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高品質な表面処理薬品を安定して提供するための徹底した品質管理体制です
当社の生産拠点(新潟)は、環境マネジメントシステムISO14001、品質 マネジメントシステムISO9001を基本理念に設計された国内生産拠点です。 徹底した品質管理のもと、幅広いお客様にお届けする表面処理薬品を生産。 高性能な生産設備と、「お客様第一」、「法令遵守」、「環境保全」、 「省エネルギー」を目指すスタッフの努力により、信頼性の高い製品が、 日夜効率良く生み出されています。 【特長】 ■高性能な生産設備 ■環境マネジメントシステム、品質マネジメントシステムを基本理念に設計 ■徹底した品質管理で幅広いお客様にお届けする表面処理薬品を生産 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カキ殻パワーで浄化！地球環境を守る搾乳排水処理装置
『エコ・マックII』は、搾乳洗浄排水をカキ殻などの働きにより、環境を 汚染しない綺麗な水に変えて放流する環境にやさしい処理装置です。 酪農業において搾乳時にパイプライン・搾乳機械・一時貯蔵施設等を洗浄 する際に排出される汚水を、一部の糞尿と共に処理するタイプの 「パーラー排水処理装置」と、糞尿を含まない搾乳排水を処理する 「ミルカー排水処理装置」の2タイプご用意しております。 【特長】 ■揺動床ばっ気槽：螺旋状のひも状接触材による生物膜方式で 効率的に有機物の分解をおこないます。 ■牡蠣殻接触ばっ気槽：接触材に牡蠣殻を採用し、牡蠣のカルシウム の働きでPHを7前後の中性に保てるとともに、空隙に蓄積される 活性汚泥の働きにより、さらに浄化が遂行します。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
特殊繊維担体を用いた余剰汚泥削減型水処理技術！様々な形状の反応層に対応可能
当技術は、「特殊繊維担体」と「反応層の多段化」によるオキシデーション ディッチ法(OD法)代替の水処理技術です。 OD法の既設土木躯体を活用し、余剰汚泥発生量を大幅に削減することにより、 汚泥処理施設・設備を縮小し、ライフサイクルコストを削減します。 「特殊繊維担体ユニット」は水槽の寸法に合わせて製作可能であり、 様々な形状の反応槽に対応可能です。 【特長】 ■OD法の既存土木躯体を有効活用 ■OD法と比べ、余剰汚泥発生量を大幅に削減 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
生ゴミを水に分化し排水に流す「ゴミサー」や、有機性廃棄物高速発酵処理機など
当社の『生ごみ処理機』を紹介します。 「ゴミサー」は、微生物と生ごみを接触させ、よい菌・微生物の力を利用して 発酵し、消滅していきます。何年間もゴミを投入続けられ、臭気がほどんど しません。 そのほか、有機性廃棄物高速発酵処理機「バイオメイト」や、エコロボット 「Newサム」などを取り扱っております。 【特長(ゴミサー)】 ■コア(媒体)を交換する必要がない ■何年間もゴミを投入続けられる ■臭気がほどんどしない(順調稼動時) ■生ゴミが発生した都度投入可能で清潔 ■ランニングコストが安い ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
乾燥機のゴミ、埃はこれでOK！
『ごみとり平次 SW型』は、特殊捕集板によりゴミもホコリもシャットアウトする 個人農家用湿式集塵処理装置です。 散水は自然落下方式なので音が低く、また超小型設計なので場所も取りません。 さらに、循環水流方式により、わずかな水量でご使用頂けます。 【特長】 ■水と埃を完全に分離 ■キャスター付きなので移動も簡単 ■清掃用ノズル付で掃除もラクラク ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
施設の大きさに合わせて設計できる大型湿式集塵処理装置！
