更新日： 集計期間:2026年03月25日～2026年04月21日
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ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応 卓上ローダーシステム
ウェーハ検査ステージと搬送部分が一体化したコンパクトな卓上システム X軸190mm、Y軸200mmのロングストローク設計であり、どの位置でも手元のノブでウェーハの回転操作が可能 搬送ロボットは2本のチャックを持ち、検査ステージへのウェーハ入れ替え動作を短時間で完了可能 ロボットと落とし込みアライメントステージの組み合わせで低コスト・省スペース・高機能なシステムを実現
搬送部の小型化に寄与します。
業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比大気ロボット：フットプリント75%（□115x130mm）, 容積比80%ダウン アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能
ACサーボモータ仕様及び、動作軌跡最適化による高速搬送化
スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4000-AMシリーズは、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
強い製品調達力を使ってサポート！各種モーター・ドライバーなど取り扱い
当社では、半導体、液晶に使われる消耗パーツや 付帯設備のリペアパーツ供給を行っております。 国内外からのビジネスパートナーから強い製品調達力を使ってサポート。 搬送用ロボットやRF電源マッチャー、各種電源、各種モーター・ ドライバーなども取り扱っています。 【取り扱い主要品目(抜粋)】 ■搬送用ロボット ■各種電源 ■各種モーター・ドライバー ■ヒーター類各種 ■Y203など、各種コーティング ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れています。
スーパークリーンルーム用300mm対応MCR3000Cシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。全軸ACサーボによる高速搬送が可能で、従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型ロボットSHR3000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
全軸2Pステッピングモータ仕様！リンク式シングルアームクリーンロボット
『SR1160-310』は、ハンドが180°回転可能な リンク式シングルアームクリーンロボットです。 ハンド部にはロータリーユニットが付属。 他のウェハサイズ用ハンドには取付部のブロック交換で対応できます。 オプションで、位置決め、圧空確認などの各種センサが付属します。 【特長】 ■ハンド：KUMADE FORK KMWF-12SF ■ハンド部にはロータリーユニット付属 ■各種センサ付属（位置決め、圧空確認）※オプション ■全軸2Pステッピングモータ仕様 ■ハンドが180°回転可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSSCR3115Sシリーズは、省フットプリント化、軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。SSCR2090S-PMとはユニット互換があり、リンクアーム仕様、Z軸レス仕様にも変更が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現！
『SV1240』は、真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ方式を採用した シングルアームクリーンロボットです。 従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現。 アーム駆動にタイミングベルトを使用するベルトリンク式です。 【特長】 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232C通信制御 ■パラレルI/O制御 ■真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ方式を採用 ■アーム駆動にタイミングベルトを使用するベルトリンク式 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。
スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型ツインアームロボットSTHR4000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。2本のアームにより短時間でのウェーハの交換が可能です。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
真空シールには接触式シール方式を使用したシングルアームクリーンロボット
『EV2250』は、真空シールには接触式シール方式を使用した 平行リンク式シングルアームクリーンロボットです。 アーム部はアルピカ処理済み。 エンコーダ付2相パルスモータを装備しているほか、RS232C通信制御、 パラレルI/O制御が可能です。 【特長】 ■耐熱使用：アームにリフレクタ(熱反射板)の設置 ■アーム部はアルピカ処理済 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232C通信制御 ■パラレルI/O制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
自動化・省人化の実現に向けた工程間搬送に！1台から柔軟にカスタマイズ可能です
『月光ロボット』は、SLAM式で停止精度±5mmのテクトレ社製 AMR(自律走行搬送ロボット)です。 専用矯正装置で停止後に位置矯正することで誤差を±0.5mm以下まで 抑えることが可能。 車体も1台からカスタマイズ対応しており、車体寸法や各種センサー、 冷凍環境(-20℃)、野外搬送などご要望に合わせて販売いたします。 【特長】 ■ISO3691-4、CE認証、UL認証、EUCC認証の追加 ■標準仕様は接触式充電、非接触自動充電へ変更可能 ■外観および本体寸法をご要望に合わせて変更可能(要確認) ■ナビゲーション用Lidar、障害物避けLiDar、各種センサーを 指定のものに変更可能(要確認) ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
ハンドはステッピングモータ駆動で180度反転可能！リンク式クリーンロボット
