35℃。 最高使用周囲温度は45℃で、温度安定性は±0.1℃、 防水構造IPX4となっております。 また、タッチパネル採用により、設定・操作・視認性が 向上した製品です。 【仕様(一部)】 ■冷却能力：38kW ■電源 ・3相 380～415V(50Hz/60Hz) ・3相 460～480V(60Hz) ■ 設定温度範囲：5～35℃ ■ 最高使用周囲温度：45℃ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
使用冷媒が無毒かつ不燃性につき空輸制限なし！フロントから循環液の補充が可能
当社で取り扱っている、半導体業界向サーモチラーについて ご紹介いたします。 フロンレス(CO2冷媒)対応で、スリム設計により効率的なチラー 配置が可能。フロン排出抑制法に基づく簡易点検不要です。 また、フロンの回収/廃棄コストも不要です。 【特長】 ■GWP：1 ■空輸可能 ■フットプリント21％削減 ■作業性向上 ■フロン管理工数ゼロ ■フロン回収＆廃棄コストゼロ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
省エネ・省スペース・省工事！限られたスペースにも設置可能な大容量モジュールチラー
当カタログでは、R32冷媒対応の空冷式ヒートポンプチラー「DT-RIII」 をご紹介しております。 ヒートポンプ・冷房専用をご用意しており、「40/50/60/70馬力」をはじめ 「80馬力」「クールタフネス仕様」「加熱強化仕様」「散水仕様」を ラインアップ。 参考になる一冊ですので、ぜひご一読ください。 【掲載製品】 ■40/50/60/70馬力 ■80馬力(冷房専用のみ) ■クールタフネス仕様(60馬力冷房専用のみ) ■加熱強化仕様(40・50・60馬力ヒートポンプのみ) ■散水仕様(全馬力対応) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
![[チラ―]効率と省エネを追求した ESL-60シリーズ](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/506/2000002884/IPROS8738842573397075905.jpg?w=280&h=280)
「効率」と「節約」を合わせて追求した新しい温度管理システム
ATSジャパン株式会社より、エネルギー効率と省エネを合わせて追求したマルチチャンネルチラー「ESLシリーズ」のご案内です。 ■ホットガスバイパスにより、エネルギー効率に優れたモデル ■デュアルチャンネルモデルは1チャンバーを1台で！ ■幅450mmのスリムボディ ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に導入実績があります。これまでの数千台の導入実績に基づき、食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカスタマイズが可能です。ご利用環境、用途に応じた最適なソリューションをご提案させていただきます。まずはお気軽にお問い合わせください。
![[チラー]モジュール式チラー M-Pakシリーズ](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/fce/2000002889/IPROS8941791701173579306.jpg?w=280&h=280)
-70℃～+200℃まで幅広い温度管理を実現可能なチラ―！
ATSジャパン株式会社より、マルチチャンネルチラー「ENシリーズ」のご案内です。 ■最大4種類のモジュールの組み合わせが可能（-70℃～+200℃） ■各種循環液に対応可能 ■各種インターフェースに対応 ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に導入実績があります。これまでの数千台の導入実績に基づき、食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカスタマイズが可能です。ご利用環境、用途に応じた最適なソリューションをご提案させていただきます。まずはお気軽にお問い合わせください。
