更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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炉内圧カプログラム制御システムを装備した特殊炉
電気炉・雰囲気炉／加熱・熱処理技術のエキスパート企業 丸祥電器社が取り扱う『縦型マルチ雰囲気炉』のご案内です。 ■□■特徴■□■ ■炉内寸法：Ф380mm×H600mm ■常用/最高温度：700℃/800℃ ■炉内圧力：最高0.1MPa ■ヒーター：当社製モジュールヒーター（カンタル線エレメント） 縦型3ゾーン制御、真空置換型、 炉内圧カプログラム制御システムを装備 ■詳細は、お問い合わせ下さい。
丸祥電器社が取り扱う『露点制御式高温雰囲気炉』
露点制御式高温雰囲気炉は、セラミックス、電子部品等の様々な研究開発、少量生産 用として、還元雰囲気、露点制御雰囲気などの高度な雰囲気制御下で使用でき、ユー ザーの要望による特別仕様にも対応可能です。 ■□■特徴■□■ ・炉内寸法 W150mm×D150mm×H180mm〜W300mm×D300mm×H300mm ・使用温度 常用1600℃ 最高1700℃ ・真空置換型 ・露点制御システム（ウエッター最高80℃）を装備 ■詳細は、お問い合わせ下さい。
炉内1200℃まで対応可能！表面硬化処理や脱バインダー処理などオプション充実
貞徳舎の『セラミックファイバーヒータ』は、炉内1200℃まで対応可能なヒータです。 「帯状発熱体ヒータ」は、表面積あたりの電力負荷を 大きく取ることができるため、省スペースで大出力が可能。 均熱性に優れているので、被加熱物をまんべんなくあたためることができます。 また、輻射型加熱ヒータのスタンダード品「丸線コイル発熱体ヒータ」や、 高性能・大容量のタイプの「異型発熱体ヒータ」などもラインアップ。 自社設計・自社生産なのでフレキシブルに対応。 大型工業炉から小型試験炉まで、あらゆるニーズにお応えします。 【製品特長】 ■炉内1200℃まで対応 ■省スペースで大出力 ■均熱性に優れる ■自社設計・自社生産 ■豊富なオプション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Φ３００ｍｍ対応縦型拡散炉
Φ３００ｍｍに対応した縦型の拡散炉です。 【特長】 ◆オペレータフレンドリーな自社開発新型コントローラ搭載 ◆無駄のない全自動搬送システム ◆高機能制御システム ◆高性能ＬＧＯヒータ搭載
ボイドレス、フラックスレスリフローに対応したバッチ式の真空リフロー炉です。開発から量産に対応した各種ラインナップを提供します。
従来の常圧リフローでは、はんだ内に残るボイド領域が20%程度あるため、接合強度の劣化を招きます。セントロサーム社（ドイツ）のバッチ式真空リフロー炉「c.VACUNITEシリーズ」は、真空を用いることでボイド領域を2％未満に低減することが可能です。また、100%水素やギ酸などの還元効果ガスを用いることで、フラックスレスリフローに対応可能です。オプションとして、MWプラズマを用いた接合表面のプラズマクリーニングにも対応しております。
超高温熱処理と優れた温度均一性の実現により、ブール・インゴット、ウエハのバッチ処理が可能であり、欠陥や転位を最小限に抑えます。
ワイドバンドギャップ半導体デバイスの歩留まりを向上するためには、応力に起因する欠陥や転位を最小限に抑える必要があります。その手法の一つとして、半導体結晶の超高温熱処理があります。c.CRYSCOO HTA高温アニール炉は、ワイドバンドギャップ半導体のバルク結晶からデバイスまでのバリューチェーンにおいて生産性を大幅に改善させるために開発されました。優れた温度制御(最高温度2200℃)、均一性、低クロスコンタミネーションの実現により、c.CRYSCOO HTAは従来の炉を凌駕する最高のパフォーマンスを発揮します。10個以上のブール・インゴット、あるいは100枚以上の未加工ウェハーの同時処理が可能です。
