更新日： 集計期間:2025年10月08日～2025年11月04日
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X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に構築できる！
『SA』は、駆動部にダイレクトドライブ方式を採用した、 低断面でコンパクトなXYθ運動を実現するアライメントステージです。 直線移動用のXテーブルと、回転位置決め部であるθテーブルを基本構成 としてラインアップ。X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを 簡単に構築することが可能。 また、コアレスリニアモータとリニアウェイL、クロスローラベアリングを 採用し、極めて低い断面高さを実現しています。 【特長】 ■コンパクトなXYθテーブル ■XYθの組み合わせが自由 ■薄形・コンパクト ■高分解能・高応答 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
300mm×300mm搬送が可能な２軸ロボットをレンタル致します！！
1軸 可動距離：300mm、搬送速度：1～100mm/sec 2軸 可動距離：300mm、搬送速度：0.5～50mm/sec コントロールはPCで制御！もちろんPCも一緒にレンタル致します。
ダイレクトドライブ方式を採用！低断面でコンパクトなXYθ運動を実現
『SA…DE』は、直動案内部に小形直動案内機器のリニアウェイL、 回転案内部にクロスローラベアリングを使用したアライメントステージです。 ダイレクトドライブ方式のステージをフルクローズドループ制御することにより 高分解能と高精度を実現。 X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に 構築することができます。 【特長】 ■コンパクトなXYθテーブル ■XYθの組み合わせが自由 ■薄形・コンパクト ■高分解能・高応答 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
X軸を標準設定,θ軸のトルクUPを実現！SAシリーズの200サイズをアップデート
『SA200DE』は、直線位置決め用のXテーブルである、SA200DE/Xを 標準設定として新規追加したアライメントステージです。 回転位置決め用であるSA200DE/Sと組み合わせることによって、XYθ軸の 3方向に可動する極めてコンパクトなアライメントステージを簡単に構築可能。 ボールねじ駆動のステージと比較して、極めて低い断面高さを実現しています。 【特長】 ■XYθ軸の組合せが自由に ■薄形、コンパクト ■省電力、高タクト ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペースの『YRAシリーズ』から用途に合わせ、お選び頂けます。
【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能 ■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高耐荷重仕様、外観色の変更、仕様等、カスタム対応 【YRAシリーズ】 ■薄型・小型の省スペースながら、高精度・高剛性を実現 ■XYθ軸の各軸が独立して動作する一体型構造 ■用途に合わせた4型式をラインアップ ・YRA-070：シリーズ最小のアライメントステージ ・YRA-071：多様なモータ変更要求に対応可能 ・YRA-131：中小型液晶やウエハの貼り合わせに好適 ・YRA-200：シリーズ最大の高耐荷重仕様
回転3軸とZ軸にマイクロメータを採用！コンパクトな6軸ユニットをご紹介
当製品は、光ファイバーの調芯専用に開発された6軸ユニットです。 光軸Z軸(フォーカス方向)に対してのXY軸には、サブミクロンの位置決めが 可能な精密ポジショナー「FPP03-13」を採用。 旧モデルと比較して剛性が向上しているため、光ファイバー以外にも 調芯用光学測定器を搭載することが可能で、今までの調芯時間を大幅に 短縮できます。 【特長】 ■光ファイバーの調芯専用に開発された製品 ■回転3軸とZ軸：当社標準マイクロメータを採用 ■精密ポジショナー「FPP03-13」を採用 ■光ファイバー以外にも調芯用光学測定器を搭載することが可能 ■今までの調芯時間を大幅に短縮できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージ ～ ダブルスライド構造の採用で高剛性 ～ ※CAD図サンプル有
超薄型XYθ（アライメント）ステージ「NAF3シリーズ」は、電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージであり、装置全体の低重心が実現可能です。 スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。 各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 【特長】 ○超薄型構造・低重心 ⇒３軸のアクチュエータを同一平面上に配置することで高さを抑制 ○高精度な位置決め ⇒ 非積層方式の為、積み重ねによる組付け誤差無 ○高剛性 ⇒ ダブルスライド構造により荷重を全体で受けおり、スラスト方向に 対し剛性が高い構造です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
主な材質にSUSを採用！高い剛性を有しているゴニオメータをご紹介いたします
