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高速回転時の機械的接触を無くし、低振動と高圧縮比を実現しています。【アルバック／ULVAC】
UTM シリーズは、ピボット軸受（下部）と磁気軸受（上部）を採用した全翼型のターボ分子ポンプです。 ピボット軸受の採用により高速回転時の機械的接触を無くし、低振動と高圧縮比を実現しています。 一般的なベアリング軸受とは異なる高性能軸受を採用し、優れた特長を持っています。 【ラインナップ】 ○UTM-50 ○UTM-150 ○UTM-300 ○UTM-500 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニット【アルバック／ULVAC】
UTM300Bは、セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。 コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。 優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。 【ラインナップ】 ○UTM300B（ISOフランジ型） ○ISO100-K フランジタイプ ○VG100 フランジタイプ ○ICF152 フランジタイプ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
デジタル化による集中管理システムへの対応が可能。【アルバック／ULVAC】
デジタル5 軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。 UTM-FH、UTM-FW はデジタル5 軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・省エネ対応などの優位性を実現します。 FH シリーズは、高背圧・高圧縮型で、水素圧縮比を向上したライト～ミドルプロセス用に、FW シリーズは、広域・大流量型で、高負荷プロセスやミドル～ハードプロセス用にご利用ください。 【特徴】 ○監視・自己診断機能、通信機能を搭載し、 デジタル化による集中管理システムへの対応が可能 ○カップリングフリーシステムの搭載 →1台のパワーサプライで、 機種切替により登録されているポンプ本体との組合せ運転が可能 ○スピードバリアブルシステム搭載 →排気速度を25%〜100%の範囲で可変 ○優れた耐食表面処理を施しているため、さらなるハードプロセスに 向けて特殊表面処理・内部昇温システムがオプションで対応可能 (FWシリーズ) ○破壊エネルギー吸収構造採用により、 不具合時の装置ダメージを小さくする高安全設計 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
