実習用アルミ溶解炉
電気ヒーター式 実習用アルミ溶解炉
■コンパクト設計 ■安全（ガス⇒電気） ■簡単操作 ■実習に必要な周辺資機材もまとめて提案
- 企業：ダイセンエンジニアリング株式会社
- 価格：応相談
炉(ガス) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり
更新日： 集計期間:2026年03月25日～2026年04月21日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
炉の製品一覧
211～240 件を表示 ／ 全 579 件
表示件数
高温簡易雰囲気電気炉(SICヒーター) FT-1700-SIC
拡張性に優れた加熱実験用電気炉。CADによる標準設計、標準部品の採用、大量生産によりコストパフォーマンスに優れる
最大1650℃・常用(RT→1600℃)までのN2/Ar/O2/Air雰囲気が手軽に実現！ 各種オリジナルパーツ開発・一貫生産によるコストダウンによる低価格・高性能が実現！ オプション選択で酸素分圧の測定が出来、酸化雰囲気及び還元雰囲気におけるPO2調整することで最適値での安定した各種実験が可能。各種実験に対応している。 16プログラム×16セグメントの大容量を持つ高性能プログラム・コントローラーを使用することでパソコン通信(WindowsXP/7/8対応)にて自由自在のコントロール管理が可能。 (16×16プログラムコントローラーはオプション選択時による。通常は4プログラム×7セグメントコントローラー標準装備)
連続式ストランド炉 炉の電力コスト削減と作業効率アップ
タイマー機能を用いて炉内の温度制御を自由自在に設定し、スタートアップも待ち時間がありません。
週末や炉設備を稼働しない場合は、炉を完全に停止するよりも低温域で温度キープしたままのほうがコスト面や装置劣化の面でよい場合があります。盤内の機器組み合わせ次第で週末は低温で温度キープし、週明け操業時には自動で炉内を設定使用温度にすることが可能です。 【仕様】 ● 温度：1150℃ ● 有効寸法：20A×L2000×4本 ● 雰囲気：水素 / 窒素 ● 用途：各種パイプ焼鈍 ● 処理物：ステンレス / 真鍮パイプ ● 処理量：160kg/h ● 電気容量：13kW 【サンファーネス 線材光輝焼鈍炉の特長】 ■炉体、焼鈍管を自由設計 処理スピードや線径、導入ガスの処理条件による炉の長さや大きさ、前後装置との兼ね合いや、設置場所による炉のメンテナンスを考慮した形状等、柔軟に対応することが可能です。 ■コスト低減 通常運転時のランニングコストを抑えられる設備の提案が可能です。 ■品質 ヒーターや熱電対などの消耗品は長く御使用いただける高品質なものを選定いたします。 ＊詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：サンファーネス株式会社
- 価格：応相談
真空浸炭炉【熱処理装置】
真空浸炭炉【熱処理装置】
■■雰囲気制御付真空浸炭炉 ＮＥＯＶＩＡ■■ 世界に先駆けて開発をした雰囲気制御技術付真空浸炭 ネオバイア 【特 徴】 ○ ２種類のセンサー（熱伝導度センサー、酸素センサー）による雰囲気制御。 ○ 処理の種類として、通常の肌焼鋼の共析浸炭、高濃度浸炭・浸炭窒化、金型の焼入れ（ガス冷、油冷）、工具鋼の特殊浸炭焼入れ、ステンレス鋼の浸炭、Ｔｉ合金等の非鉄金属の浸炭・浸炭窒化、真空窒化等があり、各種の多目的な用途に適用。
- 企業：オリエンタルエンヂニアリング株式会社 川越工場
- 価格：応相談
メタルホットゾーン高温真空炉 真空焼結炉（メタル炉）
真空2000℃、H2雰囲気1800℃の条件下で安定した運転ができます
