超微細加工LIGAプロセスによるメタルパーツ,ポリマーパーツ
アスペクト比100も可能。高精度・高アスペクト比のマイクロパーツ,サブマイクロパーツを提供。X線光学分野の応用多数。
LIGAプロセスは,高アスペクト比を持つ微細構造製造のための複合プロセスです。 X線リソグラフィと電鋳により,金属やポリマーの微細構造体を高精度,高アスペクト比(100程度),滑らかな側壁(<50 nm),自由な横方向形状を持つメタル構造,レジスト構造を実現します。 応用例 ・タルボ干渉計向けのX線回折格子 (日本を含め世界各国の研究所,産業界に導入) ・X線集光レンズ (放射光施設向け,単色光の集光レンズ) ・マイクロギア ・ハニカムメッシュ構造 ・微細貫通孔構造 (X線を始めとしたビームのアパーチャとして使用)
- 企業:株式会社ASICON
- 価格:応相談