太陽電池製造工程向け真空フィルタカタログ
高効率濾過!99.97% @0.3ミクロンを実現
単/多結晶半導体素材、薄膜製造工程及び積層工程に使用される 真空装置における寿命と信頼性にとって不可欠な 有害粒子の除去に最適な真空フィルタです。
- 企業:ソルバーグ・インターナショナル・ジャパン株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2026年06月10日~2026年07月07日
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高効率濾過!99.97% @0.3ミクロンを実現
単/多結晶半導体素材、薄膜製造工程及び積層工程に使用される 真空装置における寿命と信頼性にとって不可欠な 有害粒子の除去に最適な真空フィルタです。
可能性の発見
1968年以来、ソルバーグ社はお客様のニーズに合った各種空気/ガス/オイルミスト用のフィルタを供給してまいりました。 空気圧縮機、ブロワ、真空ポンプ等の各種フィルタ及びオイルミストセパレータを豊富に取り揃えております。当社のフィルタはあらゆる用途に対応いたします。
中型、PN10パターンフランジ
L型フィルタ(側面入口、下部出口構造はエレメントの交換が簡単)は多流量で圧力損失が小さく、ろ過精度が高い設計となっています。また装置の性能を最大限に発揮させる真空気密構造となっています。
大型、PN10パターンフランジ
L型フィルタ(側面入口、下部出口構造はエレメントの交換が簡単)は多流量で圧力損失が小さく、ろ過精度が高い設計となっています。また装置の性能を最大限に発揮させる真空気密構造となっています。
吸込条件の悪い環境下でのろ過
T型フィルタ(水平型)はエレメントの交換が簡単に行える設計になっています。エレメント交換の際、捕集された微粒子はハウジングの底部に落ちます。
小型コンパクト真空吸込フィルタ
特許を取得した高品質のフィルタエレメント
太陽電池及び半導体向け真空フィルタ
ソルバーグのRXシリーズは、実証された逆洗パルス技術を内蔵しており、メンテナンスの間隔を伸ばして運転時間を延長し、エレメントの交換回数を減らすことにより、メンテナンスコストが大幅に節約できる結果につながります。
バグフィルターの代替えなどに! 粉体の回収及び高付加ラインでの濾過に適しています。
【特長】 ■短期間でのフィルタ目詰まりの解決 ■高価な粉体の回収が可能 ■逆洗パルス効果によるエレメントの長寿命化 ■簡単な取り付けで配管を外すことなくメンテナンスが容易 ※詳しくはカタログをダウンロードまたはお問合せ下さい。
最新の製品設計技術の進歩により、使用している装置に合わせてオイルミスト排気フィルタを選択することができるようになりました。
Solberg R&D Department(Solbergの研究と開発部門)の広範囲にわたる研究の結果、オイルミスト排気フィルタの等級を初めて適切に特定できるようになりました。
PN10パターンフランジ
BIGBOY(ビッグボーイ)フィルタサイレンサ
HockyPuckエレメント(特許)
小型コンパクトフィルタサイレンサ
コンパクトフィルタサイレンサ
吸込時の消音構造としてチューブを吸込口に取り付けたフィルタサイレンサです。
PN10パターンフランジ
BIGBOY(ビッグボーイ)フィルタサイレンサ
MegaBoy(メガボーイ)フィルタサイレンサ
大流量用シングルハウジングフィルタサイレンサは設置スペースを削減し、且つ圧損を低下させます。
複数ハウジング搭載型フィルタサイレンサ
吸入フィルタサイレンサは台形マニホールドベースに取り付けられています。
小型コンパクト型吸込フィルタ
耐候性フード:溶接部分がないので錆びず、また振動によって外れたりしません。
コンパクト型フードなしフィルタ
フードなしエレメントは制約が少ないため、十分な空気流量が確保できます。
SolbergのLQBシリーズはコンパクトな筐体が実現できると同時に、メンテナンスが簡単になります。
典型的なフィルタサイレンサはフィルタハウジング上部の作業エリアを必要とするため、筐体の高さが必要となりコストがアップし、該当ユニットの保守が困難になります。
吸入真空フィルタはシースルーバケットを持っているので、メンテナンス点検が簡単にできます。
フィルタエレメントの条件及びフィルタアセンブリに集められた塵の量を簡単にチェックすることができます。
流量425m3/h以下、FSシリーズ1/8”~1”BSPT
特許取得済み高性能高級フィルタエレメント