【半導体製造向け】手で曲げられる1.6mm細径シースヒータ
設計自由自在!局所加熱に最適な細径シースヒータ
半導体製造装置の分野では、精密な温度管理が求められる場面が多く、特に局所的な加熱が必要とされる箇所では、 高い制御性と柔軟な設置性が重要となります。不適切な加熱は、製品の歩留まり低下や装置の性能に影響を与える可能性があります。 当社の細径シースヒータは、φ1.6mmからの細径と優れた手曲げ性により、複雑な装置設計や限られたスペースへの設置に対応し、 必要な箇所へ的確な加熱を実現します。 【活用シーン】 ・真空装置内の特定箇所の加熱 ・分析計測機器におけるセンサー部の温度維持 ・半導体製造プロセスにおける局所的な温度制御 【導入の効果】 ・装置設計の自由度向上 ・精密な温度分布制御による歩留まり向上 ・真空導入ポートの冷却工程の簡略化
- 企業:株式会社岡崎製作所
- 価格:応相談