高温・高純度な熱処理ニーズが高まる中、当社のメタルホットゾーン 高温真空炉は、18 0 0°C を超える温度領域での安定処理を実現。 真空、水素、不活性ガスなど多様な雰囲気に対応し、焼結・焼成・ 焼鈍・ロウ付けをはじめ、幅広い材料・製品の熱処理に活用されています。 長年の実績に基づく高性能で信頼性の高い設計により、各種セラミックスから先端材料まで、お客様の高付加価値製品づくりを力強く支えます。 サイズ、導入ガス仕様など、ニーズに合わせて対応いたします。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
- 企業：DOWAサーモテック株式会社
- 価格：応相談
箱型電気炉『ＦＴ-1200Ｇ-400』
箱型電気炉『ＦＴ-1200Ｇ-400』
◆製品特徴◆ ・大容量 炉内サイズ（400Ｗ×400Ｄ×400Ｈ） ・約３０分で１０００度の急速昇温可能 ・超低価格 ・フローメーターが１系統標準装備で各種焼成に対応 ・各種オプションを使用することにより効率的な活用が可能 ・省電力 ・半生産用としても使用可能 ・簡単操作＋専用パソコン通信制御ソフトの組み合わせで、 手軽にパソコンでプログラム入力して高温焼成（溶解）が可能 ・ＰＣ通信対応プログラムコントローラー／ ガス導入フローメーター装備 ※即納対応可能品
はんだリフロー装置『RSO-300/200』
ギ酸ガス・水素ガス還元両対応！鉛フリー、ボイドレス、フラックスレスを実現！
『RSO-300/200』は、大気・窒素・真空・ギ酸・水素などの各リフローに1台で 対応し、タッチパネルを搭載した多機能なはんだリフロー装置です。 ホットプレート下部に、縦12本・横12本の高速赤外（IR）光ヒーターを 交差するように（クロス配列）装備することで、対象物の熱容量に 左右されづらい、安定した加熱と高速昇温を実現。 通常のリフローの他、金属ナノペーストなどの焼結にも好適です。 【特長】 ■高純度石英チャンバー：オプション対応 ■クロス配列：高速赤外（IR）光ヒーター搭載 ■7インチタッチパネルを標準装備 ■窒素パージによる冷却 ■真空はもちろん、ギ酸や水素など多彩なリフロー環境を設定可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ユニテンプジャパン株式会社
- 価格：応相談
クスクス焼却炉
環境基準の厳しい南極でも活躍！ 負圧燃焼方式により、排ガス基準値1/100以下・廃棄物サイズ1/20程度へ減量。
『クスクス焼却炉』は独自技術「負圧燃焼方式」採用の耐久性と使いやすさ、環境配慮した焼却炉です。 【焼却炉＝ダイオキシン発生源＝人体に影響を与えるもの】 という焼却炉は排他されつつあります。 燃やせればいいではなく、安全に燃やせる、環境配慮した焼却炉です。 ※負圧燃焼方式とは・・・ 一般的な焼却炉は加圧の火を吹き付ける燃焼方式を採用しています。 負圧といった吸い込む空気で物を自燃させ、燃焼効率を高め、灰の飛散も抑えられます。 （煙草を吸う原理と同じ）
- 企業：三石物産株式会社
- 価格：応相談
昇降炉＆シャトルキルン
昇降炉＆シャトルキルン。安定した高精度な温度・雰囲気制御を実現！
三次元でのコンピューター解析データを元に 安定した高精度な温度・雰囲気制御を実現 【特徴】 ○炉内の密閉性が高く、高精度で安定した雰囲気制御が可能 ○O2濃度をppmレベルまで制御 ○各種雰囲気ガスも利用でき 循環式冷却により短時間でのサイクルが可能 ○最高温度1,700℃で多種多様な製品の焼成が可能 ○自動温度制御による安定した温度制御 ○高性能燃焼方式による均一加熱が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
真空油焼入れ炉『TVO』
中間に真空シールドアのある2室型タイプ！油冷とガス冷が可能な焼入れ炉
『TVO』は、中間に真空シールドアのある2室型タイプで、冷却室は油冷とガス冷が可能な真空油焼入れ炉です。 油焼入れにサーボモータ採用で焼入れ品質向上、油への投入時間約1sec及び高速振動を実現しました。 【特長】 ○冷却処理で加熱室を冷やさないので再加熱エネルギーの節約 ○搬入出時に加熱室が大気に触れないので無酸化処理に最適 ○圧力変化の少ない真空加熱で断熱材が長寿命 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：高砂工業株式会社