『PR1111-200』は、全軸2Pステッピングモータ仕様の リンク式シングルアームクリーンロボットです。 ハンドはステッピングモータ駆動によって180度反転可能。 回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、180度位置センサを 装備しています。 【特長】 ■全軸2Pステッピングモータ仕様 ■回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、 180度位置センサを装備 ■チャック：アルミニウムとステンレスの積層構造による特殊I型チャック ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
下側の反転軸には濡れたウェハの真空吸着が可能！ダブルアームクリーンロボット
『SR2160-310』は、反転ユニット、マッピングユニットが付属した リンク式ダブルアームクリーンロボットです。 濡れウェハ対策として下側の反転軸には濡れたウェハの真空吸着が可能。 ロボット駆動部への水の浸入防止のためアーム駆動部と本体駆動部に 水受けを設置しました。 【特長】 ■反転ユニット、マッピングユニット付属 ■アーム駆動部と本体駆動部に水受けを設置 ■特殊セラミックチャック付属（オプション） ■位置決めセンサ付属（オプション） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
産業用ロボットの導入からシステム構築までトータルで対応。多彩なロボットやステージで段取り替えや搬送の効率アップ
当社は、機械要素部品とメカトロ製品のメーカーであるアドバンテージを活かし、 産業用ロボットや自動化設備向けステージなどの開発・製造を手掛けており、 『自動化・省力化ソリューションの導入支援』も行っております。 スカラロボットや垂直多関節ロボットによる ピックアンドプレースや組立の自動化など、数多くの実績を持ち、 産業用ロボットだけでなく、減速機やサーボモーターなどの要素部品や モジュール・システムも含めてワンストップでご提供。 神戸と東京にロボット技術センターを構えており、 システム導入を当社技術担当者がサポートいたします。 【2023国際ロボット展(IREX2023)に出展！】 会期中のブースでは、垂直多関節ロボットやスカラロボットなど、 各種産業用ロボットをご覧いただけます。ぜひお立ち寄りください。 日時：2023年11月29日～12月2日 10:00～17:00 会場：東京ビッグサイト 小間：東6ホール E6-16 ※「PDFダウンロード」より当社の産業ロボットなどの資料をご覧いただけます。 お問い合わせもお気軽にどうぞ。
テフロンコーティングで高剛性アーム仕様！ハンド部に透過式マッピングセンサ装備
『WR2154-300』は、防水対応のダブルアームクリーンロボットです。 取付フランジより上部のアーム部はIP64の規格に適合。 ハンド部は垂直/水平仕様の駆動が可能な透過式マッピングセンサを 装備しています。 また、ロータリ及びクランプユニットの搭載が可能です。 【特長】 ■アーム部：テフロンコーティング 高剛性アーム仕様 ■ロータリ及びクランプユニットの搭載可能 ■ウェハ保持：セラミックスチャックによる真空吸着 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■制御：RS232C通信制御またはパラレルI/O制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。
業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比真空ロボット：フットプリント65%（φ95mm）, 容積比75%ダウン アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能
板金比率を高め構造を単純化することで製造コスト削減！リンク式クリーンロボット
『PR2111-60』は、各種センサ装備のリンク式ダブルアームクリーンロボットです。 当社従来品に比べ、板金比率を高め、構造を単純化することにより、 製造コスト削減を実現します。 真空吸着式のセラミックスチャックを装備しています。 【特長】 ■全軸2相ステッピングモータ仕様 ■チャック：セラミックスチャック(真空吸着式) オプション ■各種センサ装備 ■板金比率を高め構造を単純化することにより、製造コスト削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。
水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 LSI製造プロセスにおける酸、アルカリのミスト雰囲気中のウェーハの搬送に適しています。 アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 アーム関節部防水構造にVシール使用 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャバラ対応も可能 ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 動作モニター装備 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 全軸2相ステッピングモータ使用 S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
3軸円筒座標型クリーンロボット
防水対応3軸円筒座標型ロボットのSWCRシリーズです（300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付）。 水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 アーム関節部防水構造にVシール使用 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャバラ使用 動作モニター装備 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 全軸2相ステッピングモータ使用 S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。
スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットSTCR4000Sシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。CEマーキング認証取得しました。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
スカラロボットから重量搬送までの各種ハンドリングロボット、パレタイズ、アーク・スポット溶接などの総合ラインナップをご紹介