大型湿式集塵処理装置『SCS型／SCSR型』では、乾燥施設から発生する 粉塵が全量湿化一元処理で除去されるので再飛散の心配がありません。 粉塵処理部は、10mmAq以下と圧力損失が少なく、施設内の各機器への 影響もありません。 【特長】 ■発生した粉塵は全量、処理水に混入し、連続して脱水集積 ■保有水量が極めて少なく、補給水も少なくすむ ■スラッジ分離機で汚泥を回収 ■使用材は耐腐食性に優れた材質を使用 ■構造も簡易で保守管理が容易 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
電源OFF時、入力信号を「HD-SD OUT1」にスルー出力を行います！
『FRU1000A』は、強い光により明滅する映像信号や、閃光など 急速に点滅する映像信号の視覚効果を軽減させる装置です。 電源OFF時、入力信号を「HD-SD OUT1」にスルー出力を行います。 映像遅延のMIXは、遅延なし＋1フィールド遅延、遅延なし＋1フレーム、 遅延なし＋1フィールド＋1フレームから任意に選択できます。 【特長】 ■本体はメニュー画面から、リモートパネル（FRP200H）はボタンにて MIXのON/OFFの設定が可能 ■映像クリップ・映像レベル・セットアップを各々設定することが可能 ■設定値を3種類メモリーできる ■アンシラリデータの加工を一切行いませんので、音声データおよび アンシラリデータも欠落することなくそのまま通過できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
メディア保存、管理のファーストステップ！DICOMDIR保存・取り込みソフトウェアのご紹介
当社が取り扱う『LamSaveDir／LamLoadDir』についてご紹介します。 「LamSaveDir」は、受信したDICOMデータをDICOMDIR形式に変換し、 自動でメディアに保存するソフトウェアです。 「LamLoadDir」は、DICOMDIRデータを解析後リスト表示し、DICOM送信する ソフトウェアです。 各種メディアへの保存と指定フォルダのリスト表示が可能です。 【LamSaveDir 機能】 ■受信したDICOMデータを指定メディアにDICOMDIR形式で保存 ■保存メディアの空き領域が不足した場合自動的に停止 ■メディア交換後、再度開始することが可能 ■メディアの空き領域不足などのエラーをメールで通知 ■圧縮画像を受信後に解凍（オプション） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
DICOMネットワーク構築のファーストステップ！DICOM送信・受信ソフトウェアのご紹介
当社が取り扱う『LamAutoSend／LamAutoRecv』についてご紹介いたします。 「LamAutoSend」は、指定フォルダに作成されたDICOMデータを、 登録先へ自動送信するソフトウェアです。 「LamAutoRecv」は、登録先から送信されたDICOMデータを受信し、 保存するソフトウェアです。 登録先からDICOM受信～指定先ステーションへ自動送信が可能です。 【LamAutoSend 機能】 ■指定フォルダのDICOMデータを自動で登録先へDICOM送信 ■送信先は最大8箇所 ■自動受信との組み合わせで受信単位に送信先を設定することも可能 ■圧縮画像を解凍後に送信（オプション） ■DICOM画像を圧縮後に送信（オプション） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
大型の板のような形を造るのに適したフラン樹脂による自硬性砂処理装置を設備！
アルミ鋳物製造業を展開している小泉アルミの設備を紹介します。 重い型を運ぶための「バランサー」も4機設備してあります。 また、フラン樹脂による「自硬性砂処理装置」も設備してあります。 F1マシーンと違う点は、固まってしまうと崩れない為、薄い製品や、 大型の板のような形を造るのに適しています。 生砂設備は本社へ移動し、第二工場は自硬性専用工場にしました。 【設備紹介（第一工場）】 ■バランサー：6機 ■攪拌機：1台 ■ピンホール試験機：1台 ■ショットブラスト：テーブル1機 ■クレーン：2機 ■炉体：3体（ツボ1250番2台・800番1台） ■研磨用機械：エンドレス3機・切断機2機 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
長い年月をかけて腐植を繰り返した“最終分解物”！抗菌・消臭作用があります
