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【半導体製造向け】手で曲げられる1.6mm細径シースヒータ

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最終更新日:2026年06月05日

株式会社岡崎製作所
株式会社岡崎製作所
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設計自由自在!局所加熱に最適な細径シースヒータ

半導体製造装置の分野では、精密な温度管理が求められる場面が多く、特に局所的な加熱が必要とされる箇所では、 高い制御性と柔軟な設置性が重要となります。不適切な加熱は、製品の歩留まり低下や装置の性能に影響を与える可能性があります。 当社の細径シースヒータは、φ1.6mmからの細径と優れた手曲げ性により、複雑な装置設計や限られたスペースへの設置に対応し、 必要な箇所へ的確な加熱を実現します。 【活用シーン】 ・真空装置内の特定箇所の加熱 ・分析計測機器におけるセンサー部の温度維持 ・半導体製造プロセスにおける局所的な温度制御 【導入の効果】 ・装置設計の自由度向上 ・精密な温度分布制御による歩留まり向上 ・真空導入ポートの冷却工程の簡略化

    その他ヒータ
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【半導体製造向け】手で曲げられる1.6mm細径シースヒータ

細径シースヒータ完成版.png
細径シースヒータ完成版.png
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基本情報

【特長】 ■発熱部がコイル状のため、ピッチ変更により温度分布を調整可能 ■低発熱部を設けることで、真空導入ポートの冷却が不要に ■外径が細く、複雑な曲げ加工が容易で、小さな被加熱物にも取付可能 ■複雑な形状でも均一な温度分布を実現 ■多様化するお客様のニーズに対応 【当社の強み】 株式会社岡崎製作所は、1954年の設立以来、温度測定と熱に関する製品を追求してきた専門メーカーです。長年の経験と技術に基づき、お客様の高度化する要求に応える「温度と熱の分野で世界をリードするオンリーワンの企業」を目指しています。温度センサ、工業用電気ヒーター、計測・制御・電熱用無機絶縁(MI)ケーブルの製造・販売を通じて、産業の発展に貢献しています。

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【用途】 ■燃料電池・真空装置・分析計測機器等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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細径シースヒータ MICROPAK HEATER

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株式会社岡崎製作所は、1954年に設立された温度測定と熱に関する製品の総合メーカです。温度を知り、熱を発生させることは、古くから人類の歴史に深く密着しており、現在に受け継がれています。この大切な温度と熱を徹底的に追及し、身近な暮らしの中にある自動車や食品、薬品、繊維等の分野から鉄鋼、電力、ロケットに至るまで、当社の製品は内外を問わず産業の発展と社会の進歩に多大な貢献をしています。 これからも、この基本方針を変えることなく、お客様の立場に立ち、かつ益々高度化していく製品の機能、用途に対する要求に応えていきます。 「温度と熱の分野で世界をリードするオンリーワンの企業」それが岡崎製作所です。

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