更新日： 集計期間:2025年10月08日～2025年11月04日
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X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に構築できる！
『SA』は、駆動部にダイレクトドライブ方式を採用した、 低断面でコンパクトなXYθ運動を実現するアライメントステージです。 直線移動用のXテーブルと、回転位置決め部であるθテーブルを基本構成 としてラインアップ。X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを 簡単に構築することが可能。 また、コアレスリニアモータとリニアウェイL、クロスローラベアリングを 採用し、極めて低い断面高さを実現しています。 【特長】 ■コンパクトなXYθテーブル ■XYθの組み合わせが自由 ■薄形・コンパクト ■高分解能・高応答 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
300mm×300mm搬送が可能な２軸ロボットをレンタル致します！！
1軸 可動距離：300mm、搬送速度：1～100mm/sec 2軸 可動距離：300mm、搬送速度：0.5～50mm/sec コントロールはPCで制御！もちろんPCも一緒にレンタル致します。
ダイレクトドライブ方式を採用！低断面でコンパクトなXYθ運動を実現
『SA…DE』は、直動案内部に小形直動案内機器のリニアウェイL、 回転案内部にクロスローラベアリングを使用したアライメントステージです。 ダイレクトドライブ方式のステージをフルクローズドループ制御することにより 高分解能と高精度を実現。 X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に 構築することができます。 【特長】 ■コンパクトなXYθテーブル ■XYθの組み合わせが自由 ■薄形・コンパクト ■高分解能・高応答 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
X軸を標準設定,θ軸のトルクUPを実現！SAシリーズの200サイズをアップデート
『SA200DE』は、直線位置決め用のXテーブルである、SA200DE/Xを 標準設定として新規追加したアライメントステージです。 回転位置決め用であるSA200DE/Sと組み合わせることによって、XYθ軸の 3方向に可動する極めてコンパクトなアライメントステージを簡単に構築可能。 ボールねじ駆動のステージと比較して、極めて低い断面高さを実現しています。 【特長】 ■XYθ軸の組合せが自由に ■薄形、コンパクト ■省電力、高タクト ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペースの『YRAシリーズ』から用途に合わせ、お選び頂けます。
【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能 ■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高耐荷重仕様、外観色の変更、仕様等、カスタム対応 【YRAシリーズ】 ■薄型・小型の省スペースながら、高精度・高剛性を実現 ■XYθ軸の各軸が独立して動作する一体型構造 ■用途に合わせた4型式をラインアップ ・YRA-070：シリーズ最小のアライメントステージ ・YRA-071：多様なモータ変更要求に対応可能 ・YRA-131：中小型液晶やウエハの貼り合わせに好適 ・YRA-200：シリーズ最大の高耐荷重仕様
ヤマハ小型スカラ型ロボット YK120XGシリーズ
完全ベルトレス構造で、超小型ながら 圧倒的な高剛性・高精度を実現！ 【特徴】 ○完全ベルトレス構造 ○驚きの許容慣性モーメント ・R軸慣性モーメント0.1kgfcms2 ○抜群の位置決め精度 ・XY軸位置決め精度±0.005ｍｍ ○圧倒的なスピードでタクトアップに貢献 ・標準サイクルタイム 0.33秒 ・最高速度 3.3ｍ/sec ○最大可搬質量 1ｋｇ ○位置検出器にレゾルバ採用 ○完全アブソリュート方式 ○超コンパクトサイズで省スペース化に貢献 ○落下防止ブレーキ標準装備 ○アーム長120ｍｍ、150ｍｍ、180ｍｍのバリエーション ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
充実のラインナップで多彩なアプリケーションにタイプ！
○４列サーキュラーアーク溝式 ２点 ○信頼性の高いレバルバを採用 ○容易なメンテナンス ○軽量・コンパクト ○ダブルY軸標準対応
回転3軸とZ軸にマイクロメータを採用！コンパクトな6軸ユニットをご紹介
当製品は、光ファイバーの調芯専用に開発された6軸ユニットです。 光軸Z軸(フォーカス方向)に対してのXY軸には、サブミクロンの位置決めが 可能な精密ポジショナー「FPP03-13」を採用。 旧モデルと比較して剛性が向上しているため、光ファイバー以外にも 調芯用光学測定器を搭載することが可能で、今までの調芯時間を大幅に 短縮できます。 【特長】 ■光ファイバーの調芯専用に開発された製品 ■回転3軸とZ軸：当社標準マイクロメータを採用 ■精密ポジショナー「FPP03-13」を採用 ■光ファイバー以外にも調芯用光学測定器を搭載することが可能 ■今までの調芯時間を大幅に短縮できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージ ～ ダブルスライド構造の採用で高剛性 ～ ※CAD図サンプル有