【掲載概要】（ダウンロードからご覧ください） ■ウイングスライサー型ロボット（スカラロボット） ■小型高速ハンドリングロボット（3kg～7kg可搬） ■パワフル＆コンパクト多目的ロボット（（10kg～70kg可搬） ■7軸ロボット（20ｋｇ～50kg可搬） ■重量物可搬用ロボット（280kg～700kg可搬） ■パラタイジングロボット ■クリーンルーム内作業ロボット（液晶、ガラス搬送 ■スポット溶接ロボット ■アーク溶接ロボット ■コントローラ＆ソフトウェア
省人化や効率化を課題に抱える工場へ導入が進んでいます。導入事例動画も多数掲載！工場レイアウトの変更不要！初期費用が抑えられます！
世界5０ヶ国以上の国500以上の都市で活躍中！物流倉庫内や半導体工場など導入が進む配送ロボット。 これまでのロボットに比べ導入コストも低く導入しやすいロボットです。 ＜＜レーザーマッピングで自動走行が可能＞＞ ＜＜現場レイアウトの変更は不要＞＞ 工場向けのロボットは3タイプ ■HolaBot‥スマートウォッチでの呼び出し機能が特徴。離れた場所から 待機中のロボットを呼び出し部品や完成製品の配送タスクを 指示することが可能です。 ■BellaBot‥かわいいネコ型ロボット。背中のドットマトリックスに 行先や曲がる方向を表示することができます。配送・搬送ポイ ントが多数ある場合に便利です。 ■PuduBot‥出し入れしやすいトレイでシンプルな構造です。優れたデザ イン性で環境になじみやすく、操作も簡単。 設備や環境によりおすすめのロボット、設置ご提案も可能です。まずはお気軽にご相談ください。 【正興サービス＆エンジニアリングはPUDUサービスロボットの日本公式販売代理店です】 ▼▼導入事例の動画はコチラから▼▼
・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリレスを実現
低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応のスーパークリーンルーム用4軸水平多関節型クリーンロボットです。 並列配置されたカセットに対して走行軸なしで搬送可能です。 チャックの向きがカセットに対して直線移動し、エッジグリップによる搬送や角基板搬送も走行軸なしで対応可能。 各ウェーハサイズ対応可能です。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載 従来機と互換性（取付互換、性能互換）があり、載せ替えが可能 ロボットのみで2FOUP対応可能 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択への固定方法を選択可能 ベルヌーイチャックを搭載可能（オプション）
省フットプリント化により、装置レイアウトを小型化できます。
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100Sシリーズは、省フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置等の小径ウェーハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
全軸ステッピングモータを使用した省エネ設計となっています。
スーパークリーンルーム用2軸円筒座標型クリーンロボットSSCR2090Sシリーズは、省フットプリント化、軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。各軸にはエンコーダ、ラッチ式電磁弁、デジタル表示付圧力スイッチの装備等、上位機種のスペックはそのまま受け継いでおります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
ギヤ、ワイヤー等の特殊加工部品も、相当品を製作するなど可能な限り対応！
株式会社シィ・エィ・ティは、半導体製造工場で使用される 各種搬送ロボットのオーバーホール、修理業務のほか ロボットのコントローラーの修理を実施しております。 コントローラーがない場合でも、当社にてロボットの構成等や 各種計測器を使用してロボットの制御方法等を解析し、 コントローラーを製作いたします。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
シングルアームでありながらツインアームの機能を確保しております。
300mm対応5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000シリーズは、ツインチャックを搭載することでシングルアームでありながらツインアームの機能を確保し、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
AGV/AMRの販売だけでなく、前後工程（パレタイズ・デパレタイズ・検査・画像処理・3Dピッキング）などをご提案いたします。
(株)三明は静岡に本社を構える技術商社です。 グループ会社にてシステム開発・ソフトウェア構築が可能（SIer）システム周辺もすべてご提案いたします。 ◇ローコスト mujin・ダイヘン・ニデックなど、AGV/AMR取り扱いメーカーの代理店を務めているためローコストでのご提案が可能 ◇お客様がご指定するメーカーのシステム構築可能 代理店製品以外のAGV/AMRも採用実績多数 ◇AGV/AMR搭載品のカスタマイズ 棚/ラック/コンベア取り付けなど各種カスタム可能 ◆ロボット＋AGVシステムのご提案も可能◆ 移動型人協働ロボット『AGBOT』：https://www.ipros.jp/product/detail/2000800706 【ワーク】 成型品・金型・ステンレス・樹脂・機械部品・自動車部品・加工部品・段ボール箱・通い箱・パレットなど 【業界】 物流倉庫・クリーン環境（クリーンルーム内）・食品工場・実験室・半導体製造工場など 【前後工程】 外観検査・バリ取り加工・パレタイジング・デパレタイジング・3dランダムピッキングなど
名刺サイズのコンパクトなボディで最高水準の吸込み能力を実現！ 省エネ機能やIO-Link通信に対応したタイプもラインアップ！
コンパクトエジェクタ SCPMシリーズは、小型ボディにさまざまな機能を搭載した省スペースな真空発生器です。 機能別に3種類のモデルをラインアップし、真空吸着と真空破壊が可能なベーシックモデル『SCPMb』をはじめ、状態監視結果の表示も可能なディスプレイ付きスイッチや省エネ機能を搭載した『SCPMc』、モニタリング結果などの各種情報の確認や機器設定などを設備外から行える高機能モデル『SCPMi』の中から、用途に合わせて選択する事ができます。 【特長】 〇名刺サイズの高効率・超小型真空発生器 →最小限のスペースで最大限の吸着力を実現 〇省配線デザイン →ケーブルがかさばらず配線作業を軽減 〇省エネ機能搭載（SCPMc / SCPMi） →圧縮エアの消費量を最大80%削減するエアセービング機能を搭載 〇最大16台のエジェクタをマニホールド化 →省配線・省配管で設置工数、接続部品コストを削減