- 価格：応相談
小型 高温電気炉『FT-107FMW』
小型 高温電気炉『FT-107FMW』
最高温度1,700℃・160Ｗ×200Ｄ×150Ｈの広々炉内で本体サイズは、350Ｗ×500Ｄ×650Ｈの省スペース・超低価格・即納OK！な卓上型高温電気炉です。。前面より試料を出し入れする扉方式で手軽に３０分で１５００℃まで急速昇温可能な高性能高温小型電気炉です。パソコン通信制御対応プログラムコントローラーとガス導入ユニット(ニードル式フローメーター)標準装備で手軽に使用可能です。また、オプションで１，８００℃仕様も可能です。
アルミ手許溶解保持炉『アルキープ』
酸化物が激減！省エネ・省スペース設計のアルミ手許溶解保持炉をご紹介
『アルキープ』は、独自設計「溶湯プール部」で、アルミ手許溶解保持炉の 理想機能を実現したベストセラーモデルです。 溶解室で溶湯を昇温し、溶湯は常にクリーン。 SiC溶湯フィルターでは20μまでの介在物を95％以上除去でき、 自動ノロ掻き装置は溶湯表面の酸化皮膜を鋳造サイクル毎に自動で除去し、 鋳造品質向上に貢献します。 【特長】 ■溶解室で溶湯を昇温 ■溶湯は常にクリーン ■酸化物が激減 ■省エネ・省スペース設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ＴＯＫＡＩ
- 価格：応相談
廃プラ対応焼却炉『SPZモデル』
MDZモデルが更に進化！ 使いやすさはそのままに耐久性・燃焼性が向上！
【特徴】 ■投入作業が簡単 全面開放扉の採用で大きなゴミも楽に投入 ■最適な燃焼を実現 燃焼用エアーのバランスを見直すことで、最適な燃焼を実現 ■消煙・集じん能力が向上 新設計のＷカット集じん室により、消煙・集じん能力が向上 ■耐久性のアップ 鋼板の厚さ、耐火材壁の厚さを厚くすることで、耐久性をアップ ■本体の強度アップ 脚部や扉ヒンジ部への補強鋼材を用いることで強度アップ ■投入扉と本体との隙間から出る未燃焼ガスを大幅にカット 新型の投入扉の採用で、本体との隙間から出る未燃焼ガスを大幅にカット ■タイマー標準装備 タイマーにより、焼却後の冷却運転を行うことで、バーナー等の機器を保護 ■温度調節機能 標準装備 炉内の温度を計測し、バーナーのＯＮ-ＯＦＦをすることで、温度管理を省力化
- 企業：DAITO株式会社
- 価格：応相談
『熱処理移管先 選定サービス』※課題解決事例進呈
外注先の廃炉、熱処理単価UP、生産能力不足など、熱処理移管先に関する悩みを解決
金属熱処理加工の専門家である当社では、現場で培った経験や 豊富なネットワークを活かした『熱処理移管先 選定サービス』を提供しています。 「熱処理の外注先が廃業してしまった」 「外注先から電気代・ガス代の上昇に伴う単価の増額を要求された」 「一時的な生産増で不足した生産能力を補いたい」 「熱処理に詳しい技術者が定年退職してしまった」 など、様々な課題を解決可能です。 【特長】 ■豊富な実績・ノウハウをもつプロが提案 ■加工メーカーに代わって全国から熱処理業者を選定 ■浸炭、真空、焼鈍、高周波、アルミ等、全ての熱処理に対応 ※課題解決事例を進呈中！詳しくはPDFダウンロードよりご覧ください。 お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：株式会社中遠熱処理技研
- 価格：応相談
台車式熱処理炉
お客様の要求仕様に合わせて専用設計にて製作！シンプルな構造で低コストを実現
当製品は、1バッチ3,000kg処理用の『台車式熱処理炉』です。 炉内断熱材はセラミックファイバーを使用。 シンプルな構造で低コストを実現しました。 お客様の要求仕様に合わせて専用設計にて製作いたします。 【特長】 ■ハイスピードバーナーを使用し炉内温度分布を向上 ■炉内断熱材はセラミックファイバーを使用 ■台車は耐火キャスタブルとセラミックファイバーの複合構造 ■シンプルな構造で低コストを実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：アドバンエンジ株式会社