超薄型XYθ（アライメント）ステージ「NAF3シリーズ」は、電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージであり、装置全体の低重心が実現可能です。 スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。 各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 【特長】 ○超薄型構造・低重心 ⇒３軸のアクチュエータを同一平面上に配置することで高さを抑制 ○高精度な位置決め ⇒ 非積層方式の為、積み重ねによる組付け誤差無 ○高剛性 ⇒ ダブルスライド構造により荷重を全体で受けおり、スラスト方向に 対し剛性が高い構造です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
主な材質にSUSを採用！高い剛性を有しているゴニオメータをご紹介いたします
当製品は、同一の回転中心にて試料のアライメントが可能なゴニオメータです。 主な材質にSUSを採用しており、独自の摺り合わせ技術を用いることで、 高い剛性を実現。 動作軸はスイベル(ゴニオ)、θの2軸ですが用途に応じてXY軸を追加する ことも可能ですので、ご要望の際には、お気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■試料のアライメントが可能 ■主な材質にSUS採用 ■高い剛性を有す ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
クリーンルーム内での電子部品、食品、医療機器関連作業に最適！
クリーンルームにおける生産システムの自動化・省力化に貢献 単軸・直交・スカラロボットをラインナップ ●クリーンスカラロボット YK-XGC/XCタイプ ●クリーン単軸ロボット FLIP-XCタイプ、SSCタイプ ●クリーン直交ロボット XY-XCタイプ 詳しくはカタログをダウンロードからカタログをご覧ください。
人手不足に対応する、幅広いラインナップとアプリケーション。生産設備の可能性を拡げるジャノメのフラッグシップ卓上ロボットです。
セル生産はもちろん自動ラインへの組込をも視野に入れたジャノメの多機能卓上ロボットです。 フィールドバスへの対応、カメラ組み込みを容易にしたソフトウェア、外部モータを2個まで制御できるなど、多彩な機能でさまざまな製造シーンをけん引します。 ●剛性アップ より高速に、より正確に作業を行え、長期間安心してお使い頂けるよう剛性を強化し高速時の軌跡性能を安定させました Z機構にカメラを取り付けた時、動作停止時の揺れ時間が大幅に減少して待ち時間は約半分に（同社比） ●卓上ロボット初！ロボットケーブル内蔵 高さに制限がある製造現場などに有効な、すっきりしたデザイン ●フィールドバス対応・イーサネット(LAN)ポート標準装備 フィールドバスのモジュールは、CC-Link／DeviceNet／PROFIBUSから選択可能 ●USBカメラティーチング 市販USBカメラを接続すると、拡大したカメラ画像を見ながらティーチングも可能 ●最大4軸+外部2モータを制御 ステッピングモータやサーボモータなどパルス列入力タイプの機器を2個まで、ロボットを扱うのと同じようにティーチングペンダント上でティーチング可能
独自の内部構造によりサブミクロンの位置決めが可能に！当社の精密ポジショナーをご紹介
『FPP03-13』は、高分解能の位置決めを手動で可能にする 精密マイクロメータです。 独自の内部構造により、サブミクロンの位置決めが可能になりました。 最小読取りは0.5μm/1目盛（微動部）、軸方向負荷は最大5Kgf以下 （49N以下）となっております。 【仕様（一部）】 ■構造 ・粗動：送りネジ方式 ・微動：送りネジ＆レバー ■移動量 ・粗動：13mm（0.5mm/1回転） ・微動：0.3mm（25μm/1回転） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
・フィールドネットワーク対応 インライン対応汎用直交ロボット ・ワークサイズに合わせ、XY各ストローク9種類の組み合わせ可能。
・選べるストローク(全9種類) ・完成品と組立セット品の2種類より、選択可能。 ・フィールドネットワーク、CC-Linkにオプション対応。 ・全自動ラインへの組み込み可能。 ・画像認識・位置補正機能(350PC Smart)をオプション選択可能。 ・高精度に液体制御を行うディスペンスコントローラをフルラインナップ。当社製高精度バルブ、ステンレスタンク、各種ポンプにも対応可能。 ・塗布以外にもネジ締め、基板カット、バリ取り、各種検査、印字など幅広いアプリケーションにも対応。 ・弊社製卓上型ロボット「SHOTMASTER」シリーズ、「SHOTmini」シリーズとプログラム共有が可能。 ・お客様のご用途に合わせ、カスタム対応も行っております。 ・充実の海外サポート対応。(海外11拠点) 海外事業所でも安心。各拠点にエンジニア常駐。 お問合せの際は、リンクより弊社Webサイトをご確認ください。
【～300mmウエハ用】ダイレクトドライブモータを搭載！ 振動の大幅な低減を実現した高精度シングルアーム真空ロボット
■ダイレクトドライブモータ搭載並びにアーム内スチールベルト採用により、 超高精度な搬送とアーム動作時の大幅な振動低減を実現。 ■隔壁型真空シールの採用により、超高真空環境下にも対応可能 ■旋回軸エンドレス仕様により、装置スループットの改善を実現 ■コントローラ内蔵により、装置の小型化を実現 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
