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R&Dやニッチプロセスへの対応に特化 量産用装置では困難な少量生産や試作・研究開発のための新型マルチチャンバスパッタリング装置
先端薄膜プロセス開発・少量生産専用の低コスト型マルチチャンバスパッタリング装置。 膜厚制御性に優れた高効率カソードと豊富なオプション機構により幅広い分野に対応 Ｓｉ半導体の電極・配線膜だけでなく、マイクロ磁気デバイスやＭＥＭＳ用の磁性体膜・絶縁膜・保護膜など各種プロセスに実績 蒸着・アニール・ＣＶＤなどの異種プロセス室も装備可能で実績のあるメインフレーム（搬送システム）に各プロセス室を自由に接続できるフルカスタム・オーダーメイド製作が特徴
立体形状部品や外周全面や平板基板の両面、立体形状の成膜に特化した表面処理用多目的スパッタリング装置。タンブラーの内面も成膜OK
樹脂・ガラス・金属等立体形状部品・成形品への表面処理に各種コーティングを効率的に行えるドライ表面処理装置です。金属・セラミックス等各種薄膜を全面に成膜できます。 特徴 ◎立体形状部品への外周全面成膜 ◎特殊機構によるコップ・タンブラー内面コーティング ◎天然由来のドライ親水性コーティング（プラズマ溶岩コーティング） ◎電子基板から樹脂装飾まで幅広い用途に対応
優れた強度と耐候性で屋外の過酷な環境での設置に適応
『OCSシリーズ』は、屋外の自立型アプリケーションに適している 大容量のプラスチック製ボックスです。 -40～+80℃の雰囲気温度下で使用可能で、耐候性、耐衝撃性、 防水性に優れ、様々な外部ストレスから電子機器を恒久的に保護。 ケース厚4mmの高強度な樹脂材料によるIK10相当の優れた耐衝撃性と、 PURシールによるIP保護等級66/68/69相当の防水性を有し、 電子機器を確実に保護します。 【特長】 ■柔軟な組付け ■いたずら防止 ■南京錠やメタルバンドなどを使用していたずらでカバーを 開けられることを防止できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
車載無線部品の通信検査用！大型シールドボックスの製作事例
プロテックのシールドボックス・電波暗箱の製作事例のご紹介です。 車載無線部品の通信検査用の大型シールドボックスです。 サイズは約W1200×D2500×H1400です。 ミリ波レーダー用に製作したシールドボックスの製作事例となります。 詳しくはカタログをご覧いただくか、お問い合わせ下さい。
ハンドル付加と治具内蔵でコンパクトに！シールドボックス製作事例
プロテックのシールドボックス・電波暗箱の製作事例のご紹介です。 ハンドプレスハンドル一体型のシールドボックスです。 RF特性検査と基板機能検査のために製作されたシールドボックスの製作事例です。 ボックス内部に検査治具が内蔵され、外部にはハンドプレス用のレバーが付加されているため、 トータルで小スペース化が図ることが出来ます。 詳しくはカタログをご覧いただくか、お問い合わせ下さい。
窓から検査状態を目視確認できる！シールドボックス製作事例
プロテックのシールドボックス・電波暗箱の製作事例のご紹介です。 無線通信機器の基板検査用のウィンドウタイプのシールドボックスの製作事例です。 内部には通信機器端末の基板を検査するための治具が内蔵されています。 可視ウィンドウにより、検査状態を目視で確認することが出来ます。 詳しくはカタログをご覧いただくか、お問い合わせ下さい。
横方向に渡したバーの上にワークをのせ、遠赤外線を照射しながら搬送します
ワークと搬送装置の接触面を極力小さくしたい場合に最適な方式です
熱風でワークを乾燥させるコンベアです
搬送方式は、メッシュベルト（SUS／樹脂）、チェーンバー搬送、タクト送り、複列等、ニーズに合わせて設計いたします。
コンベアの出入口に、断熱シャッターを装備
熱風を最小限に抑えたい時や、ワークの処理時間が長い場合に最適な方式です。
化合物半導体プロセス用 ICPエッチング装置
RIE-330iPCは、放電形式に誘導結合方式（Inductively Coupled Plasma）を 採用した化合物半導体プロセス用多数枚処理エッチング装置 【特徴】 ○Φ330mmの大型トレーに対応 Φ2インチウェハーなら27枚、Φ2.5インチウェハーなら17枚、 Φ3 インチウェハーなら12枚、Φ4インチウェハーなら7枚、 Φ6インチウェハーなら3枚同時の処理が可能 ○新型のICPソースであるSSTC（Symmetrical Shieled Tornade Coil）電極の 採用により、大面積に対して高い選択比と高精度で均一性に優れた エッチングが可能 ○低バイアス（-100V以下）での低ダメージプロセスが可能 ○基板ステージおよび反応室内壁の温度制御により、安定した条件での エッチングが可能 ○ロードロック室にもターボ分子ポンプを採用し、より安定したプロセスを提供