- 価格：応相談
廃プラ対応焼却炉『SPIIモデル』
廃プラ対応進化形モデル 耐久性が向上し旋回燃焼がグレードアップ
【特徴】 ■最適な燃焼を実現 燃焼用エアーのバランスを見直すことで、最適な燃焼を実現 ■消煙と塵の飛散を削減 Ｗカット集じん室の採用により、消煙と塵の飛散を更に削減 ■耐久性のアップ 鋼板の厚さ、耐火材壁の厚さを厚くすることで、耐久性をアップ ■本体の強度アップ 脚部や扉ヒンジ部への補強鋼材を用いることで強度アップ ■投入扉と本体との隙間から出る未燃焼ガスを大幅にカット 新型の投入扉の採用で、本体との隙間から出る未燃焼ガスを大幅にカット ■タイマー標準装備 タイマーにより、焼却後の冷却運転を行うことで、バーナー等の機器を保護 ■温度調節機能 標準装備 炉内の温度を計測し、バーナーのＯＮ-ＯＦＦをすることで、温度管理を省力化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：DAITO株式会社
- 価格：応相談
はんだリフロー装置『RSS-3X210-S』
タッチパネル搭載多機能！大気、窒素、真空、ギ酸、水素などの各リフローに1台で対応！
『RSS-3X210-S』は、ギ酸ガス・水素ガス還元両対応で、安全面への機能も 充実しているはんだリフロー装置です。 直径100mmまでのウエハーを一度に12枚処理できる他、プリンターヘッドや LED照明など、横長の対象物のリフローにも好適。 ホットプレート下部に、18本の高速赤外（IR）光ヒーターを搭載しており、 有効加熱エリアが広くても均一な温度を保ち、対象物の熱容量に左右されづらい 安定した加熱を実現します。 【特長】 ■有効加熱エリア630mm×210mm ■高速赤外（IR）光ヒーター搭載 ■7インチタッチパネルを標準装備 ■アクティブ水冷方式採用 ■真空はもちろん、ギ酸や水素など多彩なリフロー環境を設定可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ユニテンプジャパン株式会社
- 価格：応相談
カーボン・セラミック・炉│株式会社三幸 総合カタログ
機械・電気・ソフト設計者が、社内に在籍！多様なニーズにお応えできます
当カタログはお客様のニーズに合わせた熱処理装置の設計と製造、設備の改善、改造工事に加えて、 セラミックス製耐火物の製造とカーボン加工を手掛ける株式会社三幸の総合カタログです。 真空中又は、ガス雰囲気中での製品の熱処理加工を行い、高品質の製品を 生産する装置「標準小型高温高真空雰囲気炉 1800STシリーズ」をはじめ、 円筒状ヒーターを縦方向に3ゾーンに配置し、角ゾーンを個別に 加熱制御することができる熱処理装置「縦型円筒ヒーターユニット」等、 多数製品をラインアップしています。 【掲載内容（抜粋）】 ■セラミックス製品 ■標準小型高温高真空雰囲気炉 1800STシリーズ ■結晶育成炉 ■高周波誘導加熱方式スカルメルト炉 ■真空高温抵抗合成炉 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社三幸
- 価格：応相談
工業炉メーカーが、お客様が納得されるまで”とことん”お付き合い！
設計、製作、据付、メンテナンスやアフターフォローまでトータルでサポートします
サンファーネスは工業炉メーカーで設計、製作、据付、メンテナンスやアフターフォローまでトータルでサポート致します。据付時はもちろん、そのあともお客様が納得されるまで”とことん”お付き合いします！ 設計者が直接工事も行うため、安心してお任せ頂けます。設計者がお客様と直接やり取りさせて頂くことで、意見を設備に反映させやすいと多くのお客様に喜んで頂いております。 多くのお客様から「頼みやすくて安心！」「使い勝手が良くなりました！」と言って頂いております。まじめに、とことん、お客様のことを考えます。工業炉でお困りごとがございましたらいつでもご相談ください。
