半導体用ロボット SCR3100S-PM
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100Sシリーズ
小フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。
- 企業：株式会社ジェーイーエル
- 価格：応相談
ロボット(ウエハ 搬送) - 企業と製品の一覧
更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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製品一覧
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2軸円筒座標型クリーンロボット SSCR2090Sシリーズ
全軸ステッピングモータを使用した省エネ設計となっています。
スーパークリーンルーム用2軸円筒座標型クリーンロボットSSCR2090Sシリーズは、省フットプリント化、軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。各軸にはエンコーダ、ラッチ式電磁弁、デジタル表示付圧力スイッチの装備等、上位機種のスペックはそのまま受け継いでおります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社ジェーイーエル
- 価格：応相談
大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTX/W-RF5501RW』
【～300ｍｍウエハ用】水分を扱うプロセスでの使用が可能！ 保護等級IP64を実現した防滴モデルのウエハ搬送ロボット
■保護等級IP64を実現。水分を扱うプロセスでの使用が可能な防滴モデル。 ■特殊な薬液に対応した表面コーティングにも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ダイヘン
- 価格：応相談
大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W3000NM』
【～300mmウエハ用】ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減！ 電力線通信技術を搭載したウエハ搬送ロボット
■高速電力線通信技術を利用した配線設計により、従来機に比べ ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減し、ケーブル断線リスクが低減。 ■在荷センサ・マッピングセンサ・スライド軸等、多彩なオプションをラインアップ。 ■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ダイヘン
- 価格：応相談
4軸円筒座標型クリーンロボット MTCR4000シリーズ
ウエハ搬送に適しており、全軸ACサーボによる高速搬送が可能です。
スーパークリーンルーム用300mm対応MTCR4000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。全軸ACサーボによる高速搬送が可能で、従来型MTHRに比べコストパフォーマンスに優れます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社ジェーイーエル
- 価格：応相談
大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W4000NM』
【～300mmウエハ用】高可搬搬送・広範囲動作が可能！ 高速電力線通信技術により、ロボット本体内配線数・外配ケーブル本数を削減
■高速電力線通信技術利用により、ロボット本体内配線数・外配ケーブル本数を大幅に削減。 ■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。 ■高可搬搬送(ハンドフォルダ・ハンド・搬送ワークの総質量4kg)が可能なため、 反転軸搭載を実現。テープフレーム付きウェハ搬送、貼り合わせウェハ搬送、 レチクル搬送が可能。 ■ワーク把持は、真空吸着方式・圧空を使用したエッジクランプ方式・ベルヌーイ方式の 3種に対応可能。 ■ベルヌーイハンドは、TAIKOウェハ外周裏面部の接触把持に対応予定。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ダイヘン
- 価格：応相談
円筒座標型クリーンロボット『PHT-R-4』
ウエハの大気中搬送に対応！本体重量は約47Kgでコントローラは約8Kg
『PHT-R-4』は、クリーンルームで使用する水平多関節型の ウェーハ搬送ロボットです。 前後(X軸)・旋回(θ軸)・上下(Z軸)+ハンド回転(0～180度)の動作が可能で ウエハの大気中搬送に対応。 駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。 【製品概要(抜粋)】 ■設置環境：クリーンルーム内(大気中温度10～35度、湿度70％RH以下) ■アーム：シングルアーム(材質：アルミ・CFRP・セラミック) ■可搬質量：3kg(ハンドベース・ハンド・ワーク重量の合計) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：PHT株式会社
- 価格：応相談
真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX4000NM』
【～300mmウエハ用】高可搬型シングルアーム真空ロボット！
■マスク、サセプタ、トレイ等の重量物を搬送可能な高可搬型シングルアーム真空ロボット ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ダイヘン
- 価格：応相談
真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDX3000NSシリーズ』
【～300mmウエハ用】ダイレクトドライブモータを搭載！ 振動の大幅な低減を実現した高精度シングルアーム真空ロボット
■ダイレクトドライブモータ搭載並びにアーム内スチールベルト採用により、 超高精度な搬送とアーム動作時の大幅な振動低減を実現。 ■隔壁型真空シールの採用により、超高真空環境下にも対応可能 ■旋回軸エンドレス仕様により、装置スループットの改善を実現 ■コントローラ内蔵により、装置の小型化を実現 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ダイヘン
- 価格：応相談
真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX3000NMシリーズ』
【～300mmウエハ用】 アーム長、Z軸の有無の選択が可能なシングルアーム真空ロボット
■2種類のアーム長に標準対応。 Z軸の有無も選択可能のため、さまざまな装置レイアウトに対応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ダイヘン
- 価格：応相談
防水対応3軸円筒座標型ロボット SWHR3156シリーズ
LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適
防水対応3軸円筒座標型ロボットSWHR3156シリーズは、300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付です。保護等級IP64で、LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社ジェーイーエル
- 価格：応相談
クリーンルームロボット 「RX160CRロボット」
スーパークリーンルームや食品工場などのクリーン環境に適した高性能・高信頼性の6軸ロボットです。
RX160クリーンルームロボットはクリーンルーム環境や衛生性が求められる食品工場など発塵が許されない厳しい環境条件に対応するという目的から生まれたロボットで、優れた処理能力と高い信頼性も兼ね備えています。 24時間/日、7日/週という稼働条件において、その信頼性の高さが市場で実証されています。 【特徴】 ○密閉構造 ○高剛性構造 ○複数の設置方法 ○ストーブリ独自の減速ギア(特許取得) ○広い動作範囲 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：ストーブリ株式会社
- 価格：応相談
4軸水平多関節型クリーンロボット GCR4280-AMシリーズ
300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適
スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4280-AMシリーズは、300mm、450mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ、小型ガラス基板などの搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社ジェーイーエル
- 価格：応相談
自律走行URロボット『Actibo』
より軽く、より便利に！オプションのバッテリー使用によりアクティブに作業をこなす事が可能！
当社が取り扱うカスタマイズ移動ロボット『Actibo』をご紹介します。 半導体製造工程におけるウエハーの搬送作業の自動化が可能。オプションの バッテリー使用によりアクティブに作業をこなす事ができます。 「UReシリーズ」は、DC OEMコントロールボックスを搭載しており、15kgから わずか5kgに軽量化しています。 【特長】 ■より軽く、より便利 ■オプションのバッテリー使用によりアクティブに作業をこなす事が可能 ■半導体製造工程におけるウエハーの搬送作業を自動化 ■工作機械におけるワークの搬送とセッティングが可能 ■自動車製造などで部品棚から部品を集める工程などに好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：JMPエンジニアリング株式会社
- 価格：応相談
カスタマイズ移動ロボット『Actibo』
離れた場所への荷物搬送や作業が可能！AMR搭載のユニバーサルロボット
『Actibo』は「MiRシリーズ」と「UReシリーズ」がコラボレーションした カスタマイズ移動ロボットです。 半導体製造工程におけるウエハーの搬送作業の自動化をはじめ、 工作機械におけるワークの搬送とセッティングや、自動車製造などで 部品棚から部品を集める工程などに好適。 オプションのバッテリー使用で、よりアクティブに作業を行うことが可能です。 【特長】 ■進行方向にある物や人を独自で回避 ■AMR搭載のユニバーサルロボット ■離れた場所への荷物搬送や作業、人が近寄れない場所などへの作業が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：カンタム・ウシカタ株式会社
- 価格：応相談