約1億年以上前に地球上に存在した植物や藻類などを始めとした有機物が 長い年月を経て腐植を繰り返し石炭や石油になる手前の泥炭から 約0.2%抽出される貴重な有機酸が『フルボ酸』です。 キレート作用で、ミネラルを細かくイオン化。 吸収率を97％と高い数値まで高めます。 抗菌作用、酵素活性化の促進、植物の成長を促進、 消臭作用といった効果があると言われています。 【特長】 ■抗菌作用 ■酵素活性化の促進 ■消臭作用 ■ミネラルを細かくイオン化して吸収率を97％と高い数値まで高める ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
固相抽出-液体クロマトグラフ-質量分析法！定量下限は、0.000005mg/L
スーパーナミット処理水の分析試験結果についてご紹介いたします。 分析試験項目は、ペルフルオロオクタンスルホン酸(PFOS)及び ペルフルオロオクタン酸(PFOA)で、方法が固相抽出- 液体クロマトグラフ-質量分析法。 結果は、検出せずで、定量下限が、0.000005mg/Lです。 【分析試験結果】 ■分析試験項目 ・ペルフルオロオクタンスルホン酸(PFOS)及びペルフルオロオクタン酸(PFOA) ■結果：検出せず ■定量下限：0.000005mg/L ■方法：固相抽出-液体クロマトグラフ-質量分析法 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
光学フィルムなどのデリケートな素材に傷を極力付けることなく洗浄！
本装置は、振動・水流（吐出吸引）の組み合わせにより従来の超音波や粘着方式等では除去できなかった表面に貼りついたごみ・ほこり・皮脂・油脂を除去します。 特殊な３層構造（特許取得済）で強烈な振動と水流（吐出吸引）を作っています。 その効果は、浴槽内の液は穏やかなまま、基材に水中振動と吐出・吸引の相乗効果を生み出します。 結果、汚濁物質を浴中に分散させ、再付着を防ぎながら分離・排出を行うことができます。 基材（フィルム）を傷つけないよう、バスケット（パンチング）に接触させないパスラインにしています。 【特長】 ■特許取得済 ■振動・水流・マイクロバブルの組み合わせ ■表面に貼りついたごみやほこり、皮脂や油脂を除去 ■テスト機では洗浄後にエアナイフで水を切り、アニール炉でのアニーリングや乾燥が可能 マイクロバブルを併用すると分散した汚濁物の凝集効果や浮上分離を促進します。 加えて振動がマイクロバブルを機械的に壊すためさらに効果が上がります。 ハイブリッドとは、振動と水流（吐出吸引）の両方で洗浄すること。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
バイオ式生ゴミ処理！投入してスイッチオン、あとは待つだけ。の簡単処理！
『TECH-550-A2R』は、自然に生息する微生物の働きを利用したバイオ資材 バイオテック・ユーノサの生ゴミ分解の力を利用した、食品資源リサイクル 機器「マジックバイオくん」の50kg処理タイプです。 生ゴミに含まれる有機物を水蒸気と炭酸ガスなどに分解し、 数時間で生ゴミを大幅に減容。 本製品は、数ある生ゴミ処理方式の中でも「バイオ式」と呼ばれる 処理方式を採用しています。 1日の最大処理量が50kgで、ニーズの多いフラッグシップモデルです。 【特長】 ■簡単操作で大量の生ゴミを大幅減容 ■使い勝手の良さを重視した簡単設計 ■残渣の取り出し頻度が少ない ■高い減容率 ■有機物の連日投与が可能 ■最大処理量50kg/日 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
バイオ式生ゴミ処理！コンパクト設計で限られたスペースにも設置可能！
『TECH-150-A2R』は、自然に生息する微生物の働きを利用したバイオ資材 バイオテック・ユーノサの生ゴミ分解の力を利用した、食品資源リサイクル 機器マジックバイオくんの15kg処理タイプです。 生ゴミに含まれる有機物を水蒸気と炭酸ガスなどに分解し、 数時間で生ゴミを大幅に減容。 本製品は、数ある生ゴミ処理方式の中でも「バイオ式」と呼ばれる 処理方式を採用しています。 1日の最大処理量が15kg、コンパクト設計で限られたスペースにも設置可能です。 【特長】 ■簡単操作で大量の生ゴミを大幅減容 ■使い勝手の良さを重視した簡単設計 ■残渣の取り出し頻度が少ない ■高い減容率 ■有機物の連日投与が可能 ■コンパクト設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