- 企業：サンファーネス株式会社
- 価格：応相談
焼鈍炉
焼鈍を行うことで組織の配列が元に戻り、光学ガラスとして利用できるようになります
『焼鈍炉』は、金属材料を昇温して保持したのちに徐冷して残留応力を 取り除き、組織を均一にさせる炉です。 金属材料は機械加工時のムラを均一化して軟らかくすることにより、 本来の材質としての効果を発揮。 ガラスは成形時の温度ムラや冷却スピードなどで熱履歴に大きな影響を 受けるため、焼鈍を行うことで組織の配列が元に戻り、光学ガラスとして 利用できるようになります。 【特長】 ■急冷、徐冷、過時効などの適切な冷却コントロールが可能 ■精密な温度分布を出すことが可能 ■各種雰囲気ガス を入れることが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：サンファーネス株式会社
- 価格：応相談
デュアル熱源アルミ溶解保持炉『Suppress』
デュアル熱源アルミ溶解保持炉『Suppress』〜悩みを抑制！！！〜
デュアル熱源のアルミ溶解保持炉『Suppress＝抑制』は、 酸化物抑制技術×デュアル熱源（ガス＆電気）は、 清掃頻度を大幅に削減➡抑制 メンテナンスが容易 ➡抑制 製造コストを抑える ➡抑制 を実現し、CO2の発生も抑制！！！
超伝導線材熱処理炉 VGF-55-1500型
超伝導線材熱処理炉 VGF-55-1500型
【特長】 １）常温から1000℃まで約11分で急加熱できます。 ２）不活性ガス導入により試料の急冷が可能です。 ３）均熱帯がφ50×300L 1000℃±1℃以内 【仕様】 max Temp 1000℃ 均熱帯φ50×300L+移動1000L 到達圧力 3×10-5Pa(ＤＣ−７０５油、トラップ使用時) 透明電気炉 A型 電源 1パイ 200V 3KW 真空排気系(ＤＳ−４１２Ｚ型)(大亜真空製) 電離真空計(ＩＴ−Ｌ２０Ｐ型)(大亜真空製) ※詳細はお問い合わせ下さい。
- 企業：アトーテック 株式会社
- 価格：応相談
酸素分圧＆雰囲気制御試験炉「ＳｉＯＡＦ－２００Ｃ」
温度制御、雰囲気制御、酸素分圧制御、プログラムパターン制御が可能な酸素分圧＆雰囲気制御試験炉！
酸素分圧＆雰囲気制御試験炉「ＳｉＯＡＦ－２００Ｃ」は、タッチパネル、ネットワーク及びＰＣから温度制御、雰囲気制御、酸素分圧制御、プログラムパターン制御が可能であり、酸素分圧コントローラー（ＳｉＯＣ相当／オプション）の付加により極低濃度（10E5～10E-25Pa）の酸素分圧雰囲気までフィードバック制御できるネットワーク対応の管状型試験炉です。 【特長】 ■タッチパネル、ネットワーク及びＰＣから温度制御、雰囲気制御、 酸素分圧制御、プログラムパターン制御が可能 ■極低濃度の酸素分圧雰囲気までフィードバック制御 ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
- 企業：エスティー・ラボ株式会社
- 価格：応相談
急速冷却可能な真空ガス焼戻し・焼鈍し炉『1室型真空焼戻し炉』
冷却速度が速い・プロセスサイクルの短縮・急速冷却可能な真空焼戻し炉！【SVTF シリーズ】
『SVTF シリーズ』は、 上部に撹拌ファンを設け左右及び底面にヒーターを配置することで温度分布の向上を図った設計の焼戻し炉です。 冷却時に前後の加熱室扉を開放し冷却するため、 冷却速度が速く、プロセスサイクルの短縮を実現。 後部に設置したターボファンと大容量熱交換器により、急速冷却が可能です。 【特長】 ■冷却速度が速い ■プロセスサイクルの短縮 ■急速冷却が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：Ipsen株式会社
- 価格：応相談
連続炉『電気加熱式ローラハースキルン（特殊雰囲気・大気）』