当製品は、同一の回転中心にて試料のアライメントが可能なゴニオメータです。 主な材質にSUSを採用しており、独自の摺り合わせ技術を用いることで、 高い剛性を実現。 動作軸はスイベル(ゴニオ)、θの2軸ですが用途に応じてXY軸を追加する ことも可能ですので、ご要望の際には、お気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■試料のアライメントが可能 ■主な材質にSUS採用 ■高い剛性を有す ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
独自の内部構造によりサブミクロンの位置決めが可能に！当社の精密ポジショナーをご紹介
『FPP03-13』は、高分解能の位置決めを手動で可能にする 精密マイクロメータです。 独自の内部構造により、サブミクロンの位置決めが可能になりました。 最小読取りは0.5μm/1目盛（微動部）、軸方向負荷は最大5Kgf以下 （49N以下）となっております。 【仕様（一部）】 ■構造 ・粗動：送りネジ方式 ・微動：送りネジ＆レバー ■移動量 ・粗動：13mm（0.5mm/1回転） ・微動：0.3mm（25μm/1回転） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
直交3軸と回転3軸を組合わせた直交型6軸ロボット！
『CRS』は、自由度の高い動作を実現する直交型6軸ロボットです。 全10種類の組合せパターンを設定しており、 搬送重量や移動ストローク、設置スペースに合った 組合せ方向の選択ができます。 【特長】 ■多彩な組合せバリエーションをご用意 ■X軸、Y軸、Z軸は、1軸ごとでストロークの選択が可能 ■シミュレーションソフト ■バッテリーレスアブソリュートエンコーダー標準搭載 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ACサーボモータステージ搭載！XYZ軸を高速駆動させながら測定データ収集などが行えます
『RAP3-ACシリーズ』は、測定/加工対象物を固定し、各種センサや加工ツールを 高速駆動させたい要求に対応したACサーボモータステージ搭載タイプの 精密卓上型3軸ロボットです。 お客様の様々なご要望や仕様に合致したカスタマイズ対応が可能。 ガントリー(門型)方式の採用により、高速にXYZ軸を駆動させながら、 高精度に位置ごとの測定データ収集や加工が行えます。 【特長】 ■ACサーボモータステージにより、センサヘッドやツールを高速・高精度XYZ移動 ■高速駆動/高精度トリガ機能 ■セミクローズドループ制御 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
XYZ軸＋A軸(回転軸)4軸制御！3次元データによるモデリング加工が容易です
『RAP4』は、XYZ軸(3軸)駆動するRAP3標準タイプに回転軸を付加した カスタマイズロボットタイプの精密卓上型4軸ロボットです。 卓上型でありながら、容易に3次元データによるモデリング加工可能。 お客様の様々なご要望や仕様に合致するカスタマイズが行えます。 【特長】 ■XYZ軸＋A軸（回転軸）の4軸制御。バックラッシュレスのハーモニックギヤ回転機構 ■クローズドループ制御ステッピングモータを搭載 ■大容量の3Dデータの加工に好適なDNC運転が可能 ■工具長補正機構付き ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
3つのアクチュエータを同一平面上に配置する事により薄型化！シンプル構造！
『X・Y・θアライメントステージ』は、テーブル送りに超高精度直動アクチュエータ “ミリオンアクチュエータ” を採用することで高精度送りを実現した製品です。 テーブル案内にはローラー式直動ガイド「ミリオンガイド」を採用。 高剛性と低振動の両立を実現しました。 【特徴】 ■高精度 ■高剛性 ■超薄型・シンプル構造 テーブル中央に穴を設けており、光を通す事も可能です！ ※詳しくは資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
X-Y-Z-θx-θy-θzの全方向において、高精度アライメント(ターゲット1μm以下)が可能になりました。
従来の「RSTアライナー」の駆動ユニットにダブルクサビ方式を使用したパラレルリンク機構を採用したことで、昇降、チルト駆動も1台で実現。 【特長】 ■6軸駆動でも低床を維持。 ■駆動ユニットを、バランスのとれた正三角形に配置することで高い追従性を実現。 ■高剛性クロスローラガイド搭載により、高耐荷重仕様。（貼り合わせ時の加圧も問題なし） ■駆動モーターを選択可能。各社サーボモーター、ステッピングモーター、AZモーター等 ■テーブルに大口径透過穴を搭載。 ■駆動部をユニット化したことにより、テーブルサイズや形状を自由に設計可能なので、ご要望にぴったりのステージをご提案。 ■制御に必要なDLL/サンプルコードをご提供。
繰返し位置決め精度±0.002mm以下！さまざまなツールと組み合わせるだけで簡単に専用カスタマイズロボット
『RAP3』は、汎用の産業用ロボット、卓上ロボット、3軸ロボットでは、実現できなかった 高精度・高剛性・カスタマイズ対応を実現する精密卓上型3軸ロボットです。 研削ボールネジを用いて、業界最高クラスの位置再現性±2μmを保証。 Gコードを用いた精密加工から、Excelをベースとした計測システムまで 様々なアプリケーションにご利用いただけます。 【特長】 ■3次元空間での高精度位置決めが自由自在 ■高精度繰り返し位置決め精度±2μｍ ■お客様のツールを組み合わせれば、簡単にカスタマイズロボットとして使用できる ■PCダイレクト通信によるコマンド制御用のサンプルプログラムをご用意 ■ストローク・精度などお客様の仕様にあわせ多種多様なカスタマイズに対応 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
