回転CVD炉
リチウムイオン電池用Si系や黒鉛系負極材表面への均一なCVDカーボンコートなどに
炉心管を回転させ、粉体試料を攪拌させながら、CVDプロセスを可能にした装置。攪拌作用により、均一なCVD処理が可能になる。
- 企業：株式会社マイクロフェーズ
- 価格：500万円 ~ 1000万円
炉(cvd) - 企業と製品の一覧
更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
製品一覧
1～15 件を表示 ／ 全 21 件
表示件数
真空焼結炉 FVS-I 誘導加熱式
最高3200℃までの高温に対応可能！黒鉛化炉、CVD炉などに導入いただけます
『FVS-I 誘導加熱式』は、電気をエネルギー源とした工業加熱装置です。 最高3200℃までの高温に対応可能。 タンク形状は丸型でφ800×1000H(mm)の炉内有効寸法の実績があります。 溶解、焼結、焼成、ホットプレスなど、様々な業種で必要とされる 熱加工方法に対応でき、黒鉛化炉、CVD炉などに導入いただけます。 【特長】 ■最高3200℃までの高温に対応できる ■タンク形状は丸型でφ800×1000H(mm)の炉内有効寸法の実績あり ■様々な業種で必要とされる熱加工方法に対応できる ■設計、製作、据付、調整・試運転、メンテナンスまでを、 自社で一貫して責任をもって実施 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：富士電波工業株式会社 滋賀工場
- 価格：応相談
横型実験管状電気炉 FT-201P
卓上に置いて即実験！小型真空炉として使用可能！ガス系等及び真空装置を接続すればCVD装置の完成
【特徴】 ・ガス系等(オプション)及び真空装置(オプション)を接続すればCVD装置の完成 ・9パターン×9ステップのパソコン通信対応プログラムコントローラーが標準装備(オプションにて16×16プログラム可能) ・専用MPCS(オプション)使用にてパソコンリンク可能 ・MAX1200℃(R：t/c使用時) ・電源はA.C100V 1.3Kw 省エネタイプ ・標準でブルドン真空計付き
- 企業：フルテック株式会社
- 価格：応相談
特殊炉【アルミ溶解・保持装置】
丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【アルミ溶解・保持装置】』
電気炉・雰囲気炉／加熱・熱処理技術のエキスパート企業 丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【アルミ溶解・保持装置】』の ご案内です。 ■□■特徴■□■ ■溶解炉 常用/最高温度：750℃/950℃ 丸祥電器社の技術は、食品の焼き上げや防腐処理、印刷や フィルムのキュア用、線材連続アニールやCVD用、 超伝導用高精度雰囲気処理、光学レンズ用ガラス溶解や プレス及びアニール、硝子フロート用レアーヒーター、 合成石英用プリフォーム炉、ロー付け、光輝焼鈍、セラミックや 焼結金属向け脱脂及び焼成、灰溶融炉、主燃テスト炉、単結晶引き上げ炉、 チタン高純度化装置、ガス加熱装置等、幅広い業界に対応しています。 ヒーター設計技術、断熱設計技術、真空技術、ガス雰囲気制御、 露点及び酸素濃度技術とさまざまな加熱経験により、 幅広い分野における、小規模な実験装置から生産装置まで手掛けています。 ■詳細は、お問い合わせ下さい。
- 企業：丸祥電器株式会社
- 価格：応相談
特殊炉【特殊ガス処理装置】
丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【特殊ガス処理装置】』
電気炉・雰囲気炉／加熱・熱処理技術のエキスパート企業 丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【特殊ガス処理装置】』のご案内です。 丸祥電器社の技術は、食品の焼き上げや防腐処理、印刷や フィルムのキュア用、線材連続アニールやCVD用、 超伝導用高精度雰囲気処理、光学レンズ用ガラス溶解や プレス及びアニール、硝子フロート用レアーヒーター、 合成石英用プリフォーム炉、ロー付け、光輝焼鈍、セラミックや 焼結金属向け脱脂及び焼成、灰溶融炉、主燃テスト炉、単結晶引き上げ炉、 チタン高純度化装置、ガス加熱装置等、幅広い業界に対応しています。 ヒーター設計技術、断熱設計技術、真空技術、ガス雰囲気制御、 露点及び酸素濃度技術とさまざまな加熱経験により、 幅広い分野における、小規模な実験装置から生産装置まで手掛けています。 詳細は、お問い合わせ下さい。
- 企業：丸祥電器株式会社
- 価格：応相談
特殊炉【雰囲気プレス炉】
プレス圧力最高14MPaの特殊炉【雰囲気プレス炉】
電気炉・雰囲気炉／加熱・熱処理技術のエキスパート企業 丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【雰囲気プレス炉】』のご案内です。 ■□■特徴■□■ ■常用/最高温度：900℃/1000℃ ■プレス圧力：最高14MPa ■詳細は、お問い合わせ下さい。
- 企業：丸祥電器株式会社
- 価格：応相談
ミニバッチ縦型炉『VF-3000』
R&D～量産まで使用可能な～Φ200mmウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉
『VF-3000』は、後工程ユーザーにもご採用いただける低コストを実現した ミニバッチ縦型炉です。 ミニバッチ、50～75枚の選択処理が可能なほか、～Φ200mmまで幅広い ウェーハサイズに対応します。 超高温処理が可能でパワーデバイス製造やVCSEL用縦型熱処理システムに 適しています。 【特長】 ■ミニバッチ、50～75枚処理の選択が可能、R&Dから量産ラインに対応 ■～Φ200mmまで幅広いウェーハサイズに対応 ■最大4個のカセットストッカー ■LGOヒータ搭載により、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮 ■枚葉搬送ロボットによる高速ウェーハ搬送 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：光洋サーモシステム株式会社 営業管理部