各種雰囲気ガスに対応可能！ローラを炉床に有する迅速焼成連続炉
『電気加熱式ローラハースキルン（特殊雰囲気・大気）』は、ローラを炉床に有する迅速焼成連続炉です。 ローラは焼成温度により、ステンレススチール製、セラミック（ハイアルミナ）製、SiC製などが用いられ、インバータ制御の駆動装置によって回転します。 被焼成物は回転するローラ上を予熱帯、焼成帯、冷却帯と進んで焼成されます。 製品の形状や寸法によっては耐火物のセッタに載せます。 2次電池用正極材料・負極材料、各種セラミックス成形体、各種粉体原料、電子部品、その他の用途に適しています。 【特長】 ○独自開発の駆動機構を採用することで被焼成物の整列性が向上 ○被焼成物の上下に設置したヒータにより製品を均一に加熱 ○大気、窒素、水素、その他各種雰囲気ガスに対応可能 ○炉内幅最大2.0mまで制作可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：高砂工業株式会社
- 価格：応相談
精密性と操作性に優れた横型真空パージ光輝焼鈍炉RAV型
高品質を要求される電子部品・精密機械部品等の光輝加熱や、リール材・パイプ材の熱処理に最適です
RAV型は、前面横扉を開閉してワークの出し入れを行いますので、作業がしやすく、加熱炉・冷却装置・真空機器が 一体となったコンパクトな設備です。 真空ポンプにより減圧した後、清浄な雰囲気ガスを送入して加熱しますので、炉内の空気置換をより完全に、 より短時間で行うと共に、パージガス量を大幅に節約！ 水素・窒素・アルゴンなどのガス雰囲気を使用するとともに、熱風循環により講師恵能の温度分布を保証します。 プログラム昇温と加熱終了後の強制冷却機構がありますので、効率良く無人自動運転ができます。 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社広築 サーマルGr
- 価格：応相談
【脱脂室・焼結室・冷却室を独立、搬送】雰囲気ホットプレス焼結炉
脱脂室・焼結室・冷却室を独立、自動搬送させることにより、各工程の処理条件変更の待ち時間を大幅に短縮します。
脱脂室・焼結室・冷却室を独立、自動搬送させることにより、各工程の処理条件変更の待ち時間を大幅に短縮します。先行ワーク処理中に次のワークの処理条件を準備することができるので、処理条件の異なるワークの連続条件変更を短時間で可能とし、多品種小ロットの生産に効果を発揮します。 各室に装備された油圧プレス機構は脱脂・焼結・冷却の各工程での熱膨張を最小限に抑え、また各室の雰囲気はN２ or H２ガスをパージし、装置全体の高いシール性能と合わせてワークの酸化を防止します。
- 企業：アドバンエンジ株式会社
- 価格：応相談
精密小型電気炉 FT-001シリーズ
1,200℃まで15分の急速昇温！100Vクラス最小最軽量の卓上サイズの精密小型電気炉
小型は安物ばかりで使い物にならない…本格的に性能を求める人に朗報です！ ・精密に焼成が出来る電気炉 ・しっかり1,200℃ ・たくさんのプログラム ・高い温度精度 わずか15分で1,200℃急速昇温可能。省スペース・省エネで更に超低価格な高温電気炉の決定版！
枚葉式ＩＲ炉
雰囲気処理が可能！シビアなクリーン環境にも対応可能なＩＲ炉です
枚葉式のＩＲ炉です 【特長】 ◆ハイレベルなクリーン度 自己発塵の無いクリーンな構造により、高いクリーン性能を持っております。またシビアなクリーン環境を求められるアレイ基板の処理にも対応可能です。 ◆高い加熱効率 加熱効率に優れた、遠赤外線（ＩＲ）加熱方式を採用しており、あらゆる膜厚に対し高効率な処理が可能です。配向膜やパッシベーション膜など厚い膜の処理に最適です。 ◆優れた温度均一性 温度均一性にすぐれたＩＲパネルヒータを採用。第１０世代などの大型基板に対しても、均一な加熱を行うことができます。 ◆雰囲気処理が可能 炉内に窒素ガスを導入し低酸素濃度での加熱処理が可能です。
- 企業：株式会社ジェイテクトサーモシステム
- 価格：応相談