吸収液はICで分析することが可能！有害なハロゲン元素の定量分析に広く利用されています
『酸素ボンベ燃焼式試料処理装置』は、有機試料中の非金属元素を 分析するための前処理装置です。 試料は気密性の高い純酸素系で燃焼させ、測定したい成分は試料から放出され、 酸素ボンベに入れられた吸収液に吸収されます。 その後、吸収液はICで分析することが可能。電気用プラスチック製品や 回路基板に含まれる有害なハロゲン元素の定量分析に広く利用されています。 【特長】 ■有機試料中の非金属元素を分析するための前処理装置 ■試料は気密性の高い純酸素系で燃焼 ■測定したい成分は試料から放出され、 酸素ボンベに入れられた吸収液に吸収される ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
使いやすさを考慮！ラベルを素早く簡単に印刷できるマーキングソフトウェア
『FLEXIMARK Software 10.0』は、インターネット経由での新しいラベルの オンラインアップデートサービスです。 使いやすさを考慮し、ユーザーになじみのあるMicrosoft Office アプリケーションに類似したインターフェースデザインを採用。 バーコード、ロゴ、その他の画像、シリアルコードを印刷可能です。 【特長】 ■英語による無料技術サポートをご利用可能 ■ユーザーになじみのあるMicrosoft Officeアプリケーションに類似した インターフェースデザインを採用 ■バーコード、ロゴ、その他の画像、シリアルコードを印刷可能 ■電気工学で使用されるマークなどの画像ライブラリ ■インターネット経由での新しいラベルのオンラインアップデートサービス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
多彩な脱臭・排気処理技術！お客様の環境保全にかかわるご要望にお応えします
株式会社大気社は、装置の開発・製造における実績はもとより、建築・各種生産設備の施工についても豊富な知見を蓄積しています。 空調設備や自動車プラントの設計施工を通して培ったエンジニアリング力をベースに、廃棄処理に関する最適なソリューションをご提案します。 エンジニアリングをベースとした、製作と施工の両輪で、お客様のご要望にワンストップでお応えいたします。 【特長】 ○排ガスの濃度と風量に応じて最適なシステムをご提供 ○常にお客様と課題を共有し、フィードバック ○排気処理システムのパイオニアとして 時代のニーズにいち早く対応してきた実績 ○地球環境の負荷低減に取り組んでいる 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
水分に関係なく確実撹拌、悪臭・汚水がなく、完全食品循環サイクルを実現する汚水同時処理機！
『RA-X(ラックス)』は、水分に関係なく確実撹拌、悪臭・汚水がなく、完全食品循環サイクルを実現する汚水同時処理機です。高気性高温発酵のため、腐敗せず短期間での堆肥化を実現し、100トン以上の食品残渣を約1～3ヶ月で堆肥化。また、メンテナンスが簡単で維持費が安く経済的なうえ、撹拌時の温度低下が少なく省エネ発酵が可能です。 【特長】 ■特許第367252 ■固形物・汚水の同時処理が可能 ■寒冷地でも高温発酵処理が可能 ■移動中の発酵臭飛散が少ない ■様々な事業形態に対応 ■温室効果ガス削減が可能 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。
サンプリング方法、S-Sカーブの線色などが設定できる！試験機の出力改造も承ります
『UTPS-STD PeelV3』は、万能試験機に付属し、Windowsパソコンにて 剥離・引裂試験のデータ処理ができる万能試験機用データ処理装置です。 パソコンは、ノート型でもタワー型でも接続可能。 OSは、Windows2000系でも98/95系でも使用できます。 また、最大50本までのn数の選択と最大99件までの標準条件の作成が できます。 【特長】 ■剥離試験モードを搭載 ■万能試験機は、どのような方式でも接続可能(試験機の出力改造対応) ■サンプリング方法、S-Sカーブの線色などが設定できる ■測定開始点/測定終了点/無効振幅レベルが再設定できる ■試料名とロット番号は寸法表に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
