【～300mmウエハ用】ダイレクトドライブモータを搭載！ 振動の大幅な低減を実現した高精度シングルアーム真空ロボット
■ダイレクトドライブモータ搭載並びにアーム内スチールベルト採用により、 超高精度な搬送とアーム動作時の大幅な振動低減を実現。 ■隔壁型真空シールの採用により、超高真空環境下にも対応可能 ■旋回軸エンドレス仕様により、装置スループットの改善を実現 ■コントローラ内蔵により、装置の小型化を実現 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
■動作範囲 ・X-axis 850mm ・θ-axis Endless ・Z-axis - ■動作時間 ・X-axis 2.0sec / 850mm ・θ-axis 2.5sec / 180° ・Z-axis - ■繰返し位置精度 ・XY direction φ0.02mm(3σ) ・Ｚ direction - ■可搬質量：1.0kg (Including E/E, E/E-base, Wafer) ■本体質量：29kg ■設置環境 ・温度 5-40℃(本体)/5-80℃(アーム) ・湿度 20-70%, No condensation ・圧力 Atmospheric pressure ～ 10-7Pa 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ダイヘンは1919年の創立以来､変圧器､溶接機､産業用ロボット､半導体製造装置用高周波電源など､社会が必要とする製品の開発に取り組み､くらしの基盤となる電力インフラの高度化や世界のものづくりの進化･発展に貢献してまいりました。 そして今､新たなステップとして､社会課題に真正面から向き合う｢研究開発型企業｣を目指しております。再生可能エネルギーの活用拡大に資するエネルギー･マネジメント･システムやEV普及に不可欠な充電インフラ機器､車体軽量化に役立つ新しい接合プロセスなどの開発により脱炭素社会実現に貢献する“Green Solutions”､また､｢労働力不足解消｣や｢働き手や働き方の多様化｣などへの貢献を目指し､ものづくりに携わるお客様が持つそれぞれの事情に合わせ､いわば“個別にあつらえた”ロボットシステムにより最適な課題解決手段を提供する“Tailored Solutions”､ これらの分野を重点と定め開発強化を図り、当社独自の価値を持つ製品を次々と市場に投入することで､これまで以上にお客様に喜んでいただき世の中のお役に立つ会社を目指してまいります。