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回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。【アルバック／ULVAC】
HPS-Nシリーズは、アルバックの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。 EBガンコントローラEGC-10GSと組み合わせてご使用いただくことにより、光学薄膜用EBガンおよび、金属薄膜用EBガンの両方に対応することができます。 【ラインナップ】 ○HPS-600N ○HPS-1000N ○EGC-10GS 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
メンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。【アルバック／ULVAC】
EGNシリーズは、新たにメンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。 フラットトップ構造および15mmハースデッキの採用により、電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なくなり、高いメンテナンス性を実現しております。 【仕様】 ○電子ビーム偏向角度 270° ○るつぼ数 6 ○冷却水量 10L/min ○外形（W×D×H） 260mm×340mm×144mm ○重量 28kg 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
測定精度向上！真空計の状態確認が一目でわかるLEDを搭載しています。【アルバック／ULVAC】
真空計G-TRANシリーズ マルチイオンゲージST2-1/ST2-2は、真空計にとって厳しい環境下であっても三極管型の利点を最大限に生かした長寿命を実現。 ULVACは、真空計にとって厳しい環境でもより長く、しかも精度よく測定可能な電離真空計を開発・製品化。 三極管型メタル電離真空計は、ランニングコストを大幅に抑え、さらに各種プロセスの歩留まり向上においてもお役立て頂けます。 【特徴】 ○三極管型メタル電離真空計（特許申請中） ○測定子が小型・メタル製 ○広帯域測定 ○異なる測定範囲の測定子が接続可能 ○正確な大気圧測定 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
高スループット！マスタースレーブ接続により大容量化が可能です。【アルバック／ULVAC】
A2Kシリーズは、反応性スパッタリングプロセスにおいて直流電源にプラス電圧をパルス印加し、ターゲット上の電荷を中和する異常放電防止ユニットとなります。 異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能。 A2K-20K、40Kは各々6台まで並列運転可能。複数台のA2Kの出力パルス同期が可能です。 既設装置にも簡単に取り付けでき、低コストでの歩留り・スループットの向上を実現します。 【特徴】 ○高スループット ○基板ダメージの低減 ○基板温度の抑制 ○簡易な接続性 ○逆パルス周波数の変更可 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。【アルバック／ULVAC】
ECO-SHOCK は、現在ご使用のドライポンプに取り付けることによって、ドライポンプの消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。 不活性ガス排気用途でご使用中のドライポンプに最適です。 【特徴】 ○ドライ真空ポンプの消費電力を最大80%削減可能 ○全圧力領域において排気速度の低下なし ○設置が簡単 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