真空カセット室を備え、プロセス再現性や安定性に優れた本格生産用装置をご紹介
『RIE-800iPC/RIE-400iPC』は、SiCトレンチ形状の25枚連続加工の安定性を 誇るICPエッチング装置です。 高RFパワー(2 kW以上)を効率よく安定して印加可能で、良好な均一性を実現。 また、反応室に直結した排気システムを採用することで、小流量・ 低圧力域から大流量・高圧力域の幅広いプロセスウィンドウを実現しています。 【特長】 <RIE-800iPC> ■最大Φ8”ウエハ対応 ■放電形式に誘導結合プラズマを採用 ■真空カセット室を備えプロセス再現性や安定性に優れる ■ウエハとプラズマ間距離を最適化し、良好な面内均一性を確保 ■TMP(ターボ分子ポンプ)や高周波電源をユニット化し、交換が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
樹脂のボックスから金属のボックスまで取扱いさせて頂いています。
電子基板などをいれる箱をお探しではありませんか？ 一から設計しますと、様々な試験で手間がかかります。 当社では様々なボックスをご用意しております。 樹脂のボックスから金属のボックスまで取扱いさせて頂いています。 また、ご希望のサイズをお聞かせ願えれば、箱の選定もさせて頂きます。 お気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■様々なボックスをご用意 ■樹脂のボックスから金属のボックスまで取扱いアリ ■箱の選定も可能 ■穴あけ加工も対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
CVD装置用ガスボックス
弊社の業務内容としては、 半導体、液晶、太陽電池等製造装置用ガス供給装置の設置・製造や 特殊材料ガス配管工事などです。 【製品事例】 ・高純度ガス供給ユニット製作 ・シリンダーキャビネット製作 ・排気ユニット製作 ・除害ユニット製作 ・クリーン自動溶接配管製作 ・真空配管製作 など様々な製造を行っております。 ※詳細は【資料請求】もしくは、会社案内を【カタログダウンロード】から ダウンロードしてください。
プラント制御をはじめとする様々な制御に最適なスタンドアローン型のコントローラです。
PLCS-2000シリーズは、計装用電流（4～20mA）入力、2系統の電動弁（ボールバルブ／バタフライバルブ）や電磁弁の制御、ポンプ制御用出力、漏水検知回路を備えた、プラントの簡易制御に最適なスタンドアローン型のコントローラです。 パネル前面には日本語表示対応のモノクロ液晶ディスプレイと4つの押しボタンを搭載しており、既に実装されているユーザーインターフェースを使用して、直感的な設定や確認操作が可能です。 本装置は、カスタマイズによる受注生産品となりますので、ファームウェア、入出力仕様、ケース設計、パネルレイアウトなどは、お客さまの仕様に合わせて個別対応いたします。 【主な特長】 電動弁や電磁弁のほか、ACモーターの駆動も可能ですので、プラント制御以外への応用も可能です。 【屋外設置に対応】 樹脂製防水ケースを採用し、長期間の屋外使用に対応。実際に1年を超える連続運転の実績があります。
人の目をく引くユニークで優雅なデザインの消火器箱
〔1〕そのフォルムはホテルやリゾート、商店街、空港、病院などに優雅で 近代的な デザインを提供します。 〔2〕硬い透明な蓋が消火器、風化要因、汚れ、破壊行為、 取り扱いミスから 保護します。 〔3〕独自のアンチ・パニックハンドルで、素早く蓋を開けます。
簡易でありながらφ3インチターゲットのマグネトロンカソードと200L/sの広域型ターボ分子ポンプを搭載。
● 価格500万円(税込み) ● φ3インチターゲット 1元カソード ● RF300W電源、自動マッチングボックス付 ● ガス系統：1系統(オプションにて3系統まで対応可)、 マスフローコントローラーによる調整 ● 酸化物など絶縁体のスパッタが可能。 ● オプションにて基板ヒーターの取付可。 ● 余分なものを省きながら使いやすいシンプルな構造。 ● 800W×600L×900Hの省スペース
わずらわしい配線や熱電対の着脱を簡単にしました。
JPCB ジャックパネルコンジットボックスはわずらわしい配線や熱電対の着脱を簡単にしました。材質はアルミ鋳物で耐久性に優れています。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
記録計やデータロガーへの取り付け、取り外しのわずらわしさを解消
JBOX 熱電対中継ボックスは記録計やデータロガーへの取り付け、取り外しのわずらわしさを解消します。中継ボックスと配線ケーブルはマルチピンコネクターで取り外し簡単です。接続部は熱電対同等金属で温度誤差の心配がありません。 【特徴】 ○記録計やデータロガーへの取り付け、取り外しのわずらわしさを解消 ○中継ボックスと配線ケーブルはマルチピンコネクターで取り外し簡単 ○接続部は熱電対同等金属で温度誤差の心配がありません ○マルチピンケーブル1m標準付属です ○熱電対のタイプやコネクターの種類もご相談ください ※詳しい情報はカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