各サイクルの解析データを数値出力できるほか、最大2項目までの解析データをグラフ出力できます
『UTPS-STD CycleV3』は、万能試験機に付属し、Windowsパソコンにて 引張・圧縮・曲げ・4点曲げにおけるサイクル試験のデータ処理ができる 万能試験機用データ処理装置です。 リアルタイムにヒステリシスカーブをモニタすることが可能。 さらに、各サイクルの解析データを数値出力できるほか、最大2項目までの 解析データをグラフ出力できます。 【特長】 ■サイクル試験モードを搭載 ■パソコンは、ノート型でもタワー型でも接続可能 ■OSは、Windows2000系でも98/95系でも使用できる ■最大99件までの標準条件の作成ができる ■サンプリング方法、S-Sカーブの線色などが設定できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
万能試験機はどのような方式でも接続可能！グラフの軸はXY共にリニアまたは対数で出力できます
『UTPS-STD TimeV3』は、万能試験機に付属し、Windowsパソコンにて 引張・圧縮・曲げ・4点曲げの各種試験におけるクリープ・応力緩和の データ処理ができる万能試験機用データ処理装置です。 OSは、Windows2000系でも98/95系でも使用可能。 クリープ試験、応力緩和試験のほか、熱収縮応力試験にも対応しています。 さらに、測定開始点は、試験開始点、初荷重点、停止点のほか、 手動開始点にも対応しております。 【特長】 ■時間特性試験モードを搭載 ■パソコンは、ノート型でもタワー型でも接続可能 ■クリープ試験、応力緩和試験のほか、熱収縮応力試験にも対応 ■最大99件までの標準条件の作成ができる ■カーブの線色を設定して、複数サンプルのグラフを重ね書き出力できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
試験条件、解析データ、カーブが、テキストファイルに変換、保存できます
『UTPS-CRST』は、各メーカの加硫試験機に付属し、Windowsパソコンにて データ処理を可能にする加硫試験機用データ処理装置です。 最大50本までのn数の選択と最大99件までの標準条件の作成が可能。 OSは、Windows2000系でも98系でもご使用いただけます。 また、同一ロットはもちろん、複数ロット間のカーブが重ね書き／ インチング出力ができます。 【特長】 ■加硫試験機を出力改造して、パソコンに接続 ■パソコンは、ノート型でもタワー型でも接続できる ■OSは、Windows2000系でも98系でも使用できる ■最大50本までのn数の選択と最大99件までの標準条件の作成が可能 ■S-Sカーブの線色が設定可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
ポテンシャル窒化をコントロールする制御技術！金属処理レシピや炉体システムなど総合的なソリューションがご提供可能な熱処理装置！
ナイトレックス・メタルの熱処理装置「総合カタログ」は、ターンキーシステムやバッチ炉、プロセスコントロールシステム、プロセスコントロールソフトウェアなどご紹介しています。 ポテンシャル窒化をコントロールできる制御技術を保有しております。 【掲載内容】 ■ターンキーシステムとは ■規格品およびオーダーメイドの炉体 ■プロセスはパラメーター設定後、全自動によるオペレーション ■窒化・軟窒化のポテンシャル制御技術NITREG（R）／NITREG(R)-C／ONC（R）／NITREG(R)-S／NANO-S TM ■窒化及び軟窒化の典型的なアプリケーション ■熱処理専業メーカー向けP-シリーズシステム ■ナイトレックスのシステムの特徴 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
インプロセス型の制御式ポスト窒化/ポスト軟窒化酸化処理！
