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測定(非接触) - 企業と製品の一覧

更新日: 集計期間:2025年03月26日~2025年04月22日
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製品一覧

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サーマルマイクロスコープ/TM3 薄膜、微小領域熱伝導率測定

フィラー、セラミックス、絶縁薄膜、半導体薄膜等、薄膜・微小領域の熱伝導評価に!!

この装置は、世界最小クラスの分解能を誇る、革新的な熱物性測定装置です。 サンプルの熱物性を点、線、面の各レベルで詳細に測定することが可能で、従来の装置では難しかったミクロンオーダーの熱物性値分布も正確に捉えます。 さらに、この装置は非接触測定でありながら、高分解能を実現しており、従来技術では不可能だった領域を新たに開拓しました。世界初の技術を搭載し、熱浸透率の測定に加え、好条件下では熱伝導率も直接測定可能です。 この装置は、研究開発において精密な熱物性解析を必要とする場面で、他に類を見ない性能を発揮します。 〇測定原理について〇 この装置の測定原理はサーモリフレクタンス法と言う手法になります。 材料の表面温度を高精度で測定する手法の一つで、特に微小領域や薄膜材料の熱特性を調べるために使われます。 この方法は、材料の表面温度変化に伴う反射率の変化を検出し、その変化から温度を測定する技術です。 得られる結果は熱浸透率と言うパラメーターです。 熱浸透率とは物質と物質が接しているときに熱をどれだけ奪い取るかを示す物理量です。 比熱と密度により、熱伝導率や熱拡散率と相互に変換できます。

  • マイクロスコープ

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プロジェクション・モアレ式高精度反り・変形測定

全視野を数秒で一括撮影ができるため、撮影中の温度変化が少なく、急速な昇・降温条件が対応可能!

当社は、リフロまたは熱サイクルなどの温度条件下で、3次元画像を基に Z軸方向の反り・変形を計測・解析します。 測定システムは、プロジェクションモアレ式(モアレパターンをサンプルに 直接投影し非接触で計測のこと)が採用されることで測定精度が高く、 プロセス開発や故障解析、そして信頼性・品質管理の領域において 幅広く対応できます。 ご用命の際は当社へお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■高速度・量産性 ■氷点下測定可能 ■優れた温度制御 ■熱膨張係数(CTE)同時測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • プロジェクション・モアレ式高精度反り・変形測定2.JPG
  • プロジェクション・モアレ式高精度反り・変形測定3.JPG
  • 受託解析

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光干渉法による高精度膜厚測定

光干渉法による膜厚測定の原理

光干渉法と自社製高精度分光光度計により、非接触・非破壊かつ高速高精度での膜厚測定を可能にしました。 光干渉法は、分光光度計を利用した光学系によって得られた反射率を用いて光学的膜厚を求める方法です。 図1のように金属基板上にコーティングされた膜を例にとると対象サンプル上方から入射した光は膜の表面で反射します(R1)。さらに膜を透過した光が基板(金属)や膜境界面で反射します(R2)。この時の光路差による位相のずれによっておこる光干渉現象を測定し、得られた反射スペクトルと屈折率から膜厚を演算する方法が光干渉法です。

  • 分析機器・装置

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3D形状測定(3Dマクロスコープ・レーザ顕微鏡)

形状仕上がり検証、実装品質へ寄与!広範囲を短時間で測定することが可能

「3D形状測定(3Dマクロスコープ・レーザ顕微鏡)」では、試料に光を 照射し、非接触で3D測定を行います。 基板の反り、平面度計測、部品や面の形状測定(高さ・角度・半径 等) が測定可能。製品の形状仕上がり検証、実装基板の実装品質へ寄与します。 測定例には、反り測定(基板)、寸法測定(金属部品)、レーザ顕微鏡 による平面度測定(ワッシャ)がございます。 【設備紹介:3Dマクロスコープ(一部)】 ■設備名・型番:ワンショット3D形状測定機 VR-5200 ■メーカ:KEYENCE ■XY可動範囲:184mm×88mm ■Z可動範囲:73mm ■表示分解能:0.1µm ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • 3D形状測定1.jpg
  • 3D形状測定2.jpg
  • 3D形状測定3.jpg
  • 三次元測定器

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