無菌ボックス（ノーマルMAプレート）
シンプル設計のスタンダードな透明アクリル製の無菌ボックスです。 大きな開口部で作業性抜群。鍵付きで安心。 ※規格外商品も製作致します。お引合い下さい。 ※殺菌灯取り付け、耐殺菌灯仕様プレート使用はご相談下さい。 ※重量 ST-1型：約11kg ST-2型：約15kg
大好評！折り畳み式簡易グローブボックス登場
軽量で持ち運びにも便利な折りたたみ式のグローブボックス。 前面フルオープンで出し入れ便利、グローブ脱着も簡単です。 簡易的なガス置換も可能。
酸素、水分濃度１ｐｐｍ以下の環境を実現！
ガス循環精製装置と接続した事により、酸素、水分濃度ともに、１ｐｐｍ以下の環境でお使い頂く事が出来ます。 グローブックス本体部分を真空引き後、ガス置換する事が出来る為短時間で高純度なガス雰囲気を創り出す事が出来ます。 パスボックスも真空ガス置換することが可能な為、内部雰囲気を保ったまま物の出し入れが可能です。 また、スライドテーブルが装備されていますので物の出し入れが簡単に行えます。 内部にコンセントが標準で装備されておりますので、天秤などの機器を簡単に導入できます。 無駄なく広いスペースがありますので、内部への機器導入が簡単です。
酸素、水分濃度１ｐｐｍ以下の環境を実現！
ガス循環精製装置と接続した事により、酸素、水分濃度ともに、１ｐｐｍ以下の環境でお使い頂く事が出来ます。 グローブックス本体部分を真空引き後、ガス置換する事が出来る為短時間で高純度なガス雰囲気を創り出す事が出来ます。 パスボックスも真空ガス置換することが可能な為、内部雰囲気を保ったまま物の出し入れが可能です。 また、スライドテーブルが装備されていますので物の出し入れが簡単に行えます。 内部にコンセントが標準で装備されておりますので、天秤などの機器を簡単に導入できます。 無駄なく広いスペースがありますので、内部への機器導入が簡単です。
酸素、水分濃度１ｐｐｍ以下の環境を実現！
ガス循環精製装置と接続した事により、酸素、水分濃度ともに、１ｐｐｍ以下の環境でお使い頂く事が出来ます。 パスボックスを真空ガス置換することが可能な為、内部雰囲気を保ったまま物の出し入れが可能です。 また、スライドテーブルが装備されていますので物の出し入れが簡単に行えます。 内部にコンセントが標準で装備されておりますので、天秤などの機器を簡単に導入できます。 無駄なく広いスペースがありますので、内部への機器導入が簡単です。
サンプリングから測定までを雰囲気内で可能
測定環境の酸素、水分濃度を1ppm以下に常に保つ事ができ、スピーディーかつ、安定した観察が可能です。 また、顕微鏡の他にAFM（原子間力顕微鏡）やTG（熱重量分析器）、ガスクロなどを導入してご使用頂く事が出来ます。
レーザー光の危険性から作業者を守る『新型レーザーマーカー専用安全ボックス』
『レーザーマーカー専用安全ボックス』は、レーザー光が外部に出るのを防ぐためのカバー。 作業者や周辺の人の安全を守ります。 新型レーザーマーカー専用安全ボックスは、 板金カバーの角部をテーパー形状にしたシンプルなデザインになっています。 【レーザーマーカー専用安全ボックスの特徴】 ■レーザー光を外部に出さない！ レーザーマーカー専用安全ボックスを使用することで、散乱光が外部へ出るのを防ぎます。 ■ワーク作業状況を確認できる遮光窓！ レーザーマーカー専用安全ボックスに遮光板をつけることで、人体に悪影響を及ぼすレーザー光を遮断し、 作業中の状況を確認することができます。 ※詳しくは資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高効率外径粗挽工具
ローラーボックスは古くから6軸自動盤での外径粗挽き加工などで使われてきた工具です。 インサートの反対側にローラーがあり、加工時にワークが逃げてしまうのを防ぐ機構があります。 上側のローラーはバニシングのように切削後の面性状を整える機構になっています。 突出しの長いワークの粗挽き加工として、取り代の大きい粗挽き加工の効率化などに活用されています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
ケーブルグランドと端子台が一体構造で配線作業がし易い端子ボックス！
コンパクトサイズで、動力線・センサーの中継に最適な中継ボックス。 他社製品と比べ低価格。 保護等級IP65の防水性です。
端子台とボックスが一体構造で配線作業がし易い低価格な中継ボックス！【TMBシリーズ】
コンパクトサイズで、動力線・センサーの中継に最適な中継ボックス。 保護等級 IP65の防水性。 他社製品と比べ低価格。 オプション部品も充実！