「ONC（R）プロセステクノロジー」のONC（R）とは、様々なスチールグレードの耐腐食性と耐磨耗性を同時に向上させるために適用、実証済の窒化ポテンシャル制御式NITREG（R）ガス窒化処理並びに軟窒化ポテンシャル制御式 NITREG（R）-C軟窒化処理に酸化処理を組合せた最新の技術です。 【特長】 ■ONC（R）で全てのスチール種を処理することは可能 ■腐食抑制剤を含む液体ベースのCorr-Check（R）が表面へ浸透、乾燥し、艶出し仕上げをする事で、耐腐食性を更に向上 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください
機械の試作・開発のパートナー！お客様のイメージを具現化します
当社は加熱応用装置の専門メーカーとして、急速に発展する工業界に 対応すべく当社技術群も品質のレベル確立に全力をあげ、 自動化・省力化・省エネ化・対環境化に飽くなき追及を続けています。 設計⇒板金加工⇒組立加工⇒電気配線の全てを社内一貫生産で対応。 高性能、低価格、且つ短納期にて製品を製作出来ますので、 ご要望の際はお気軽にご相談ください。 【主な製品】 ■熱処理装置 ■省力化装置 ■環境対策装置 ■その他取扱い製品 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
処理速度は0.6～5.0m/min（可変）！有機EL製造ラインの洗浄装置を提供しています
当社が取り扱う、『OLED用処理装置』のご紹介です。 有機EL製造ラインの洗浄装置を提供。 基板サイズは370×470×1.1を処理致します。 装置としては、受入洗浄・純水洗浄・現像装置・ハクリ装置・ Crエッチング装置・ITOエッチング装置で構成しています。 【主な仕様】 ■被洗浄物：ガラス基板 370×470 厚み 0.6～1.1t ■処理方法：枚用処理 ■処理速度：0.6～5.0m/min（可変） ■パスライン：FL＋1100mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
腐食抑制効果が大きく、線材の肌あれを防ぎやすい！ピッチングを防ぐ添加剤
『ピクリーナ』は、硫酸酸洗用の脱スケール促進剤及び腐食抑制剤です。 酸洗における黒皮残り、黒スマット発生、赤スマット残り、 ピンホール発生などの問題を大幅に改善し、塩酸酸洗に近い滑らかな 仕上がり肌を得られるとともに、酸洗時間を大幅に短縮します。 酸洗時間の長いものを短縮し、短い物を長くできるため、 酸洗パターン(時間的)の集約が可能。自動酸洗ラインでの生産性を 向上します。 【特長】 ■腐食抑制効果が大きく、線材の肌あれを防ぎやすい ■スマットの発生を防いで表面が白く綺麗になる ■ピッチングを防ぐ ■酸洗液の寿命が延びて、ランニングコストが軽減する ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
フロン回収工事から最終処理まで一元化！ 様々なフロン回収に対応する事ができます
当社は、回収工事・運搬処理・最終処理まで、全工程を 一元化することができます。 そのため、回収工事から最終処理(証明書の発行)までを短期間で 行うことができます。 冷媒回収後の機器廃棄等もご相談ください。 【特長】 ■フロンガスの回収からその最終処理まで全てお任せいただくことが可能 ■回収フロン処理では、環境に配慮した「資源化処理」をお奨め (コスト削減にもなります) ■大型ターボ冷凍機等の低圧液体フロン冷媒の回収も可能 ■冷媒回収後の機器廃棄等も対応可能 ■行程管理表の書類作成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
良好な絶縁膜形成を実現するバイアススパッタリング装置！
『SPR-014-B』 は、基板側にバイアスを印加しながら スパッタリングを行い、絶縁層用の成膜が可能なロードロック式 バイアススパッタリング装置です。 ピンホール密度が低く、良好なステップカバレージ性を備えた 良好な絶縁膜形成ができます。 【特長】 ■低いピンホール密度 ■良好なステップカバレージ性 ■次の電極層に有利な平坦性 ・排気系はドライポンプと磁気浮上型TMPの排気システム ・基板側とターゲット(カソード)に高周波電力を同時に印可 ・ロードロック式の1元スパッタリング装置（容易に基板セット可能） ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