- 価格：応相談
300mmウェーハ対応ラージバッチ縦型炉『VF-5900』
最大16個のFOUPストッカー！300mmウェーハ対応のラージバッチ縦型炉
『VF-5900』は、大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現した フラッグシップモデルのラージバッチ縦型炉です。 300mm・12インチウェーハ最大100枚、FOUP16個の一括処理が可能。 LGOヒータの採用で低温～中高温まで優れた温度特性を発揮します。 シリコンウェーハ以外にもIGBT、ポリイミド、薄ウェーハなどの熱処理に 適しています。 【特長】 ■ラージバッチ、最大100枚一括処理可能 ■最大16個のFOUPストッカー ■LGOヒータ搭載により、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮 ■枚葉+5枚一括搬送ロボットによる高速ウェーハ搬送 ■オペレータフレンドリーな高機能制御システム搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：光洋サーモシステム株式会社 営業管理部
- 価格：応相談
OSK 481TVK-V 1200℃ 真空管状炉
1200℃最高温度の真空管状炉 石英・セラミック炉心管対応
• 最高温度は1200℃で、カンタルワイヤー発熱体を使用しています • 真空ポンプと配管を接続することで、低真空・中真空下での熱処理が可能です • 真空置換機能により、不活性ガスや反応ガスなどの制御雰囲気での加熱が可能です • 大気での加熱も可能で、3種類の加熱方法を1機で実現できます • 温度制御器は本体に内蔵されており、制御箱を別置きにする必要がありません • 熱電対や炉心管の取り外しや交換が容易です • 科学研究所や教育機関などで、様々な材料試験や熱処理に使用されています
- 企業：オガワ精機株式会社
- 価格：50万円 ~ 100万円
高温管状型雰囲気電気炉 FT-201P-1600
卓上に置いて即実験！高温小型真空炉として使用可能！
【特徴】 ・ガス系等(オプション)及び真空装置(オプション)を接続すれば高温真空管状雰囲気炉の完成 ・16パターン×16ステップのパソコン通信対応プログラムコントローラーが標準装備(オプションにて32×32プログラム可能) ・専用MPCS(オプション)使用にてパソコンリンク可能 ・電源はA.C200V 1P 4Kw 省エネタイプ ・標準でブルドン真空計付き
- 企業：フルテック株式会社
- 価格：応相談
特殊炉【単結晶引上装置】
丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【単結晶引上装置】』
電気炉・雰囲気炉／加熱・熱処理技術のエキスパート企業 丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【単結晶引上装置】』のご案内です。 ■□■特徴■□■ ■炉内寸法：Ф100mm×H250mm ■最高温度：2500℃ ■ヒーター：グラファイトヒーター ■真空排気：10-4Pa台 ■試料回転及び昇降機構を装備 ■詳細は、お問い合わせ下さい。
- 企業：丸祥電器株式会社
- 価格：応相談
特殊炉【高温挙動観察炉】
高温下でのセラミックスの焼結、ガラスの溶融状態等の炉内観察用炉
電気炉・雰囲気炉／加熱・熱処理技術のエキスパート企業 丸祥電器社が取り扱う『高温挙動観察炉』のご案内です。 ■□■特徴■□■ ■炉内寸法：W100mm×D100mm×H150mm ■最高温度：1400℃ ■プログラム酸素濃度制御 のぞき窓、天井1カ所、側面2カ所 ■詳細は、お問い合わせ下さい。
- 企業：丸祥電器株式会社
- 価格：応相談
特殊炉【小型カーボンナノファイバー製造装置】
気相法による小型実験製造装置（カーボンナノファイバー製造装置）
電気炉・雰囲気炉／加熱・熱処理技術の エキスパート企業、丸祥電器社が取り扱う 『特殊炉【小型カーボンナノファイバー製造装置】』のご案内です。 ■□■特徴■□■ ■気相法による小型実験製造装置 ■均一なガスの分散と精度な温度制御により、 均質なナノファイバーを作る事ができる ■カーボンナノファイバー及び、カーボンナノチューブまでの 実験生産に使用することができる ■詳細は、お問い合わせ下さい。
- 企業：丸祥電器株式会社
- 価格：応相談
特殊炉【熱風循環型脱脂炉】
プログラム冷却システム、排気ガス脱臭装置を装備 した特殊炉
電気炉・雰囲気炉／加熱・熱処理技術のエキスパート企業 丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【熱風循環型脱脂炉】』のご案内です。 ■□■特徴■□■ ■炉内寸法：W1000mm×D1000mm×H1000mm ●常用/最高温度：700℃/750℃ プログラム冷却システム、排気ガス脱臭装置を装備 ■詳細は、お問い合わせ下さい。
- 企業：丸祥電器株式会社
- 価格：応相談
真空焼結炉 FVS-R 抵抗加熱式
ヒーター、断熱材は均熱性に優れたグラファイト製を基本にしている真空焼結炉をご紹介
『FVS-Rシリーズ』は、最高2500℃までの高温に対応している抵抗加熱式の 真空焼結炉です。 タンク形状には、通常の横丸型、角型のほかに、当社独特の「前割り型」 （縦置き・前扉方式）を採用し、試料の装填、取出しが容易でメンテナンス性にも 優れています。 連続式の設計・製作も多数実績がありますので、ご相談下さい。 【特長】 ■最高2500℃までの高温に対応 ■6.65×10^-4Paまでの高真空の製作実績がある ■焼結条件に応じてモリブデンなどの金属ヒータも使用 ■冷却方式：熱交換機とファンを組み合わせて焼結後の試料冷却速度を高める ■脱脂：バインダを昇華させ回収する ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：富士電波工業株式会社 滋賀工場
- 価格：応相談
